导读:本文包含了硅片预对准论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:硅通孔技术,预对准,最小二乘圆拟合,霍夫直线变换
硅片预对准论文文献综述
黄春霞,伊锦旺[1]（2018）在《硅通孔键合硅片预对准边缘信息采集与处理》一文中研究指出研究硅通孔即TSV(through-silicon vias)键合硅片的预对准边缘信息采集与处理方法;TSV硅片与标准硅片相比,有减薄、键合不同心、边缘毛刺多、存在崩边;缺口被填充、内有鼓胶、镀铜等工艺特点,使得传统基于线阵CCD一维图像采集与处理预对准方法失败;针对TSV硅片的特点,把线阵CCD配合扫描运动采集的一维原始图像集拼接获得二维图像,应用二维图像处理技术提取边缘信息,硅片整周边缘数据用最小二乘圆拟合算法识别出圆心位置,缺口边缘数据用Hough直线变换识别出缺口两条斜边,其交点定位为缺口位置,从而实现TSV硅片的自动预对准;实际测量表明,该方法预对准重复性定位精度小于20μm、预对准时间少于40s,满足指标需求,为光刻机能够曝光TSV硅片提供有力支持。(本文来源于《计算机测量与控制》期刊2018年09期）
张鹏远,杨林[2]（2011）在《光刻设备中硅片预对准的算法模型分析》一文中研究指出分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2011年09期）
丛明,孔祥吉,刘静,杜宇[3]（2008）在《硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法》一文中研究指出针对90 nm工艺、300 mm直径大尺寸硅片对制造设备的新要求,提出一种硅片边缘信息采集、处理方法,并在此基础上建立硅片预对准机器人视觉系统。该方法在小波阈值折衷去噪的基础上,利用最小二乘回归拟合和坐标加权平均的数值方法,通过对硅片边缘特征点的标定、过滤、综合和提取,有效地实现CCD采集信号向特征位置数据的转换,解决大尺寸硅片位置信息的获取和分析问题。重复定位精度测量试验结果表明,硅片预对准机器人视觉系统完成了硅片中心、缺口的检测定位,硅片预对准机器人对准精度达到了技术指标的要求,提高了整套硅片预对准系统的工作性能。(本文来源于《机械工程学报》期刊2008年10期）
孔祥吉[4]（2007）在《硅片预对准机器人视觉系统研究》一文中研究指出硅片预对准机器人视觉系统是硅片预对准机器人的重要组成部分，负责硅片信息的采集、检测和处理，并根据得到的结果控制机械本体完成预对准动作。视觉系统的工作能力是硅片预对准机器人能否实现精确定位和对准的关键。本课题结合硅片预对准机器人机械本体，建立了一种基于线阵CCD图像传感器，应用于300mm(12英寸)硅片光学采集、检测和对准的硅片预对准机器人视觉系统。由于系统采用线阵CCD作为主要的传感器，并提出了相应的对准原理和采集处理方法，避免了使用CCD摄像机处理算法复杂、精度提高困难的缺点，为硅片预对准机器人视觉系统采集精度、对准精度等性能的提高提供了一种新方案。论文首先在分析了国际上现有硅片预对准机器人产品的基础上，结合其它工业视觉系统的应用特点，研究并提出了本课题中硅片预对准机器人视觉系统的工作原理，包括光信息采集原理和硅片边缘标定原理两部分。根据这一原理，提出了硅片预对准机器人视觉系统的总体解决方案，包括背景光投射单元、信息采集单元、运算处理单元和运动执行单元四部分。并完成了视觉系统的硬件构架搭建和主要应用程序的设计。主要内容是利用“LED阵列+分光材料”设计背景投射光源；采用线阵CCD图像传感器、复杂可编程逻辑器件CPLD等芯片设计光信号采集电路；应用A／D数据采集卡完成硅片位置信息的采集以及采集数据的转换和处理：应用“PCI运动控制卡+步进电机”的运动控制方案，实现硅片的对准和位置修正。最后，探讨并提出了一种可应用于视觉系统的硅片边缘数据处理算法。该算法为提高硅片预对准机器人视觉系统采集信号的精度和机器人的预对准精度提供了一个新思路。论文关于硅片预对准机器人视觉系统的研究，在完成线阵CCD视觉系统总体方案设计的同时，总结分析了硅片预对准机器人视觉系统在设计过程中存在的问题和不足，为下一步研究工作的进行提出了展望。(本文来源于《大连理工大学》期刊2007-12-12）
杜宇[5]（2006）在《硅片预对准系统的研制》一文中研究指出硅片预对准系统是一类面向集成电路制造业，在硅片传输过程中，补偿硅片机器人对硅片的定位误差，集机械、电子、光学、计算机等多学科于一体的，能够自动检测并精确定位硅片几何中心以及切边(或缺口)位置的高精度对准装置。 本文在充分研究国内外各种硅片预对准系统的基础上，研制了一种光学硅片预对准系统，它结构简单、成本低廉，具有较高的对准精度和一定的实用价值，能够完成对300mm大尺寸硅片的精确定位。论文首先提出了硅片预对准系统的总体设计方案和技术指标，然后根据设计要求，分章介绍了硅片预对准系统机械本体的设计，驱动与气动系统的设计，视觉系统的设计，以及控制系统的设计，最后对系统进行了误差分析。 在机械本体的设计中，采用滚珠螺杆花键的特殊传动形式，在一根轴上实现了旋转和升降两个自由度的运动，使预对准系统的结构更加紧凑，并提高了系统的传动精度。在驱动与气动系统的设计中，应用步进电机加细分驱动器的驱动方式，既满足了精度要求，又提高了系统的性价比，运用直线步进电机作为水平对心单元的驱动部件，进一步简化了机构。在视觉系统的设计中，采用线阵光源、柱面透镜和线阵图像传感器设计了视觉系统的硬件平台，并进行了圆拟合算法的分析。在控制系统的设计中，选用PC+MPC07运动控制卡，搭建系统的运动控制平台，利用视觉处理系统实时转换并向PC机传输硅片的位置信息，控制步进电机转动，完成对硅片的精确定位。在系统的误差分析中，分别对系统的机械加工误差、驱动及传动误差、气动交换误差和视觉检测误差进行了分析计算，结果表明本文设计的硅片预对准系统可以达到各项技术指标的要求。 随着硅片直径的增大，由传输引起的硅片的定位误差，越来越难以满足加工工艺精度不断提高的发展趋势，特别是在我国尚无同类产品研制成功的情况下，研制具有自主知识产权的硅片预对准系统对推动我国IC装备制造业的发展将具有重要意义。(本文来源于《大连理工大学》期刊2006-12-01）
硅片预对准论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
硅片预对准论文参考文献
[1].黄春霞,伊锦旺.硅通孔键合硅片预对准边缘信息采集与处理[J].计算机测量与控制.2018
[2].张鹏远,杨林.光刻设备中硅片预对准的算法模型分析[J].电子工业专用设备.2011
[3].丛明,孔祥吉,刘静,杜宇.硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法[J].机械工程学报.2008
[4].孔祥吉.硅片预对准机器人视觉系统研究[D].大连理工大学.2007
[5].杜宇.硅片预对准系统的研制[D].大连理工大学.2006