导读:本文包含了氧敏薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:薄膜,溶胶,凝胶,材料,电阻,离子,特性。
氧敏薄膜论文文献综述
程东升,孙以材,潘国锋,袁育杰[1]（2006）在《钼掺杂降低TiO_2氧敏薄膜最佳工作温度研究》一文中研究指出用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜。并进行1 100℃,2 h的退火处理。配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间。取出后,进行500℃,3 h退火处理。用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验测试,发现对氧气有很好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右,并进行SEM测试,分析其表面结构,研究气敏机理。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2006年07期）
张爱芳,杜丕一,胡岳华,翁文剑,韩高荣[2]（2005）在《硅基板上Fe掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备、结构与性能研究》一文中研究指出采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4为前驱体,用提拉法在硅基板上制备了掺Fe的TiO2氧敏薄膜,对薄膜物相结构进行了X射线衍射(XRD)测定,利用扫描电镜(SEM)对薄膜微结构进行了观察.结果表明:在硅基板上生长的TiO2薄膜中锐钛矿相为均匀小晶粒分布结构,金红石相以大尺度团聚结构形貌出现.Fe离子的掺杂对硅基板上制备的TiO2薄膜中金红石相的形成有很大的影响.Fe的掺入降低了金红石相的形成温度约100℃,Fe掺量在6mol% 时,形成金红石相的量达到最大,即析晶能力最强.薄膜中形成晶相的晶格常数在<6mol%的低Fe范围内,随较小的Fe离子取代较大的Ti离子,锐钛矿相和金红石相的晶格常数都随之减小;在>6mol%的高Fe掺量范围内,随Fe掺量的增加,体系缺陷过量增加,晶格结构畸变严重,伴随着畸变能的释放,金红石相的晶格常数c轴逐渐增长,n轴略有下降(或基本不变). TiO2氧敏薄膜的氧敏性能受金红石相含量和氧空位浓度控制.当Fe离子掺杂浓度为6mol% 时,金红石相及相应氧空位达到最大值,TiO2氧敏薄膜的氧敏性能也达到最大值,比刚形成金红石相的薄膜的氧敏性能增加近19倍.(本文来源于《无机材料学报》期刊2005年06期）
张爱芳[3]（2005）在《Fe离子掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备与性能研究》一文中研究指出目前环境污染和能源短缺已越来越成为阻碍社会发展和进步的重要因素。因而,监测气体浓度、控制和减少废气污染以及提高各种燃气的利用率,以保护环境和节约能源已经越来越得到重视。氧是地球上最丰富的元素之一,它与人类活动密切相关,近年来,用于监测和控制氧气浓度的氧敏传感器的研究已经引起了人们极大的兴趣。 金红石相TiO_2是一种十分理想的氧敏材料,成本低、灵敏度高、高温下稳定、制备简单、可以精确的控制空燃比、以及易于集成化等,因而备受关注,在食品保鲜、汽车尾气的检测、工业炉燃烧气氛的控制以及空气净化等方面得到了广泛的应用。 随着科学技术的发展和社会进步,器件的小型化和集成化已经成为当前的发展趋势,这对金红石相TiO_2较高的制备温度(≥1000℃)以及较高的工作温度(800℃)都提出了挑战。很显然,降低金红石相TiO_2的制备温度和工作温度,以及与现有已经发展成熟的硅微电子技术相匹配的集成技术对推动相应集成化器件的发展将越来越显得重要。因而,了解和掌握相关制备技术和对薄膜形成及性能的影响因素将成为推动相关技术进步的重要研究内容之一。 本文采用溶胶凝胶法成功在石英玻璃基板和硅基板上制备了Fe离子掺杂的金红石相Tio_2薄膜,并利用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、氧敏性能的测定等多种分析测试手段对掺杂后的TiO_2薄膜物相结构、微观形貌以及氧敏性能进行了研究。Fe离子掺杂的TiO_2薄膜中锐钛矿相为均匀小晶粒分布结构,金红石相以大尺度团聚结构形貌出现。 研究发现,Fe离子的掺杂对TiO_2薄膜中金红石相的形成有很大的影响。未掺杂的TiO_2薄膜金红石相开始形成于900℃,并且需要经过1h的二次热处理,而Fe离子掺杂的TiO_2薄膜在800℃下不需要经过二次热处理就可以形成金红石相,可见Fe离子掺杂使金红石相TiO_2的形成温度降低了100℃左右。并且,TiO_2薄膜中金红石相的含量在Fe离子掺杂量较低时,随Fe离子掺杂量的增加,由于补偿了本征缺陷引入的畸变,金红石相的析晶能力提高,金红石相的含量随Fe离子掺杂浓度的增加而增大;Fe离子掺杂量较高时,随Fe离子掺杂量的增加,引入过量的缺陷又加大了金红石相的畸变,金红石相的析晶能力反而下降,金红石相的含量随着Fe离子掺杂浓度的增加而(本文来源于《中南大学》期刊2005-03-01）
张爱芳,杜丕一,翁文剑,韩高荣[4]（2004）在《聚乙二醇对溶胶凝胶法Fe~(3+)掺杂TiO_2氧敏薄膜结构的影响》一文中研究指出近年来,各种氧敏材料如Ga2O3、LaF3、CeO2、Nb2O5、BaTiO3、SrTiO3、TiO2等,被广泛的应用于汽车尾气的检测、食品保鲜以及工业炉燃烧气氛的控制和空气净化等方面。而TiO2氧敏材料由于其成本低、灵敏度高、结构简单、工作温度低、性能好、制备简单以(本文来源于《全国第叁届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集》期刊2004-06-30）
杨莉,杨德安,徐廷献,刘书亮[5]（2003）在《Fe~(3+)对钛酸锶稀薄燃烧氧敏薄膜电阻的影响》一文中研究指出利用溶胶-凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜,掺杂不同含量的铁离子,并测试了不同氧分压、温度下薄膜的电阻。发现铁离子的含量在20mol%～25mol%之间时,掺杂对钛酸锶电阻的降低有明显的影响,含铁在20%和25%的钛酸锶在600～800℃之间电阻的变化趋近为零,铁的含量大于25%或小于20%薄膜没有出现这种现象。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊2003年03期）
杨莉,郭森[6]（2003）在《掺杂Fe~(3+)对钛酸锶氧敏薄膜电阻的影响》一文中研究指出利用溶胶—凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜 ,掺杂不同含量的铁离子 ,测试在不同氧分压、温度下薄膜的电阻。所得到的结果和镁离子的掺杂一样 ,可以改善阻温特性 ,降低薄膜电阻。铁离子的摩尔分数在 2 0 %～ 2 5 %之间时 ,薄膜电阻在一定的温度区间内降低 ,表现出较好的氧敏特性 ,在该区间内阻温特性很好 ,电阻不受温度变化的影响(本文来源于《山东建筑工程学院学报》期刊2003年01期）
徐明霞,郑嘹赢,刘丽月,樊丽莹,徐廷献[7]（2001）在《新型氧敏薄膜材料》一文中研究指出采用溶胶－凝胶工艺制备了用于汽车新型传感器的氧敏薄膜材料，包括过渡金属氧化物（ＭｏＯｘ、 ＴｉＯｘ、 ＣｒＯｘ）、钙钛矿型（ＳｒＴｉＯ３／ＬａＮｉＯ３、 ＬａＮｉＯ３、 ＬａＣｒＯ３）和类钙钛矿型（Ｌａ１－ｘＭｘＮｉＯ４）纳米粒子薄膜。结果表明，与传统氧传感器用的 ＺｒＯ２、 ＴｉＯ２半导体材料相比，这叁类材料的阻温系数小，敏感度高，响应速度快(本文来源于《材料研究学报》期刊2001年01期）
郑嘹赢,徐明霞,徐廷献[8]（1999）在《掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能》一文中研究指出以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３ 基片上制备ＴｉＯ２ 薄膜，经１０００℃Ｈ２ 气氛下还原制得ＴｉＯ２－ ｘ薄膜．最后在氯铂酸甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜．实验结果表明掺铂薄膜在８００℃下具有良好的氧敏感性和重复性，薄膜在Ｎ２ 气氛下具有良好的电阻温度特性．本文分析了铂在薄膜中的作用原理．(本文来源于《半导体学报》期刊1999年11期）
杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬[9]（1999）在《CeO_2/Nb_2O_5双层氧敏薄膜的制备及界面扩散研究》一文中研究指出用射频 /直流磁控溅射法制备了CeO2 /Nb2 O5双层氧敏薄膜。利用X射线光电子能谱研究了真空原位加热对薄膜界面相互扩散的影响。结果表明 ,通过热扩散进入上层CeO2 薄膜的Nb2 O5,不仅达到了对上层薄膜进行微量掺杂的目的 ,而且能够促使CeO2 薄膜中的晶格氧大量脱附 ,使CeO2 更容易还原为Ce2 O3,而其自身的构型却未发生变化。(本文来源于《真空科学与技术》期刊1999年03期）
杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬[10]（1998）在《溅射二氧化铈氧敏薄膜的XPS研究》一文中研究指出本文用射频磁控溅射法制备了CeO2-x高温氧敏薄膜。利用X射线光电子能谱（XPS）研究了不同处理条件对CeO2-x薄膜电子组态的影响，特别是对表面的价态和吸附性质的影响。通过对Ce3dXPS谱的高斯拟合，计算了Ce3+浓度并给出了判定Ce4+还原的标志。研究结果表明，在空气中经1173K高温退火后可得到结晶完好的多晶CeO2薄膜，而薄膜的化学价态没有变化，退火前后薄膜表面总有少量Ce3+存在（15％）。退火后部分还原的CeO2表面具有极强的吸附和再氧化能力，还原程度越高，其再氧化的能力也越强。(本文来源于《功能材料》期刊1998年06期）
氧敏薄膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4为前驱体,用提拉法在硅基板上制备了掺Fe的TiO2氧敏薄膜,对薄膜物相结构进行了X射线衍射(XRD)测定,利用扫描电镜(SEM)对薄膜微结构进行了观察.结果表明:在硅基板上生长的TiO2薄膜中锐钛矿相为均匀小晶粒分布结构,金红石相以大尺度团聚结构形貌出现.Fe离子的掺杂对硅基板上制备的TiO2薄膜中金红石相的形成有很大的影响.Fe的掺入降低了金红石相的形成温度约100℃,Fe掺量在6mol% 时,形成金红石相的量达到最大,即析晶能力最强.薄膜中形成晶相的晶格常数在<6mol%的低Fe范围内,随较小的Fe离子取代较大的Ti离子,锐钛矿相和金红石相的晶格常数都随之减小;在>6mol%的高Fe掺量范围内,随Fe掺量的增加,体系缺陷过量增加,晶格结构畸变严重,伴随着畸变能的释放,金红石相的晶格常数c轴逐渐增长,n轴略有下降(或基本不变). TiO2氧敏薄膜的氧敏性能受金红石相含量和氧空位浓度控制.当Fe离子掺杂浓度为6mol% 时,金红石相及相应氧空位达到最大值,TiO2氧敏薄膜的氧敏性能也达到最大值,比刚形成金红石相的薄膜的氧敏性能增加近19倍.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氧敏薄膜论文参考文献
[1].程东升,孙以材,潘国锋,袁育杰.钼掺杂降低TiO_2氧敏薄膜最佳工作温度研究[J].传感器与微系统.2006
[2].张爱芳,杜丕一,胡岳华,翁文剑,韩高荣.硅基板上Fe掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备、结构与性能研究[J].无机材料学报.2005
[3].张爱芳.Fe离子掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备与性能研究[D].中南大学.2005
[4].张爱芳,杜丕一,翁文剑,韩高荣.聚乙二醇对溶胶凝胶法Fe~(3+)掺杂TiO_2氧敏薄膜结构的影响[C].全国第叁届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集.2004
[5].杨莉,杨德安,徐廷献,刘书亮.Fe~(3+)对钛酸锶稀薄燃烧氧敏薄膜电阻的影响[J].功能材料与器件学报.2003
[6].杨莉,郭森.掺杂Fe~(3+)对钛酸锶氧敏薄膜电阻的影响[J].山东建筑工程学院学报.2003
[7].徐明霞,郑嘹赢,刘丽月,樊丽莹,徐廷献.新型氧敏薄膜材料[J].材料研究学报.2001
[8].郑嘹赢,徐明霞,徐廷献.掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能[J].半导体学报.1999
[9].杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬.CeO_2/Nb_2O_5双层氧敏薄膜的制备及界面扩散研究[J].真空科学与技术.1999
[10].杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬.溅射二氧化铈氧敏薄膜的XPS研究[J].功能材料.1998
论文知识图
