论文摘要
为了提高氧化铝陶瓷导轨超精密研抛加工的工作效率,分析了研抛压力、研抛速度以及磨料添加间隔等工艺参数与研磨抛光效率的关系。首先,根据氧化铝陶瓷导轨的特性及物理参数,确定研磨抛光盘以及磨料的选型。然后以高精度平面平晶作为检测工具,平晶与导轨表面形成干涉条纹,利用条纹的数量定量表征研抛效果。最终得到氧化铝陶瓷导轨的最佳工艺参数:每个研抛压力应该控制在40 N;研抛线速度为45 m/min;研磨剂的添加时间为30 min。在同等时间内,应用此套工艺参数可以达到更高的面型精度。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘剑,蔡黎明,成贤锴,顾国刚,于涌
关键词: 高精度,陶瓷导轨,超精研抛
来源: 中国光学 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 长春理工大学,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
基金: 苏州市应用基础研究项目(No.SYG201322)~~
分类号: TQ174.6
页码: 663-669
总页数: 7
文件大小: 4027K
下载量: 161
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