单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验

单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验

论文摘要

采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm~2;随着有效脉冲数增加,烧蚀阈值逐渐减小;当有效脉冲数小于124时,烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小;当有效脉冲数增加到486后,烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 烧蚀阈值实验方案
  •   2.1 烧蚀阈值的计算原理
  •   2.2 实验材料与方法
  •     2.2.1 实验材料
  •     2.2.2 实验方法
  • 3 实验结果及分析
  •   3.1 单晶金刚石飞秒激光单脉冲烧蚀阈值实验
  •   3.2 多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化规律
  • 4 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈根余,朱智超,殷赳,熊彪,金梦奇

    关键词: 激光技术,激光器与激光光学,激光烧蚀,飞秒激光,单晶金刚石,烧蚀阈值

    来源: 中国激光 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,信息科技

    专业: 物理学,无线电电子学

    单位: 湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室,湖南大学激光研究所

    基金: 国家自然科学基金(51675172),湖南省研究生科研创新项目(CX2017B082)

    分类号: TN249

    页码: 34-41

    总页数: 8

    文件大小: 1583K

    下载量: 487

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