论文摘要
采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝（Poly Aluminium Chloride,PAC）作为混凝剂,在添加浓度为0.5‰、反应pH值为8.0时,可有效降低化学机械研磨废水中溶解硅的初始浓度;配合板式膜过滤和反渗透工艺,最终产水的导电度小于50μs/cm,浊度小于1.0 NTU,溶解硅浓度小于0.001‰。产水的水质优于自来水,可回用至超纯水系统作为超纯水制备的原水。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王雯佳,章婷婷
关键词: 化学机械研磨废水,混凝,板式膜,反渗透,回收水,超纯水
来源: 上海船舶运输科学研究所学报 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 环境科学与资源利用,无线电电子学
单位: 同济大学环境工程与科学学院,同济大学苏州研究院
分类号: X76;TN40
页码: 85-90
总页数: 6
文件大小: 643K
下载量: 66