导读:本文包含了移相莫尔论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:莫尔,条纹,光栅,干涉仪,测量,数字,载频。
移相莫尔论文文献综述
鹿丽华,胡摇,王劭溥,郝群,李林[1](2018)在《数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究》一文中研究指出干涉测量在现有的光学元件面形检测方法中具有测量精度高的优势,应用相对广泛。但干涉仪元件的加工和装调误差会降低面形检测精度。提出一种利用夏克哈特曼波前传感器对实际干涉仪系统进行多点标定的方法,利用波前标定数据在光学设计软件ZEMAX中实现对虚拟干涉仪系统的修正,结合数字莫尔移相算法,消除实际干涉仪加工和装调误差的影响。选取平面镜和可变形镜作为待测镜分别进行面形测量实验,结果表明,标定和修正后的数字莫尔移相干涉仪系统检测精度提高,与Zygo干涉仪的检测结果相比,面形趋势保持一致且峰谷值(PV)值误差相差在0.07λ(λ=532 nm)以内。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2018年10期)
张丽琼,王劭溥,胡摇,郝群[2](2018)在《部分补偿数字莫尔移相干涉的回程误差消除》一文中研究指出为了实现非球面面形误差的高精度测量,研究了基于部分补偿原理的数字莫尔移相干涉技术中回程误差的消除方法。通过建立实际干涉仪和建模理想干涉仪,并运用数字莫尔移相干涉技术,获得实际干涉仪像面与被测非球面面形误差相关的波前;分析了该测量系统的误差,提出采用逆向优化法消除大面形误差时的回程误差实现被测非球面的面形误差检测。实验结果表明:与轮廓仪结果比对,面形误差较小时二分之一法重构面形误差,峰谷值和均方根值分别优于λ/20,面形误差较大时运用逆向优化法消除回程误差,重构的非球面面形误差峰谷值和均方根值偏差均优于λ/5。基于逆向优化法的部分补偿数字莫尔移相干涉非球面检测,有效消除了大面形误差时的回程误差,可实现高精度的面形误差重构检测。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2018年01期)
田雨函[3](2016)在《数字莫尔移相干涉仪仪器化研究》一文中研究指出非球面光学元件由于其广泛的运用,其检测技术以及检测仪器显得尤为重要。当前基于非球面的干涉测量方法的检测仪器是非球面检测仪器的发展方向,非零检验干涉测量中基于部分补偿法的数字莫尔移相干涉测量方法具有测量精度高、测量通用性比较好、测量速度快、调整校准较简单的优点,在大口径、深度非球面检测领域具有良好的发展前景,但是市场上与之相应的干涉仪几乎处于空白。基于此,本论文在部分补偿法与数字莫尔移相干涉测量方法的基础上进行数字莫尔移相干涉仪仪器化的研究。本论文首先基于数字莫尔移相干涉仪的原理以及非球面测量指标对数字莫尔移相干涉仪的进行了总体系统设计,包括实际非零干涉仪,图像传输系统,莫尔图像实时合成与显示系统,并分析每个子系统功能与设计难点,接下来论文对每个子系统分别进行了研究设计。完成实际非零干涉仪光学系统整体光路方案研究,设计了一种综合泰曼格林和菲索干涉光路优点的光路,并在Zemax中对整体光路中的扩束系统以及望远系统进行了设计优化与公差分析,达到设计指标,实现了实际非零干涉仪光学系统。基于图像的传输需求对图像传输系统的硬件电路选型,并在此基础上完成图像传输系统的总体设计。主要研究图像传输系统中FPGA与DSP的图像数据传输,选择了基于EMIF接口的EDMA传输方式,对软件模块进行分析与设计,完成了图像数据高速传输的功能。对于莫尔合成与显示系统,主要研究数字莫尔技术在DSP上的实现。DSP中得到的莫尔合成图像与被测非球面表面误差的直观对应,观测莫尔合成图像能够调节实际非零干涉仪,并对如何调节进行了定性分析。上述研究为数字莫尔移相干涉仪仪器化奠定了基础。(本文来源于《北京理工大学》期刊2016-01-01)
陈晨,刘克,李艳秋,汪海[4](2015)在《二维虚光栅移相莫尔条纹相位提取算法》一文中研究指出目前二维干涉图所采用的相位提取算法大多以傅里叶变换法为主,而傅里叶变换法对噪声比较敏感。虚光栅移相莫尔条纹法具有较高的提取精度,而且抗噪性较好。在一维干涉图的基础上,提出了一种适用于二维干涉图相位提取的二维虚光栅移相莫尔条纹法,该方法通过构造一定相移量的二维虚光栅实现相位提取。与傅里叶变换法对比研究的仿真结果表明:对于同一幅二维干涉图,在干涉图不含噪声的情况下,傅里叶变换法与该方法的相对重构误差分别是5.52%和3.46%;在干涉图含噪声的情况下,随着噪声的增加,该方法在抗噪性方面的优势越来越明显。对二维横向剪切干涉仪零位校准装置所采集到的二维干涉图进行处理,实验结果表明,傅里叶变换法和该方法所得到的测量结果均方根值分别为0.0053λ和0.0037λ(λ=632.8 nm)。(本文来源于《中国激光》期刊2015年02期)
曹斌[5](2012)在《利用移相数字莫尔条纹检测叁维物体形貌差异》一文中研究指出随着计算机技术及现代光学检测技术的飞速发展,光学叁维检测技术以其非接触、速度快、分辨率高、成本低等优点在产品质量检测、计算机辅助设计、医疗诊断等领域获得了广泛的应用。现阶段对于叁维形貌检测主要针对单个物体的研究,对于外观相似两个物体形貌差异的研究较少。本文以移相莫尔条纹法为基础,结合数字光栅投影技术、图像的识别平移,并对莫尔滤波合成法进行改进,提出利用移相数字莫尔条纹检测叁维物体形貌差异的方法。该方法具有操作简单、检测速度快、精度高等特点,尤其是待测样品无需精确复位,降低了对检测环境的要求。通过理论分析和实验,本文重点开展了以下4个方面的工作:1、通过对待测样品和标准样品图像识别、平移等,使图像中待测样品与标准样品重合,实现待测样品在图像中虚拟复位,解决了待测样品实际复位的难题。2、对莫尔滤波合成法进行改进,提出分别从待测样品变形栅和标准样品参考栅中减去待测样品和标准样品背景项,降低了滤波提取莫尔条纹的难度,扩展了莫尔滤波合成法的适用范围。3、在待测样品虚拟复位的基础上,提出用标准样品参考栅替代移相莫尔条纹中的标准栅,实现叁维物体形貌差异的检测。4、构建叁维物体形貌差异检测系统,利用MATLAB编写了相应的检测程序,通过模拟实验证明该方法具有较高的测量精度,实验验证了该方法的可行性。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2012-04-27)
李啸,尼川,王良鹏,徐永祥[6](2011)在《用虚光栅移相莫尔条纹法测量小球面曲率半径》一文中研究指出随着近代光学、光通信等领域的迅猛发展,光学元器件的微小化已成为一个重要的发展趋势。球面是微小光学元件常见的一种面形。研究了一种基于虚光栅移相莫尔条纹术测量小球面曲率半径的方法。实验以Askania环形球径仪配备的曲率半径为17.92mm的标准凸球面样板为例,利用干涉显微镜拍摄了一幅含有载频的被测球面非接触干涉图,通过运用4幅虚光栅、图像相乘、频域滤波和四步移相等算法得到了被测球面的曲率半径。测量均值为R=17.97mm。实验结果表明:用虚光栅移相莫尔条纹法测量小球面曲率半径是完全可行的。(本文来源于《光学仪器》期刊2011年03期)
满玉春,张忠玉,李锐钢,张学军[7](2011)在《移相数字莫尔条纹图像滤波方法的研究》一文中研究指出数字莫尔条纹滤波处理是利用莫尔条纹进行非球面检测的关键技术之一,滤波结果直接影响非球面检测的精度,分别从空域和频域两个角度对滤波算法进行了讨论分析,并进行了模拟实验。结果表明,经两种方法处理后恢复的波面得到了较好的结果,全孔径相位分布残差的均方根(RMS)值分别为0.024λ和0.035λ,证明了滤波方法是可行的。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2011年05期)
武旭华,陈磊,孙娇芬[8](2006)在《用虚光栅移相莫尔条纹法测量光学元件的角度偏差》一文中研究指出引入一种处理静态干涉图的新方法———虚光栅移相莫尔条纹法,详细介绍了此方法的原理。它是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,用这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹移相的效果,且没有移相误差。以玻璃立方体楔角为例,介绍了虚光栅移相莫尔条纹法在光学元件的角度偏差测试方面的应用,给出了实验结果,并与ZYGO的测试结果进行比对,结果吻合,从而证实了这种方法的可行性。测量精度可达到0.1″,因此可应用于对角规精度的标定。(本文来源于《计量学报》期刊2006年03期)
武旭华,孙娇芬,陈磊[9](2004)在《虚光栅移相莫尔条纹法的原理及应用》一文中研究指出虚光栅移相莫尔条纹法是一种结合了移相技术、莫尔技术、虚光栅技术和载频技术的相位求取方法。此方法处理加有载频的静态干涉图,对一幅待测干涉图,通过程序生成四幅移相参考干涉图,分别与被测干涉图迭加后形成四幅莫尔条纹图,分别对四幅莫尔条纹图进行滤波,提取其中的差频项信息,得到四幅移相干涉图,使用移相算法对这四幅移相干涉图进行处理,提取其中的波面信息,对此波面进行消倾斜处理后得到的就是待测干涉图的波面。这样只对一幅载频干涉图进行处理,就可以达到移相的效果,整个移相的过程(本文来源于《第十届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)》期刊2004-10-25)
孙姣芬[10](2004)在《虚光栅移相莫尔条纹法对干涉图的处理及应用》一文中研究指出虚光栅移相莫尔条纹法是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹的移相的效果,而且没有移相误差。待测干涉图与计算机生成的四幅移相参考干涉图迭加,形成莫尔条纹,然后对莫尔条纹图进行滤波得到四幅移相干涉图,采用移相算法可以从这四幅移相干涉图中提取被测波面信息。本论文详细介绍了虚光栅移相莫尔条纹法的原理,编写了相应的处理程序。在对莫尔条纹图滤波的过程中,应用空域滤波和频域滤波两种方法,分别进行了滤波器的参数选择,并对两种滤波方法的效果进行了比较。对算法进行了误差分析,分析了干涉图延拓对结果的改善程度。对实际干涉图进行了处理,并与ZYGO的测试结果进行比对,结果吻合,从而证实了这种方法的可行性。最后对虚光栅移相莫尔法进行了相关应用研究,进行实验,给出了实验结果。(本文来源于《南京理工大学》期刊2004-06-01)
移相莫尔论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
为了实现非球面面形误差的高精度测量,研究了基于部分补偿原理的数字莫尔移相干涉技术中回程误差的消除方法。通过建立实际干涉仪和建模理想干涉仪,并运用数字莫尔移相干涉技术,获得实际干涉仪像面与被测非球面面形误差相关的波前;分析了该测量系统的误差,提出采用逆向优化法消除大面形误差时的回程误差实现被测非球面的面形误差检测。实验结果表明:与轮廓仪结果比对,面形误差较小时二分之一法重构面形误差,峰谷值和均方根值分别优于λ/20,面形误差较大时运用逆向优化法消除回程误差,重构的非球面面形误差峰谷值和均方根值偏差均优于λ/5。基于逆向优化法的部分补偿数字莫尔移相干涉非球面检测,有效消除了大面形误差时的回程误差,可实现高精度的面形误差重构检测。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
移相莫尔论文参考文献
[1].鹿丽华,胡摇,王劭溥,郝群,李林.数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究[J].仪器仪表学报.2018
[2].张丽琼,王劭溥,胡摇,郝群.部分补偿数字莫尔移相干涉的回程误差消除[J].红外与激光工程.2018
[3].田雨函.数字莫尔移相干涉仪仪器化研究[D].北京理工大学.2016
[4].陈晨,刘克,李艳秋,汪海.二维虚光栅移相莫尔条纹相位提取算法[J].中国激光.2015
[5].曹斌.利用移相数字莫尔条纹检测叁维物体形貌差异[D].昆明理工大学.2012
[6].李啸,尼川,王良鹏,徐永祥.用虚光栅移相莫尔条纹法测量小球面曲率半径[J].光学仪器.2011
[7].满玉春,张忠玉,李锐钢,张学军.移相数字莫尔条纹图像滤波方法的研究[J].激光与光电子学进展.2011
[8].武旭华,陈磊,孙娇芬.用虚光栅移相莫尔条纹法测量光学元件的角度偏差[J].计量学报.2006
[9].武旭华,孙娇芬,陈磊.虚光栅移相莫尔条纹法的原理及应用[C].第十届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集).2004
[10].孙姣芬.虚光栅移相莫尔条纹法对干涉图的处理及应用[D].南京理工大学.2004