金刚线切割多晶硅片表面酸制绒效果研究

论文摘要

为了探索金刚线切割多晶硅片的表面制绒新技术,采用常规酸制绒、添加剂酸制绒和酸蒸气制绒三种方法对金刚线切割多晶硅片表面进行制绒处理,并用扫描电镜和光谱仪分析了三种制绒方法处理后多晶硅片的表面形貌和反射率比变化。结果表明,酸蒸气制绒能够更加有效地去除线锯切割产生的平行纹,降低表面反射率。通过调节蒸气源蒸发的温度,可以有效改善多晶硅的表面形貌,大幅降低入射光在多晶硅表面的反射率,300～1 100nm波长范围内多晶硅样品的最低平均反射率达11.6%,有望用于制作高效多晶硅太阳电池。

论文目录

• 0 引言
• 1 酸蒸气制绒装置与实验方法
•   1.1 实验装置
•   1.2 制绒工艺
•     1.2.1 常规酸制绒和添加剂酸制绒
•     1.2.2 蒸气法制绒
•   1.3 检测与分析方法
• 2 结果与分析
•   2.1 常规酸制绒与添加剂酸制绒的效果
•   2.2 酸蒸气制绒的效果
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈春明,沈鸿烈,李琰琪,王明明,顾浩,任学明

关键词: 金刚线切割,多晶硅,蒸气刻蚀,制绒,反射率

来源: 半导体光电 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 电力工业

单位: 南京航空航天大学材料科学与技术学院江苏省能量转换与技术重点实验室

基金: 国家自然科学基金项目(61774084),江苏省前瞻性联合研究项目(BY2016003-09),江苏省科技成果转化专项资金项目(BA2017032)

分类号: TM914.4

DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2019.02.014

页码: 215-219+225

总页数: 6

文件大小: 1917K

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