论文摘要
建立了空气耦合电容式微超声换能器（CMUT）的理论方法,分析CMUT各个结构参数对其性能参数的影响。根据理论分析结果结合无损检测应用背景设计了一个由16个阵元构成的CMUT阵列,并采用SOI晶圆键合工艺制作。该阵列每个阵元包含16个圆形CMUT敏感单元,敏感单元的半径400μm,中心频率230 kHz。建立CMUT发射和接收瞬态仿真模型分别得到CMUT发射声压和接收灵敏度与激励电压的关系,并通过实验测试验证该仿真模型的准确性。最后通过实验对CMUT与商用压电空耦超声换能器的性能进行对比,实验结果表明CMUT的发射声压和接收灵敏度与商用换能器达到相同数量级,并且能够成功激发和接收铝合金板中A0模态Lamb波。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张慧,李志,郑冠儒,曾周末
来源: 声学学报 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 工业通用技术及设备
单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
基金: 国家自然科学基金项目(61201039,61771337)资助
分类号: TB552
DOI: 10.15949/j.cnki.0371-0025.2019.01.013
页码: 116-124
总页数: 9
文件大小: 1411K
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