Al-Ti共掺杂MoS2复合涂层润滑性能研究

论文摘要

采用磁控射频（RF）与磁控直流（DC）分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能。结果表明,RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中S/Mo原子比为1.55,有利于MoS2（002）面的形成,涂层平均摩擦系数低至0.1;由于RF-Al-Ti/MoS2复合涂层原子沉积效率更大,导致涂层结构致密,且RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中Al原子含量高,有利于提升涂层抗氧化能力及耐磨损性能。对RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层进行真空热处理,Ti和Al间扩散形成Ti-Al中间相进一步提升了涂层抗氧化性能,DC-Al-Ti/MoS2复合涂层磨痕形貌显示其耐磨损能力得到了明显提升;经500℃处理后,RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层平均摩擦系数分别降低至0.08和0.07。总体上,射频溅射更有利于提升Al-Ti/MoS2复合涂层摩擦学性能。

论文目录

• 1 实验
•   1.1 样品制备
•   1.2 样品表征
• 2 实验结果与讨论
•   2.1 涂层组分及结构分析
•   2.2 涂层摩擦系数分析
•   2.3 热处理后涂层结构分析
•   2.4 热处理涂层润滑性能分析
•   2.5 热处理后涂层结合力分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 赵岚,曹明,林继兴

关键词: 磁控溅射,复合涂层,摩擦学性能,真空热处理

来源: 真空科学与技术学报 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 力学,金属学及金属工艺

单位: 浙江工贸职业技术学院材料工程系,吉林大学材料科学与工程学院

基金: 温州市“扶工扶农”活动项目和面向欠发达地区科研项目(20160030)

分类号: O313.5;TG174.4

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.10.12

页码: 901-906

总页数: 6

文件大小: 2615K

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