铸锭炉改进对多晶硅固-液界面影响的数值模拟

论文摘要

使用COMSOL Multiphysics模拟软件对多晶硅定向凝固炉内热场进行分析,将坩埚侧壁倾斜一定角度并在坩埚与护板之间的倾角间隙处添加一个内衬块,研究并分析了坩埚侧壁倾斜角为0、2°、3°、4°和5°时对多晶硅定向凝固过程中不同时期的固-液界面产生的影响。结果表明,当坩埚倾角为4°时,坩埚侧壁与底部的热通量比坩埚倾角为0时均要小,其固-液界面都较为平直,且在定向凝固中后期曲率值都较小,这有利于阻止晶粒的倾斜,保证硅锭的品质。

论文目录

• 1 温度场设计方案
• 2 数学模型
• 3 模拟结果及分析
•   3.1 等温线及温度梯度分布
•   3.2 不同时期结晶等温线及热通量的比较
•   3.3 坩埚侧壁倾斜角对等温曲线曲率的影响
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 宋伯韬,罗玉峰,饶森林,张发云,胡云

关键词: 多晶硅,坩埚形状,定向凝固,计算机模拟

来源: 特种铸造及有色合金 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 南昌大学机电工程学院,华东交通大学机电与车辆工程学院,新余学院新能源科学与工程学院,江西省高等学校硅材料重点实验室

基金: 国家自然科学基金资助项目(51664047),江西省高等学校科技落地计划面上项目(KJLD12050),江西省科技支撑计划面上项目(20123BBE50116),江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ161200,GJJ161199)

分类号: TQ127.2

DOI: 10.15980/j.tzzz.2019.04.007

页码: 374-377

总页数: 4

文件大小: 1399K

下载量: 113