导读:本文包含了俄歇电子能谱论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:电子,表土,效应,深度,氧化铜,界面,化学。
俄歇电子能谱论文文献综述
尤东森[1](2017)在《薄膜衬底材料中俄歇电子能谱的蒙特卡洛模拟》一文中研究指出薄膜材料在现代材料技术中应用广泛。光学镀膜技术中,经常在特定的衬底上沉积一层薄膜,可以改善材料的物理化学性质。许多工业和技术设备都需要覆盖具有特定化学性质的薄膜,薄膜材料具有许多独特的光学与电学性质,这些性质和薄膜本身的制作工艺有关,同时也与薄膜的厚度密切有关。因此,表征纳米量级的薄膜厚度具有十分重要的研究意义。在众多表面分析技术中,俄歇电子的采样深度一般为纳米级别,具有很高的表面灵敏度,适合材料表面定的性和定量分析,因此本文的主要研究目的是:整合当前最新的电子与固体原子的散射理论,用蒙特卡洛方法模拟研究薄膜对衬底俄歇能谱的影响,并用衬底的俄歇峰强度来表征衬底材料上均匀薄膜的厚度,得出俄歇信号强度与薄膜厚度的一般关系式,并推导出相关的有效衰减长度。下面介绍文章的具体内容。在第一章中,我们介绍了俄歇电子以及俄歇能谱应用的基本原理,俄歇电子能谱技术已经成功应用到许多科学领域。然后介绍了薄膜衬底材料的电子能谱学实验中几个常用的物理量:非弹性散射平均自由程和有效衰减长度等。我们还介绍了电子与固体相互作用的散射理论在定量俄歇分析中应用以及实验中应用俄歇谱测膜厚的方法。在第二章中,我们详细介绍了电子与固体相互作用的弹性和非弹性散射理论,以及内壳层激发和俄歇电子产生的原理。本文使用Mott截面描述电子弹性散射,Penn介电函数描述非弹性散射,Gryzinski理论描述内壳层激发和电子弛豫过程。在第叁章中,我们首先介绍了蒙特卡洛模拟方法在科学计算领域中的重要应用,以及蒙特卡洛方法在处理电子输运等复杂计和算量巨大的问题的优势所在。然后基于第二章中的散射理论,我们介绍了蒙特卡洛方法在模拟电子在固体中输运的具体过程和详细步骤,并给出了模拟程序的流程图。第四章中,我们以Al薄膜Ag衬底(Al/Ag)和Ag薄膜Cu衬底(Ag/Cu)两种薄膜衬底体系为例,利用蒙特卡洛方法模拟了电子在薄膜衬底材料中的产生和输运,计算了衬底中俄歇电子信号强度随着不同薄膜厚度的变化。模拟得到的电子能谱的能量范围是从入射电子弹性峰到俄歇峰附近,能谱中包括了由电子激发引起的体等离子体损失峰。在弹性峰和俄歇峰的低能区域,出现了来自薄膜和衬底元素的等离子体损失峰。对模拟得到的俄歇电子能谱进行背底扣除后,得到了俄歇峰强度与薄膜厚度的近似指数衰减关系。我们通过表征衰减曲线和有效衰减长度来讨论薄膜厚度的测量。最后定义了一个具有两个参数的衰减函数,发现与程序模拟得到的数据点符合的很好,两参数的衰减曲线可以作为膜厚测量标定曲线。第五章中,对本文进行了总结,并对本文工作的合理扩展以及前景进行了展望。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2017-05-01)
肖红,李芳芳,陆雷,曾荣光,吕学超[2](2016)在《俄歇电子能谱仪在氧化铜定量分析中的应用》一文中研究指出将基体效应修正引入到俄歇电子能谱仪定量分析中,基于Monte Carlo模拟和TPP-2M模型进行了氧化铜样品中各元素背散射因子和非弹性平均自由程的计算,对氧化铜标样在相同条件下重复10次进行俄歇能谱试验。将修正因子引入到氧化铜标样的俄歇定量分析中,基体效应修正后,氧化铜中各元素含量的相对误差大大减小,俄歇定量分析的精确度有很大提高。(本文来源于《理化检验(物理分册)》期刊2016年09期)
陈圣[3](2016)在《扫描俄歇电子能谱对镀锡板表层的直观表征》一文中研究指出使用氩离子溅射辅助的扫描俄歇电子能谱方法,对某公司生产镀锡钢板的钝化层进行了表面和深度方向形貌、成分的详细分析表征。通过微区成分定性分析、元素面扫描分析、微区深度分析和各元素深度方向归一化比例计算的技术手段,直观表征出该镀锡板表面钝化层完整连续,其表面区域性的形貌差异对应于钝化层厚度差别,从而对钝化镀锡板表面的钝化层从平面到深度有了一个直观的理解。在离子束技术支持下,扫描俄歇电子能谱技术拥有优异的横向和纵向分辨率,在重视表面质量的钢铁材料领域应用越来越广。(本文来源于《宝钢技术》期刊2016年04期)
朱永法,姚文清,叶小燕,曹立礼[4](2015)在《俄歇电子能谱在金刚石金属化研究中的应用》一文中研究指出近年来随着纳米材料科学的迅猛发展,金刚石表面金属化的研究越来越受到重视。金刚石虽然是一种超硬材料,并具有很多优异的性能,但由于其表面能高及化学惰性,金刚石与金属胎体的结合较弱,使得金刚石工具的性能和寿命大大降低。由于目前研究方法上的困难,有关研究主要集中于金刚石表面金属化工艺及宏观切削性能的研究,而对金属与金刚石基底间的相互作用机制的研究相对较少。本项目主(本文来源于《中国分析测试协会科学技术奖发展回顾》期刊2015-07-01)
朱永法,姚文清,叶小燕,曹立礼[5](2015)在《俄歇电子能谱在薄膜催化剂材料研究中的应用》一文中研究指出俄歇电子能谱具有很高的表面灵敏度,适用于表面元素定性和定量分析及表面元素化学价态的研究,具有很强的深度分析和界面分析能力。因此,对研究薄膜材料与基底的界面化学状态和相互作用起到了关键作用。目前,对于利用俄歇电子能谱研究TiO_2薄膜光催化剂、Gd_2CuO_4薄膜与基底界面作用情况的尚未见报道。本研究组利用俄歇电子能谱的化学效应,把俄歇深度分析与线形分析相结合,建立了(本文来源于《中国分析测试协会科学技术奖发展回顾》期刊2015-07-01)
蔺娴,李雨辰[6](2013)在《芯片引线键合点失效的俄歇电子能谱分析》一文中研究指出采用俄歇电子能谱法(AES),对某芯片的正常引线键合点和失效引线键合点进行了分析.实验结果表明:失效引线键合点表面出现了Cl元素,其失效原因是在键合点处形成的氯化物腐蚀键合点,导致键合点失效;溅射20min后,键合点内发生Ni金属的迁移,这也是导致键合点失效的原因之一.(本文来源于《材料研究与应用》期刊2013年03期)
吴焱学,李雄耀,王世杰,李世杰,唐红[7](2013)在《俄歇电子能谱在月壤纳米金属铁原位分析中的应用前景》一文中研究指出利用高放大倍数显微镜,在月壤的胶结质玻璃相中以及月壤颗粒表面非晶质环带里,都可以观察到很多圆形小球。其中,利用背散射电子成像(BSE-SEM)技术统计出胶结质玻璃相中圆形白色小球粒径主要在10nm到1500m之间,平均粒径约为138nm,由于受到背散射电子成像分辨率的制约,无法看到更小粒径的圆形小球;通(本文来源于《中国矿物岩石地球化学学会第14届学术年会论文摘要专辑》期刊2013-04-21)
任林茂[8](2011)在《俄歇电子能谱仪的研制和Ar的快电子碰撞研究》一文中研究指出本论文介绍了作者在攻读硕士学位期间的研究工作,主要包括:俄歇电子能谱仪的设计和研制情况;用电子能量损失谱方法对氩原子的内壳层2p激发进行研究,结合Cowan code的计算,得到了各个跃迁的能级和自然宽度。在第一章中,主要介绍了俄歇电子能谱仪的建立目的。首先介绍了俄歇过程的基础知识,包括俄歇效应的概念、俄歇电子能量的计算、俄歇跃迁的选择定则以及空穴的制备等,对俄歇现象和光电离、X射线发射进行了比较,介绍了共振俄歇效应。然后介绍了基于同步辐射的俄歇能谱研究。最后介绍了电子激发的俄歇能谱仪在原子与分子物理中的应用,它可以用于原子分子内壳层、内价壳层以及自电离态的研究。在第二章中,介绍了本文设计和研制的俄歇电子能谱仪的情况。首先介绍了本文研制的俄歇电子能谱仪的总体设计和总体构造,它包括电子枪、作用室、电子透镜、电子能量分析器、高真空系统、电源供电系统、计算机数据采集和处理系统等。然后就谱仪的各个组成部分分别作了介绍,主要包括电子枪、电子透镜和能量分析器的结构、组成、各电极的电位及其性能指标等。在第叁章中,用电子能量损失谱方法对氩原子内壳层2p的激发态进行了研究。在入射电子能量为2.5 keV、能量分辨为55 meV、散射角分别为0°和4°条件下得到了氩原子2p电子的内壳层激发电子能量损失谱。同时用Cowan code计算了2p激发的能级位置和中间耦合系数。结合理论计算和实验观测谱,标识了实验观测谱并得到了激发态2p_(3/2)~(_1)nl和2p_(1/2)~(-1)nl(n≤5)的能级和自然宽度。论文的最后部分是对硕士期间从事工作的总结及对未来进一步工作的建议和展望。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2011-04-01)
齐瑞娟,虞勤琴,段淑卿,王玉科,李明[9](2009)在《利用俄歇电子能谱仪研究Al焊垫表面的F腐蚀》一文中研究指出Al焊垫的质量关系着半导体器件及封装的质量和可靠性。多项研究表明Al焊垫表面的沾污增强了Al焊垫腐蚀的可能性,特别是焊垫表面刻蚀后残留的F元素,极容易在焊垫表面引起各种类型得腐蚀。应用俄歇电子能谱仪,研究了两种发生在焊垫表面的腐蚀现象,结合其他失效分析手段,分析了Al焊垫表面的F腐蚀的成因。研究结果表明,被腐蚀的Al焊垫表面F元素的相对含量较高,腐蚀缺陷所在区域的氧化层大为加厚,将直接影响到后期封装过程中Al和相应封装材料的金属键合,造成潜在的芯片失效。(本文来源于《半导体技术》期刊2009年10期)
张录平,李晖,刘亚平[10](2009)在《俄歇电子能谱仪在材料分析中的应用》一文中研究指出俄歇电子能谱仪(AES)是建立在电子技术、弱信号检测技术和超高真空技术基础上的一种研究材料表面组成元素的新型分析仪器。本文介绍了俄歇电子能谱技术的基本原理、技术发展和样品制备技术,重点介绍了俄歇电子能谱仪在材料分析(失效分析、表面分析、微区分析等)方面的应用。俄歇电子能谱仪在材料表面性质研究方面,有着不可替代的作用。(本文来源于《分析仪器》期刊2009年04期)
俄歇电子能谱论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
将基体效应修正引入到俄歇电子能谱仪定量分析中,基于Monte Carlo模拟和TPP-2M模型进行了氧化铜样品中各元素背散射因子和非弹性平均自由程的计算,对氧化铜标样在相同条件下重复10次进行俄歇能谱试验。将修正因子引入到氧化铜标样的俄歇定量分析中,基体效应修正后,氧化铜中各元素含量的相对误差大大减小,俄歇定量分析的精确度有很大提高。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
俄歇电子能谱论文参考文献
[1].尤东森.薄膜衬底材料中俄歇电子能谱的蒙特卡洛模拟[D].中国科学技术大学.2017
[2].肖红,李芳芳,陆雷,曾荣光,吕学超.俄歇电子能谱仪在氧化铜定量分析中的应用[J].理化检验(物理分册).2016
[3].陈圣.扫描俄歇电子能谱对镀锡板表层的直观表征[J].宝钢技术.2016
[4].朱永法,姚文清,叶小燕,曹立礼.俄歇电子能谱在金刚石金属化研究中的应用[C].中国分析测试协会科学技术奖发展回顾.2015
[5].朱永法,姚文清,叶小燕,曹立礼.俄歇电子能谱在薄膜催化剂材料研究中的应用[C].中国分析测试协会科学技术奖发展回顾.2015
[6].蔺娴,李雨辰.芯片引线键合点失效的俄歇电子能谱分析[J].材料研究与应用.2013
[7].吴焱学,李雄耀,王世杰,李世杰,唐红.俄歇电子能谱在月壤纳米金属铁原位分析中的应用前景[C].中国矿物岩石地球化学学会第14届学术年会论文摘要专辑.2013
[8].任林茂.俄歇电子能谱仪的研制和Ar的快电子碰撞研究[D].中国科学技术大学.2011
[9].齐瑞娟,虞勤琴,段淑卿,王玉科,李明.利用俄歇电子能谱仪研究Al焊垫表面的F腐蚀[J].半导体技术.2009
[10].张录平,李晖,刘亚平.俄歇电子能谱仪在材料分析中的应用[J].分析仪器.2009