导读:本文包含了离子束增强沉积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:离子束,薄膜,磨损,溶胶,合金,凝胶,多层。
离子束增强沉积论文文献综述
包勇,张德银[1]（2014）在《离子束增强沉积制备钽酸锂薄膜电性能分析》一文中研究指出为提升钽酸锂薄膜的性能,提出一种离子束增强沉积法制备钽酸锂薄膜的新工艺。分别采用这种新工艺和溶胶-凝胶法制备了钽酸锂薄膜,并利用阻抗分析仪和铁电材料分析仪对制备样品进行了介电性能、铁电特性、漏电电流和热释电特性分析。实验结果表明,采用离子束增强沉积制备的钽酸锂样品经550℃退火后,介电常数为39.44,介电损耗为0.045;测试电场强度为400kV/cm时,漏电流为4.76×10-8 A/cm2,击穿场强为680kV/cm,热释电系数达到1.82×10-4 C/m2 K。相比之下,采用溶胶-凝胶方法制备的钽酸锂薄膜样品,其介电常数、介电损耗、漏电流都更大,击穿场强和热释电系数更低。从电性能参数比较可以看出,离子束增强沉积法比溶胶-凝胶法更适合用于制备钽酸锂薄膜。(本文来源于《材料科学与工程学报》期刊2014年04期）
唐长斌,刘道新,朱晓东,田林海[2]（2014）在《钛合金表面离子束增强沉积NiCr膜的耐腐蚀磨损性能》一文中研究指出钛合金是难镀材料,采用离子束增强沉积法(IBED),在Ti6Al4V钛合金表面制备NiCr膜,以期改善其耐腐蚀磨损性能。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、辉光放电光谱仪、显微硬度计、划痕仪、静态压入和动态循环压法表征其形态、结构、成分分布、硬度、膜基结合强度和膜的韧性;通过电化学极化曲线、交流阻抗测试和电偶腐蚀试验评价改性层的耐蚀性和接触相容性;利用球-盘磨损试验研究了改性层在空气中和3.5%NaCl溶液中腐蚀磨损性能。结果表明:IBED膜基结合强度高、膜层致密、晶粒细小,具备优异的强韧综合性能,良好的耐NaCl溶液腐蚀性能;IBED NiCr膜在NaCl溶液中磨损量仅为Ti6Al4V合金的1/4.5,磨损明显减轻,呈磨粒磨损机制,且其在水溶液中的耐磨性能优于在空气环境中。(本文来源于《材料保护》期刊2014年04期）
陈强,张春渤,谢建生[3]（2014）在《离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜》一文中研究指出利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5%ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35min,薄膜表现为p型导电,薄膜的最低电阻率为35.03Ω·cm,制备的薄膜在可见光范围内的平均透过率在80%以上,p型LZO薄膜禁带宽度小于本征ZnO(3.37eV)。(本文来源于《常州大学学报(自然科学版)》期刊2014年01期）
朱雪梅,马永乐,张琳[4]（2013）在《离子束增强沉积TiN薄膜的耐蚀性》一文中研究指出采用不同离子束入射方向的离子束增强沉积技术(IBED)在W18Cr4V高速钢表面沉积TiN薄膜.利用阳极极化曲线测试技术研究TiN薄膜在0.5 mol/L H2SO4和3%NaCl溶液中的耐蚀性.结果表明:在0.5 mol/L H2SO4溶液中,离子束入射角度为45°时的TiN薄膜的阳极极化曲线呈现自钝化,自腐蚀电位E corr由原始高速钢的-400 mV增至-71 mV,致钝电流密度i b和维钝电流密度i p分别比原始试样降低4个和2个数量级,耐蚀性能显着提高.在3%NaCl溶液中,离子束入射角度分别为0°、30°沉积的TiN薄膜的阳极极化曲线均呈现自钝化-点蚀击穿过程,随着入射角度的增加,自腐蚀电位和点蚀击穿电位升高,入射角度为45°时的TiN薄膜不发生点蚀破坏,自腐蚀电位E corr由原始高速钢的-600 mV增至-10 mV,具有高的抗点蚀性能.(本文来源于《大连交通大学学报》期刊2013年06期）
金铱,谢建生,李金华,袁宁一[5]（2010）在《用离子束增强沉积法制备In-N共掺杂ZnO薄膜》一文中研究指出用In2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶。在Si和Si O2/Si衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备In-N共掺杂氧化锌薄膜。在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致密、性能良好的共掺杂ZnO薄膜。初步研究了I NZO共掺杂薄膜的电阻率随退火条件的变化。(本文来源于《廊坊师范学院学报(自然科学版)》期刊2010年04期）
唐长斌,刘道新,李凡巧,张卿,张晓化[6]（2010）在《离子束增强沉积Ti-Mo多层膜和TiMo合金膜及其性能》一文中研究指出采用离子束增强磁控溅射沉积技术制备了Ti–Mo金属多层膜和TiMo合金膜,评价了膜层的结合强度、韧性、硬度等力学性能和摩擦学性能。结果表明:不同调制周期及不同调制比的Ti–Mo多层膜的硬度均比Ti、Mo金属单层膜的硬度高,调制周期小于200nm的多层膜呈现出明显的超硬度现象,调制周期为20nm的多层膜硬度达到最大值,多层膜硬度随Ti膜:Mo膜调制比的减小而提高。Mo过渡层比Ti过渡层更能有效改善膜层的结合强度,离子辅助轰击能明显提高膜层的结合力。TiMo合金膜的硬度与Mo金属单层膜相近,明显低于调制周期20～200nm的Ti–Mo多层膜,其韧性也明显低于调制周期60nm以上的Ti–Mo多层膜。调制周期20～200nm的Ti–Mo多层膜的耐磨性能优于TiMo合金膜。(本文来源于《中国表面工程》期刊2010年04期）
付学成,李金华,谢太斌,谢建生[7]（2009）在《离子束增强沉积法和溶胶-凝胶法制备的钨掺杂VO_2薄膜的性能比较》一文中研究指出氧化钒薄膜是一种重要的红外敏感膜,在红外探测与室温红外成像等领域有十分广泛的应用。利用掺杂的方法可以改变VO_2多晶薄膜的相变温度和电阻-温度系数(TCR),从而提高红外探测器的性能。用离子束增强沉积(IBED)和溶胶—凝胶(Sol-Gel)两种方法制备了VO_2薄膜,(本文来源于《第十二届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集》期刊2009-10-14）
陆中,张海宁,朱茂电[8]（2009）在《离子束增强沉积制备p-ZnO薄膜》一文中研究指出采用离子束增强沉积技术制备了ZnO薄膜,分析了退火温度、退火气氛对所制备ZnO薄膜的结构、电学特性和发光特性的影响。利用IBED法获得的薄膜p型N-In共掺ZnO薄膜在氮气下退火,随着退火温度的升高,薄膜电阻值先降低后升高,然后再降低。而在氧气下退火,即使退火温度只有400℃,薄膜的电阻很快变大。(本文来源于《应用化工》期刊2009年09期）
周日学[9]（2008）在《离子束增强沉积钛合金薄膜的空蚀磨损特性研究》一文中研究指出微电子机械系统(MEMS)的迅猛发展促进了纳米金属薄膜在微电子机械系统中的广泛应用。同宏观机械系统一样,当流体通过微电子机械系统时,若满足空泡生成的流体力学条件,系统微型腔内部也会出现空蚀磨损现象。本文利用磁致伸缩超声振荡仪研究了离子束增强沉积钛合金薄膜的空蚀磨损特性,分析了沉积薄膜的空蚀磨损机理,探讨了超声发生强度对薄膜空蚀磨损性能的影响。论文的主要结论如下:1.空蚀实验后,钛合金薄膜试样表面出现了一些随机分布、大小不一的凹坑;随着时间的增加,试样表面凹坑的数目和尺寸均变大。这是由于空泡在表面溃灭时产生的冲击破坏作用而引起的。由于空泡大小、空间分布和溃灭时距表面的距离具有随机性,所以使表面受到的冲击破坏力不同,近而导致薄膜试样表面凹坑大小和分布的随机性。2.在钛合金沉积薄膜和钛合金本体的空蚀磨损过程中,薄膜试样表面未出现沿晶界的滑移和裂纹,且观察不到沉积薄膜的塑性变形;本体试样表面也没有出现明显的沿晶界的滑移和变形,但随着实验时间的增加,本体试样表面出现相对均匀的塑性变形。3.通过对钛合金薄膜空蚀磨损形貌特征的分析,可将其空蚀磨损过程划分为4个阶段:空蚀孕育阶段、薄膜空蚀磨损阶段、薄膜剥蚀脱落阶段、基体空蚀磨损阶段。膜层的空蚀磨损特征表现为空泡溃灭冲击作用力下的凹坑形成、凹坑周围疲劳裂纹形成和扩展、膜层表面局部断裂以及薄膜的剥落。4.对薄膜试样的空蚀光学显微照片进行黑白两色的分色处理,绘制的试样空蚀磨损过程曲线表明:基于两色的空蚀图像处理能够较好的反应材料空蚀磨损过程,易于对局部区域的空蚀情况进行定量描述和表征。5.通过对不同超声发生强度条件下薄膜试样空蚀磨损特性的研究发现,在相同的空蚀时间内,功率越大,试样空蚀破坏程度越严重,由空蚀破坏而导致的薄膜剥蚀脱落所需时间越短。因为超声波发生器输出功率的变化,改变了设备超声发生强度,而超声发生强度的变化改变了设备振动系统的振幅,进而改变了试验系统的空化强度,空化强度的大小影响了材料的空蚀破坏程度。(本文来源于《大连海事大学》期刊2008-06-01）
李德军,张晶晶,邓湘云,王明霞[10]（2007）在《离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜》一文中研究指出利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN/W纳米多层膜.利用XRD,AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响,结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN或W薄膜.和其他制备条件相比,在300eV能量的氮离子轰击下制备的调制周期为8~9nm的多层膜,其结构中出现了强的ZrN(111),W(110)和ZrN(220)织构的混合,它的硬度和弹性模量分别达到26和310GPa,也展示了较高的耐磨性.(本文来源于《中国科学(E辑:技术科学)》期刊2007年11期）
离子束增强沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
钛合金是难镀材料,采用离子束增强沉积法(IBED),在Ti6Al4V钛合金表面制备NiCr膜,以期改善其耐腐蚀磨损性能。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、辉光放电光谱仪、显微硬度计、划痕仪、静态压入和动态循环压法表征其形态、结构、成分分布、硬度、膜基结合强度和膜的韧性;通过电化学极化曲线、交流阻抗测试和电偶腐蚀试验评价改性层的耐蚀性和接触相容性;利用球-盘磨损试验研究了改性层在空气中和3.5%NaCl溶液中腐蚀磨损性能。结果表明:IBED膜基结合强度高、膜层致密、晶粒细小,具备优异的强韧综合性能,良好的耐NaCl溶液腐蚀性能;IBED NiCr膜在NaCl溶液中磨损量仅为Ti6Al4V合金的1/4.5,磨损明显减轻,呈磨粒磨损机制,且其在水溶液中的耐磨性能优于在空气环境中。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
离子束增强沉积论文参考文献
[1].包勇,张德银.离子束增强沉积制备钽酸锂薄膜电性能分析[J].材料科学与工程学报.2014
[2].唐长斌,刘道新,朱晓东,田林海.钛合金表面离子束增强沉积NiCr膜的耐腐蚀磨损性能[J].材料保护.2014
[3].陈强,张春渤,谢建生.离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜[J].常州大学学报(自然科学版).2014
[4].朱雪梅,马永乐,张琳.离子束增强沉积TiN薄膜的耐蚀性[J].大连交通大学学报.2013
[5].金铱,谢建生,李金华,袁宁一.用离子束增强沉积法制备In-N共掺杂ZnO薄膜[J].廊坊师范学院学报(自然科学版).2010
[6].唐长斌,刘道新,李凡巧,张卿,张晓化.离子束增强沉积Ti-Mo多层膜和TiMo合金膜及其性能[J].中国表面工程.2010
[7].付学成,李金华,谢太斌,谢建生.离子束增强沉积法和溶胶-凝胶法制备的钨掺杂VO_2薄膜的性能比较[C].第十二届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集.2009
[8].陆中,张海宁,朱茂电.离子束增强沉积制备p-ZnO薄膜[J].应用化工.2009
[9].周日学.离子束增强沉积钛合金薄膜的空蚀磨损特性研究[D].大连海事大学.2008
[10].李德军,张晶晶,邓湘云,王明霞.离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜[J].中国科学(E辑:技术科学).2007
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