稀土掺杂NiCrSi高阻靶材制备及镀膜性能研究

论文摘要

采用真空热压烧结法制备稀土掺杂NiCrSi高阻合金靶材。利用X射线衍射仪、金相显微镜、扫描电镜、EDS能谱仪等表征手段测试分析靶材物相组成、显微组织及微区元素分布。同时将所制备靶材溅射沉积金属膜电阻器,研究稀土元素掺入种类对电阻器阻值稳定性的影响。结果表明,稀土掺杂NiCrSi高阻靶材由基体相CrSi2和少量的CrSi、Ni3Si相混合而成。靶材外观平整无裂纹,组织致密无孔隙,相对密度均在96%以上;晶粒尺寸约为20μm,大小分布均匀。掺入La、Ce、Pr、Nd后,靶材组织中Zr析出相减少,Zr元素偏聚分布得到显著改善。溅射沉积的金属膜电阻器电阻温度系数小于±25×10-6/℃;与未添加稀土元素的NiCrSi电阻器相比,加入Pr后,电阻器电阻温度系数在高低温区差值降至22×10-6/℃左右,变化幅度小,阻值稳定性高;加入Nd后,电阻温度系数差值变化幅度大,阻值稳定性较差。

论文目录

• 1 实验部分
•   1.1 靶材制备
•   1.2 镀膜实验
•   1.3 性能表征
• 2 结果与讨论
•   2.1 稀土掺杂NiCrSi高阻合金靶材
•   2.2 稀土掺杂NiCrSi高阻合金靶材镀膜实验
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 鲁飞,刘树峰,李慧,刘小鱼,李静雅,孙良成

关键词: 高阻靶材,稀土,热压烧结,金属膜电阻器

来源: 稀土 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 包头稀土研究院白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,稀土冶金及功能材料国家工程研究中心

基金: 包头科技局项目(2014X1008)

分类号: TG174.4

DOI: 10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.201904011

页码: 87-94

总页数: 8

文件大小: 645K

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