高频高压低温等离子体发生研究

论文摘要

针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统。该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定发生。实验结果表明,系统工作频率稳定在262kHz,系统能够稳定发生低温等离子体,等离子体束长可达13.1cm,系统工作稳定后,零电压软开关系统的效率为87.4%,与传统直流等离子体发生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,实现了驱动管耗的降低和输入电源效率的提升。

论文目录

• 1 高频高压低温等离子体发生方法
• 2 高频高压低温等离子体发生系统
•   2.1 全桥移相PWM控制电路
•   2.2 光耦隔离驱动电路
•   2.3 软开关驱动电路
•   2.4 高频谐振升压电路
• 3 等离子体发生系统实验结果与分析
•   3.1 实验参数设置
•   3.2 实验仪器与设备
•   3.3 数据测量与分析
•     （1）谐振频率测量
•     （2）最长等离子体弧距
•     （3）系统工作效率
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超,周长伟,江均均,吴迪

关键词: 低温等离子体,全桥移相,零电压软开关,高频谐振

来源: 真空科学与技术学报 2019年09期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学

专业: 物理学

单位: 苏州大学光电科学与工程学院

基金: 苏州大学“大学生创新创业训练计划”(项目编号:201710285016Z)

分类号: O53

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.02

页码: 752-758

总页数: 7

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