淬火技术对酸洗法提纯多晶硅的催化作用

论文摘要

采用淬火技术和酸洗络合技术提纯多晶硅。采用ICP测试多晶硅纯度,采用XRD、红外光谱、拉曼光谱、扫描显微镜、扫描电镜和能谱技术分析淬火对多晶硅提纯的催化机理,结果表明:1)淬火能减弱多晶硅杂质元素与硅之间的键能和键力,使多晶硅晶体出现缺陷和缩小硅体晶面间距;2)多晶硅杂质相主要由非晶金属氧化物或金属硅化物构成;3)采用酸洗络合技术和二次凝固技术可使多晶硅中B的移除率达到90%,同时其他金属杂质的移除率均在55%以上,提纯硅的纯度基本满足太阳电池的需求。

论文目录

• 0 引言
• 1 材料和方法
•   1.1 多晶硅处理
•     1.1.1 多晶硅淬火
•     1.1.2 酸洗
•     1.1.3 多晶硅熔化
•   1.2 多晶硅测试
•     1.2.1 多晶硅杂质含量测试
•     1.2.2 多晶硅形态分析
•     1.2.3 多晶硅形貌及成分分析
• 2 结果与分析
•   2.1 淬火对多晶硅表面形态的影响
•   2.2 淬火对酸洗络合法提纯多晶硅的催化作用
•   2.3 淬火对多晶硅形态的影响
•   2.4 淬火对多晶硅分子结构的影响
•   2.5 淬火和熔融对多晶硅杂质微结构的影响
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘振东,牛兴平,戴玉强,朱登雷

关键词: 多晶硅,提纯,淬火,酸洗法,催化作用

来源: 太阳能学报 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 安阳工学院数理学院

基金: 国家自然科学基金(51075003,21302003)

分类号: TQ127.2

页码: 96-102

总页数: 7

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