论文摘要
声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 郑忱煜,徐德辉,熊斌
关键词: 声子晶体,微机电系统,禁带
来源: 人工晶体学报 2019年08期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室,中国科学院大学
基金: 国家自然科学基金(51675516)
分类号: O735
DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.08.007
页码: 1418-1423
总页数: 6
文件大小: 1673K
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