TiO2修饰层与ZnO复合薄膜中非晶化现象研究

论文摘要

为改善ZnO薄膜的光学性质,采用溶胶-凝胶法分别制备了3层和6层ZnO基底上覆不同层数TiO2修饰层的透明薄膜,分析TiO2修饰层对薄膜晶体结构的影响。用不同工艺流程制备了覆TiO2修饰层的ZnO基透明薄膜,研究非晶化出现的过程。结果表明:所有混合镀膜样品,其结晶性均受到阻碍,所得样品呈现出明显的非晶状态;非晶化的出现会对薄膜的光学性质产生显著影响。非晶化过程发生在样品制备过程中的预处理和退火阶段,其中退火过程中的非晶化更为主要。

论文目录

• 1 ZnO复合薄膜的制备与表征
• 2 结果与讨论
•   2.1 TiO2修饰层对ZnO基薄膜晶体结构的影响
•   2.2 TiO2修饰层对ZnO基薄膜晶体结构机理
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘涛

关键词: 溶胶凝胶法,修饰层,晶体结构

来源: 商洛学院学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 社会科学Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 商洛学院电子信息与电气工程学院

基金: 陕西省自然科学基础研究计划项目(2017JQ6011)

分类号: TB383.2

DOI: 10.13440/j.slxy.1674-0033.2019.04.004

页码: 14-16+26

总页数: 4

文件大小: 922K

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