基于太赫兹波的高分辨率空间电荷测试方法及系统

论文摘要

空间电荷的特性及分布状态直接改变介质内部电场的强弱,严重影响器件的电学性能。近年来,纳米材料和微纳电子器件飞速发展,在纳米量级乃至更小尺度上探测和掌握空间电荷的特征信息成为亟待解决的问题。为此基于脉冲电声法基本原理,设计并实现了一种基于太赫兹波和弹光取样技术的空间电荷分布测试新方法。基于应力双折射效应原理,设计制作了弹光取样传感器,并测试了性能。搭建了空间电荷测试系统,对定制硅PN结试样进行了测试,空间电荷区宽度随偏置电压的变化规律与PN结基本电学特性吻合。该方法采用全光学技术手段,克服了传统电子测试技术对系统带宽的限制,实验结果表明,该测试方法可以有效且可靠地将空间电荷测试分辨率提升至纳米量级。

论文目录

• 0 引言
• 1 测试原理及分辨率提升方案
•   1.1 脉冲电声法基本原理
•   1.2 空间分辨率
•   1.3 改进方案
•   1.4 光脉冲电场与空间电荷的作用
• 2 弹光取样传感器
•   2.1 传感器结构
•   2.2 传感器工作原理
•   2.3 应力检测试验
• 3 空间电荷测试实验
•   3.1 系统构成及工作原理
•   3.2 弹光取样测试过程
•   3.3 测试结果及分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张颖,李悠,王暄

关键词: 空间电荷,太赫兹波,分辨率,纳米量级,弹光取样传感器

来源: 仪器仪表学报 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,信息科技

专业: 物理学,电力工业,自动化技术

单位: 哈尔滨理工大学电介质工程国家重点实验室培育基地,哈尔滨电工仪表研究所

基金: 国家自然科学基金(51575149),哈尔滨市科技创新人才(2016RAQXJ025)项目资助

分类号: TM933.23;O441;TP212

DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J1905092

页码: 9-15

总页数: 7

文件大小: 298K

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