基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术

论文摘要

通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅,提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后,腔内会发生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术,高精度地测量一维和二维微位移。利特罗结构和LFGI系统具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明,利特罗式LFGI系统的位移测量精度可以达到10 nm量级。

论文目录

• 1 引 言
• 2 单光路LFGI面内位移测量系统
•   2.1 原 理
•   2.2 正弦相位调制技术
•   2.3 系统测量实验及结果
•   2.4 系统噪声水平测量
• 3 对称式LFGI位移测量系统
•   3.1 原 理
•   3.2 系统测量实验及结果
•   3.3 系统噪声水平测量
• 4 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 孔令雯,蔡文魁,施立恒,郭冬梅,夏巍,倪小琦,郝辉,王鸣

关键词: 测量,位移测量,自混合干涉,衍射光栅,利特罗结构,正弦调制

来源: 中国激光 2019年04期

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 南京师范大学物理科学与技术学院

基金: 国家自然科学基金面上项目(51875292),江苏省高等学校自然科学研究重大项目(17KJA510002)

分类号: TN24

页码: 224-229

总页数: 6

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