导读:本文包含了零位信号论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:零位,信号,电压,相位,光栅,莫尔,脉冲。
零位信号论文文献综述
张旭[1]（2014）在《光刻机工件台六自由度零位传感器结构设计与信号处理》一文中研究指出半导体产业在经济生产中扮演的角色越来越重要，作为半导体芯片的主要生产设备，光刻机工件台的定位精度直接影响到芯片的线宽及产率。本论文的研究就是建立在步进扫描投影式光刻机基础上。工件台的六自由度测量由光栅尺和激光干涉仪等光学传感器等传感器测得，但激光干涉仪是增量式传感器，零位校准是其正常工作的必要条件，本文将针对这一过程设计一种六自由度零位传感器，并将测得的零位数据进行信号处理后传递给信号采集卡，进而对激光干涉仪的零位补偿值进行修正。首先，本文首先简要介绍了目前常用的几种微位移测量方法，根据各种方法的特点，最终选择光学叁角法作为位移测量方法。然后分别分析了位置敏感传感器和角锥棱镜的基本工作原理，并对位置敏感传感器结合角锥棱镜的六自由度测量方法进行了阐述。其次，本文在基于位置敏感传感器的微位移测量原理分析的基础上，从光学、机械、硬件电路叁个方面详细阐释了二自由度测量系统的具体设计与实现过程。，主要包括光学系统分析、关键器件选型、机械结构分析、硬件电路设计及软件程序设计等工作。然后，针对本文设计与实现的二自由度测量系统，先对系统可能存在的误差进行分析，设计了相应的实验方案对系统性能进行评价，再对分辨力、重复性两个方面进行测试，得出实验结果，验证了二自由度测量系统设计的可行性。最后，本文对激光干涉仪系统的零位校准问题进行了研究。激光干涉仪是实现光刻机工件台六自由度测量的关键传感器，而零位校准是其正常工作的先决条件，这一过程则由本文设计的零位传感器实现。根据零位传感器的测量值对激光干涉仪的零位补偿值进行修正，从而达到校零的目的。基于本文设计与实现的零位传感器，提出校准方法，建立相关模型，并确定具体的零位校准过程；提出一种简化的激光干涉仪模型用于校零过程，并确定了激光干涉仪初始化以及零位补偿量的修正方法；确定了激光干涉仪系统的零位校准流程。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2014-06-01）
徐岳珠,朱真木[2]（2007）在《信号电机的零位剩余电压机理分析》一文中研究指出就信号电机的零位剩余电压从机理上进行分析,零位剩余电压主要由基波分量及谐波分量组成;零位剩余电压产生的主要原因是铁心涡流磁滞的不均匀性,以及加工中造成的不对称性。(本文来源于《微特电机》期刊2007年09期）
邱定筹[3]（2006）在《基于8031单片机的零位信号动态校正系统》一文中研究指出本文研究了沿工件原有螺纹沟槽上进行螺纹数控加工的半自动对刀问题,设计了一种基于8031单片机的零位信号动态校正系统来对车床主轴的零位脉冲信号进行实时的动态校正,并以此校正后的零位信号作为控制信号,来完成这类工件的数控加工。(本文来源于《机电工程技术》期刊2006年07期）
张大福,刘杨明,赵德湘[4]（2005）在《SS3型机车电子柜“零”位信号电路的改进》一文中研究指出SS3型机车的电子柜采用“双零”位信号,在电路中增加了CLZJ4和LWZJ两个有接点中间环节,降低了机车调速控制的可靠性。针对此文章提出对电路进行改进的建议。(本文来源于《电力机车与城轨车辆》期刊2005年01期）
蔡善乐,曹庆,马志宏,谢黎明[5]（2004）在《螺纹数控加工的动态校正零位脉冲信号控制法》一文中研究指出提出一种螺纹数控加工的动态校正的零位脉冲信号控制法 ,其可完成按工件上原有螺纹螺旋线再进行数控加工 ,并给出实现此控制法的基于 80 3 1单片机的硬件与软件相结合所构成的动态校正系统。(本文来源于《现代制造工程》期刊2004年02期）
张文海,陈志洪[6]（2001）在《信号电机零位电压实验与分析》一文中研究指出信号电机零位电压的存在,信号电机的零位误差和输出相位移变化都将受到影响。为此,对信号电机零位电压产生的原因进行分析就显得非常必要。下面是我们对这一问题的实验与分析:2 旋转变压器零位电压实验 选择两种电机:28XZ32、20XZ32各4台。有关数据为:28XZ32、电压400Hz36V,变比0.56,零位电压≤45mV;20XZ02,电压400Hz26V,变比1,零位电压≤65mV。测试各零点的零位电压,激滋补偿绕组的正交电压,补偿绕组短接与不短接的角偏移,零位误差。实验数据如下表:(本文来源于《'2001第六届中国小电机技术研讨会论文集》期刊2001-11-01）
张文海,陈志洪[7]（2001）在《信号电机零位电压对输出相位移的影响》一文中研究指出1问题分析所谓信号机零位电压 ,是指信号机输出电压基波同相分量为零时的电压。因此零位电压不含基波同相分量 ,而只是基波正交分量和各种干扰电压的总和。干扰电压由于频率不同 ,不会对基波相位移造成影响。同时用相位计测相位时 ,已通过仪器内部的选频电路将它滤掉(本文来源于《微特电机》期刊2001年05期）
李金泉[8]（1996）在《光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分》一文中研究指出本文介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．６２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。(本文来源于《计量技术》期刊1996年01期）
姜素苹[9]（1994）在《PCM群信号零位速检方案设计与实现》一文中研究指出本文介绍遥测系统ＰＣＭ群信号零位检测的设计思想和试验效果。该方案以某种遥测系统为测试对象，能随时检测遥测设备的工作情况，及时发现问题并为故障排除提供依据。该方法采用隔路采集，能适应更高速率的ＰＣＭ群信号检测，适应供强。(本文来源于《遥测遥控》期刊1994年02期）
谭仲甫[10]（1991）在《新型高精度零位信号发生器》一文中研究指出在很多需要较高精度零位信号的设备中,广泛使用编码光栅传感器。为了提高从这种传感器所获得的零位信号的可重复性,必须尽量减小信号脉冲宽度,即减小光栅单元线宽,同时提高信噪比。但是,在减小线宽的同时,由衍射而产生的杂散光变得严重起来,信噪比随之降低。另一方面,从光栅的第一菲涅尔焦面位置公式可以看出,随着线宽的减小,相对移动的两块光栅板之间的距离也要减小,若线宽为0.01mm,当采用0.0008mm波长的红(本文来源于《光学仪器》期刊1991年04期）
零位信号论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
就信号电机的零位剩余电压从机理上进行分析,零位剩余电压主要由基波分量及谐波分量组成;零位剩余电压产生的主要原因是铁心涡流磁滞的不均匀性,以及加工中造成的不对称性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
零位信号论文参考文献
[1].张旭.光刻机工件台六自由度零位传感器结构设计与信号处理[D].哈尔滨工业大学.2014
[2].徐岳珠,朱真木.信号电机的零位剩余电压机理分析[J].微特电机.2007
[3].邱定筹.基于8031单片机的零位信号动态校正系统[J].机电工程技术.2006
[4].张大福,刘杨明,赵德湘.SS3型机车电子柜“零”位信号电路的改进[J].电力机车与城轨车辆.2005
[5].蔡善乐,曹庆,马志宏,谢黎明.螺纹数控加工的动态校正零位脉冲信号控制法[J].现代制造工程.2004
[6].张文海,陈志洪.信号电机零位电压实验与分析[C].'2001第六届中国小电机技术研讨会论文集.2001
[7].张文海,陈志洪.信号电机零位电压对输出相位移的影响[J].微特电机.2001
[8].李金泉.光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分[J].计量技术.1996
[9].姜素苹.PCM群信号零位速检方案设计与实现[J].遥测遥控.1994
[10].谭仲甫.新型高精度零位信号发生器[J].光学仪器.1991
论文知识图
