论文摘要
介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对半导体硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的半导体全自动滚圆开槽成形磨床,用于磨削半导体硅棒外圆、OF面/V槽(notch槽)可以收到理想的效果。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 胡苗,徐公志,于秀升
关键词: 半导体,硅棒,滚圆开槽,成形磨床
来源: 精密制造与自动化 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 金属学及金属工艺,无线电电子学,自动化技术
单位: 青岛高测科技股份有限公司
分类号: TN305;TG596
DOI: 10.16371/j.cnki.issn1009-962x.2019.03.011
页码: 46-48
总页数: 3
文件大小: 386K
下载量: 11
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