一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置论文和设计-陈光荣

全文摘要

本实用新型公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置,涉及真空泵技术,具体涉及一种溅射离子泵的保护技术;其特征在于:包括温度开关组件和连接固定螺母;连接固定螺母焊接于离子泵阴极外壳外表面上,温度开关组件通过连接固定螺母进行连接;温度开关组件由连接螺栓、不锈钢壳、不锈钢壳盖板、温度开关和航空插座构成;温度开关引脚与航空插座之间设置了电连接。本实用新型的优点是:如果离子泵温度高于限定温度,温度开关发出信号,通知离子泵电源立即关断高压输出,以免对离子泵及其电源造成严重的破坏,具有延长加速器溅射离子泵使用寿命、保障离子泵长期工作稳定性、增强安全性的作用。

主设计要求

1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置,其特征在于:包括温度开关组件(2)和连接固定螺母(3);连接固定螺母(3)焊接于离子泵阴极外壳(1)外表面上,温度开关组件(2)通过连接固定螺母(3)进行连接;温度开关组件(2)由连接螺栓(4)、不锈钢壳(5)、不锈钢壳盖板(6)、温度开关(7)和航空插座(8)构成;连接螺栓(4)焊接于不锈钢壳(5)底板下面,规格与连接固定螺母(3)匹配;不锈钢壳(5)设置为容器状,不锈钢壳盖板(6)形状与不锈钢壳(5)上口匹配,并以螺栓与不锈钢壳(5)固定;温度开关(7)以螺栓固定于不锈钢壳(5)内部底面上;航空插座(8)设置在不锈钢壳盖板(6)上,温度开关(7)引脚与航空插座(8)之间设置了电连接。

设计图

一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201920001226.1

申请日:2019-01-02

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:88(济南)

授权编号:CN209045485U

授权时间:20190628

主分类号:H01J41/12

专利分类号:H01J41/12

范畴分类:38D;

申请人:山东蓝孚高能物理技术股份有限公司

第一申请人:山东蓝孚高能物理技术股份有限公司

申请人地址:250101 山东省济南市高新区颖秀路2711号

发明人:陈光荣;陈孝荣;李传南;黄忠义;巩新胜

第一发明人:陈光荣

当前权利人:山东蓝孚高能物理技术股份有限公司

代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

标签:;  ;  ;  ;  

一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置论文和设计-陈光荣
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