芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计

论文摘要

芯片原子钟（CSAC）可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC?单片机和增量式比例-微分-积分（PID）算法设计了一种CSAC微电子机械系统（MEMS）原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡（ITO）加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。

论文目录

• 0 引言
• 1 系统设计
•   1.1 温度采集模块
•   1.2 自动控制算法
•   1.3 加热保温模块
• 2 ITO加热玻璃制备
• 3 实验结果
•   3.1 温控效果
•   3.2 饱和吸收光谱实验
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘召军,李坤,李云超,胡旭文,闫树斌,张彦军

关键词: 芯片原子钟,数字温控,饱和吸收,微电子机械系统原子气室,氧化铟锡加热玻璃

来源: 半导体技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,北京动力机械研究所

基金: 国家重点研发计划资助项目(2017YFB0503200),山西省自然基金资助项目(201701D121065),领域基金公开项目(61400030601)

分类号: TH714.14

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.06.002

页码: 410-414+420

总页数: 6

文件大小: 1831K

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