论文摘要
通过改变W靶电流,采用磁控溅射技术在M2工具钢表面制备不同W含量的CrAlWN薄膜,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了不同W含量的CrAlWN梯度薄膜的微观结构、膜/基结合力、力学性能和摩擦磨损性能。结果表明:CrAlN和CrAlWN薄膜的表面呈颗粒状,W的掺杂未改变CrAlN薄膜原有的晶体结构;随着W的掺杂和含量提高,CrAlN薄膜的力学性能和摩擦性能均有显著提高。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 邓玉娟,王宇星
关键词: 磁控溅射,薄膜,微观结构,力学性能,摩擦磨损性能
来源: 工具技术 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 衢州职业技术学院,浙江工业大学
基金: 浙江省自然科学基金(LY15E050017)
分类号: TG174.4
页码: 97-100
总页数: 4
文件大小: 743K
下载量: 58
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