日立扫描电镜真空系统的维护

论文摘要

电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。

论文目录

• 1 工作流程描述
• 2 故障现象与故障分析及排除
•   2.1 气动阀1不起跳
•   2.2 扩散泵故障
•   2.3 扩散泵的循环冷却水出现故障
•   2.4 机械泵不启动
• 3 经验总结

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 潘桂玲

关键词: 扫描电镜,真空系统,油扩散泵,机械泵,真空油,维护

来源: 真空科学与技术学报 2019年09期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 南开大学化学学院功能高分子材料教育部重点实验室

基金: 国家973计划资助项目(No.2015CB251100)

分类号: TH74

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.12

页码: 811-814

总页数: 4

文件大小: 959K

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