全文摘要
本实用新型提供了一种双远心投影光刻镜头，其设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景,包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透镜，具有正光焦度；第二透镜，具有负光焦度；第三透镜，具有正光焦度；第四透镜，具有负光焦度；第五透镜，具有负光焦度；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具有负光焦度；第七透镜，具有正光焦度；第八透镜，具有正光焦度；第九透镜；第十透镜，具有正光焦度；第十一透镜，具有负光焦度。
主设计要求
1.一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透镜，具有正光焦度，所述第一透镜的物面侧为凸面，所述第一透镜的像面侧为凸面；第二透镜，具有负光焦度，所述第二透镜的物面侧为凸面，所述第二透镜的像面侧为凹面；第三透镜，具有正光焦度，所述第三透镜的物面侧为凸面，所述第三透镜的像面侧为凸面；第四透镜，具有负光焦度，所述第四透镜的物面侧为凹面，所述第四透镜的像面侧为凸面；第五透镜，具有负光焦度，所述第五透镜的物面侧为凹面，所述第五透镜的像面侧为凸面；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具有负光焦度，所述第六透镜的物面侧为平面，所述第六透镜的像面侧为凹面；第七透镜，具有正光焦度，所述第七透镜的物面侧为凸面，所述第七透镜的像面侧为凸面；第八透镜，具有正光焦度，所述第八透镜的物面侧为凸面，所述第八透镜的像面侧为凸面；第九透镜，具有正光焦度，所述第九透镜的物面侧为凸面，所述第九透镜的像面侧为凸面；第十透镜，具有正光焦度，所述第十透镜的物面侧为凹面，所述第十透镜的像面侧为凸面；第十一透镜，具有负光焦度，所述第十一透镜的物面侧为平面，所述第十透镜的像面侧为凹面；其中，第六透镜与第七透镜的光学边缘紧贴设置；双远心投影光刻镜头满足如下关系：150mm＆lt;f1＆lt;400mm，20mm＆lt;f2＆lt;200mm，0.1＆lt;f1\/f＆lt;3，0.05＆lt;f2\/f＆lt;3，其中，f1为前透镜组的焦距值，f2为后透镜组的焦距值，f为双远心投影光刻镜头的焦距值。
设计方案
1.一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；
所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第一透镜，具有正光焦度，所述第一透镜的物面侧为凸面，所述第一透镜的像面侧为凸面；
第二透镜，具有负光焦度，所述第二透镜的物面侧为凸面，所述第二透镜的像面侧为凹面；
第三透镜，具有正光焦度，所述第三透镜的物面侧为凸面，所述第三透镜的像面侧为凸面；
第四透镜，具有负光焦度，所述第四透镜的物面侧为凹面，所述第四透镜的像面侧为凸面；
第五透镜，具有负光焦度，所述第五透镜的物面侧为凹面，所述第五透镜的像面侧为凸面；
所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第六透镜，具有负光焦度，所述第六透镜的物面侧为平面，所述第六透镜的像面侧为凹面；
第七透镜，具有正光焦度，所述第七透镜的物面侧为凸面，所述第七透镜的像面侧为凸面；
第八透镜，具有正光焦度，所述第八透镜的物面侧为凸面，所述第八透镜的像面侧为凸面；
第九透镜，具有正光焦度，所述第九透镜的物面侧为凸面，所述第九透镜的像面侧为凸面；
第十透镜，具有正光焦度，所述第十透镜的物面侧为凹面，所述第十透镜的像面侧为凸面；
第十一透镜，具有负光焦度，所述第十一透镜的物面侧为平面，所述第十透镜的像面侧为凹面；
其中，第六透镜与第七透镜的光学边缘紧贴设置；
双远心投影光刻镜头满足如下关系：
150mm<f1<400mm，20mm<f2<200mm，
0.1<f1\/f<3，0.05<f2\/f<3，
其中，f1为前透镜组的焦距值，f2为后透镜组的焦距值，f为双远心投影光刻镜头的焦距值。
2.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜分别为玻璃材质。
3.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述光阑大小为8mm—10mm。
4.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述双远心投影光刻镜的镜头总长小于36mm。
5.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述双远心投影光刻镜的F数为4-10之间。
6.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜的镜片口径均小于80mm。
7.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜70；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第二透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，50＜Vd＜70；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第三透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第四透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第五透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第六透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第七透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第八透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第九透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第十透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.7，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第十一透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.7，20＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数。
8.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜的物面侧还满足以下条件：190mm＜R＜220mm，所述第一透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第二透镜的物面侧还满足以下条件：800mm＜R＜850mm，所述第二透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第三透镜的物面侧还满足以下条件：150mm＜R＜250mm，所述第三透镜的像面侧还满足以下条件：150mm＜R＜200mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第四透镜的物面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，所述第四透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第五透镜的物面侧还满足以下条件：250mm＜R＜350mm，所述第五透镜的像面侧还满足以下条件：200mm＜R＜250mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第六透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第七透镜的物面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，所述第七透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第八透镜的物面侧还满足以下条件：200mm＜R＜300mm，所述第八透镜的像面侧还满足以下条件：500mm＜R＜600mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第九透镜的物面侧还满足以下条件：80mm＜R＜130mm，所述第九透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第十透镜的物面侧还满足以下条件：180mm＜R＜220mm，所述第十透镜的像面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第十一透镜的像面侧还满足以下条件：30mm＜R＜50mm，其中，所述R为曲率半径。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及光学镜头技术领域，尤其涉及一种双远心投影光刻镜头。
背景技术
工业镜头是机器视觉系统中十分重要的成像元件，系统若想完全发挥其功能，工业镜头必须要能够满足要求才行。21世纪初，随着机器视觉系统在精密检测领域的广泛应用，普通工业镜头难以满足检测要求，为弥补普通镜头应用之不足，适应精密检测需求，远心镜头应运而生。
远心镜头具有区别于普通镜头的优越特性：低畸变、恒放大倍率等，因此在机器视觉非接触测量领域中应用广泛，常采用特殊设计的远心镜头来避免传统镜头的透视畸变。
双远心镜头则是指既满足物方远心光路特点又满足像方远心光路特点的成像系统，它包含了两种远心光路共同的优势，因此设计难度更大，此类镜头往往为固定放大倍率镜头，且物方、像方的远心度无法同时满足高水准，目前的双远心镜头无法在保证长工作距离和高倍率前提下，拥有较好的远心度和较低的畸变。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种双远心投影光刻镜头，其设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景。
其技术方案是这样的：一种双远心投影光刻镜头，其特征在于，包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；
所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第一透镜，具有正光焦度，所述第一透镜的物面侧为凸面，所述第一透镜的像面侧为凸面；
第二透镜，具有负光焦度，所述第二透镜的物面侧为凸面，所述第二透镜的像面侧为凹面；
第三透镜，具有正光焦度，所述第三透镜的物面侧为凸面，所述第三透镜的像面侧为凸面；
第四透镜，具有负光焦度，所述第四透镜的物面侧为凹面，所述第四透镜的像面侧为凸面；
第五透镜，具有负光焦度，所述第五透镜的物面侧为凹面，所述第五透镜的像面侧为凸面；
所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第六透镜，具有负光焦度，所述第六透镜的物面侧为平面，所述第六透镜的像面侧为凹面；
第七透镜，具有正光焦度，所述第七透镜的物面侧为凸面，所述第七透镜的像面侧为凸面；
第八透镜，具有正光焦度，所述第八透镜的物面侧为凸面，所述第八透镜的像面侧为凸面；
第九透镜，具有正光焦度，所述第九透镜的物面侧为凸面，所述第九透镜的像面侧为凸面；
第十透镜，具有正光焦度，所述第十透镜的物面侧为凹面，所述第十透镜的像面侧为凸面；
第十一透镜，具有负光焦度，所述第十一透镜的物面侧为平面，所述第十透镜的像面侧为凹面；
其中，第六透镜与第七透镜的光学边缘紧贴设置；
双远心投影光刻镜头满足如下关系：
150mm<f1<400mm，20mm<f2<200mm，
0.1<f1\/f<3，0.05<f2\/f<3，
其中，f1为前透镜组的焦距值，f2为后透镜组的焦距值，f为双远心投影光刻镜头的焦距值。
进一步的，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜分别为玻璃材质。
进一步的，所述光阑大小为9.5mm。
进一步的，所述双远心投影光刻镜的镜头总长小于36mm。
进一步的，所述双远心投影光刻镜的F数在4-10之间。
进一步的，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜的镜片口径均小于80mm。
进一步的，所述第一透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜70；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第二透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，50＜Vd＜70；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第三透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第四透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第五透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第六透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第七透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第八透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第九透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第十透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.7，50＜Vd＜80；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数；
所述第十一透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.7，20＜Vd＜40；其中，所述Nd为光折射率，所述Vd为阿贝常数。
进一步的，所述第一透镜的物面侧还满足以下条件：190mm＜R＜220mm，所述第一透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第二透镜的物面侧还满足以下条件：800mm＜R＜850mm，所述第二透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第三透镜的物面侧还满足以下条件：150mm＜R＜250mm，所述第三透镜的像面侧还满足以下条件：150mm＜R＜200mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第四透镜的物面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，所述第四透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第五透镜的物面侧还满足以下条件：250mm＜R＜350mm，所述第五透镜的像面侧还满足以下条件：200mm＜R＜250mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第六透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第七透镜的物面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，所述第七透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第八透镜的物面侧还满足以下条件：200mm＜R＜300mm，所述第八透镜的像面侧还满足以下条件：500mm＜R＜600mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第九透镜的物面侧还满足以下条件：80mm＜R＜130mm，所述第九透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第十透镜的物面侧还满足以下条件：180mm＜R＜220mm，所述第十透镜的像面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，其中，所述R为曲率半径；
所述第十一透镜的像面侧还满足以下条件：30mm＜R＜50mm，其中，所述R为曲率半径。
本实用新型的双远心投影光刻镜头由前透镜组和后透镜组组合而成，并且前透镜组的像方焦点与后透镜组的物方焦点完全重合，孔径光阑正好位于两焦点重合位置，形成无焦系统，其结构简单、体积较小，具备良好的加工性能，具备优异的成像性能；远心镜头同时满足物方、像方双远心，且物方远心度和像方远心度均可以满足一般远心镜头的标准并具备极高的远心度水平，景深大，在一定物距范围内可使图像的放大倍率保持一致，极小的畸变使得图像失真度大大降低，使其检测精度进一步提升，可充分应用于未来的工业检测领域当中；所用11片透镜的通光口径均比较小，可以减小透镜的加工成本，操作使用便利，测量精度高，具有广阔的应用前景。
附图说明
图1为本实用新型的双远心投影光刻镜头的结构示意图；
图2为实施例中的双远心投影光刻镜头的MTF图；
图3为实施例中的双远心投影光刻镜头的点列图；
图4为实施例中的双远心投影光刻镜头的畸变图。
具体实施方式
见图1，本实用新型的一种双远心投影光刻镜头，包括从物方13至像方14依次设置的前透镜群组、光阑12、后透镜群组；
前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第一透镜1，具有正光焦度，第一透镜的物面侧101为凸面，第一透镜的像面侧102为凸面；
第二透镜2，具有负光焦度，第二透镜的物面侧21为凸面，第二透镜的像面侧22为凹面；
第三透镜3，具有正光焦度，第三透镜的物面侧31为凸面，第三透镜的像面侧32为凸面；
第四透镜4，具有负光焦度，第四透镜的物面侧41为凹面，第四透镜的像面侧42为凸面；
第五透镜5，具有负光焦度，第五透镜的物面侧51为凹面，第五透镜的像面侧52为凸面；
后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：
第六透镜6，具有负光焦度，第六透镜的物面61侧为平面，第六透镜的像面侧62为凹面；
第七透镜7，具有正光焦度，第七透镜的物面侧71为凸面，第七透镜的像面侧72为凸面；
第八透镜8，具有正光焦度，第八透镜的物面侧81为凸面，第八透镜的像面侧82为凸面；
第九透镜9，具有正光焦度，第九透镜的物面侧91为凸面，第九透镜的像面侧92为凸面；
第十透镜10，具有正光焦度，第十透镜的物面侧10-1为凹面，第十透镜的像面侧10-2为凸面；
第十一透镜11，具有负光焦度，第十一透镜的物面侧111为平面，第十透镜的像面侧112为凹面；
其中，第六透镜6与第七透镜7的光学边缘紧贴设置；
双远心投影光刻镜头满足如下关系：
150mm<f1<400mm，20mm<f2<200mm，
0.1<f1\/f<3，0.05<f2\/f<3，
其中，f1为前透镜组的焦距值，f2为后透镜组的焦距值，f为双远心投影光刻镜头的焦距值。
此外，第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4、第五透镜5、第六透镜6、第七透镜7、第八透镜8、第九透镜9、第十透镜10、第十一透镜11分别为玻璃材质。
另外，本实用新型的一种双远心投影光刻镜头还满足：光阑大小为9.5mm，双远心投影光刻镜的镜头总长小于36mm.双远心投影光刻镜的F数在4-10之间，物距和像距均大于60mm。
第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4、第五透镜5、第六透镜6、第七透镜7、第八透镜8、第九透镜9、第十透镜10、第十一透镜11的镜片口径均小于80mm。
具体的，第一透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜70；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第二透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，50＜Vd＜70；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第三透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第四透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第五透镜还满足以下条件：1.3＜Nd＜1.7，10＜Vd＜40；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第六透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第七透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第八透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第九透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.8，50＜Vd＜80；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第十透镜还满足以下条件：1.4＜Nd＜1.7，50＜Vd＜80；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数；
第十一透镜还满足以下条件：1.5＜Nd＜1.7，20＜Vd＜40；其中，Nd为光折射率，Vd为阿贝常数。
第一透镜的物面侧还满足以下条件：190mm＜R＜220mm，第一透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，R为曲率半径；
第二透镜的物面侧还满足以下条件：800mm＜R＜850mm，第二透镜的像面侧还满足以下条件：80mm＜R＜100mm，其中，R为曲率半径；
第三透镜的物面侧还满足以下条件：150mm＜R＜250mm，第三透镜的像面侧还满足以下条件：150mm＜R＜200mm，其中，R为曲率半径；
第四透镜的物面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，第四透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，R为曲率半径；
第五透镜的物面侧还满足以下条件：250mm＜R＜350mm，第五透镜的像面侧还满足以下条件：200mm＜R＜250mm，其中，R为曲率半径；
第六透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，R为曲率半径；
第七透镜的物面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，第七透镜的像面侧还满足以下条件：70mm＜R＜100mm，其中，R为曲率半径；
第八透镜的物面侧还满足以下条件：200mm＜R＜300mm，第八透镜的像面侧还满足以下条件：500mm＜R＜600mm，其中，R为曲率半径；
第九透镜的物面侧还满足以下条件：80mm＜R＜130mm，第九透镜的像面侧还满足以下条件：100mm＜R＜150mm，其中，R为曲率半径；
第十透镜的物面侧还满足以下条件：180mm＜R＜220mm，第十透镜的像面侧还满足以下条件：20mm＜R＜50mm，其中，R为曲率半径；
第十一透镜的像面侧还满足以下条件：30mm＜R＜50mm，其中，R为曲率半径。
具体实施例一：
以下给出本实用新型的双远心投影光刻镜头的一个具体实施例，其满足下表的参数：
表1
表1中的R为各光学元件的表面的曲率半径，D为各光学元件的中心厚度，Nd为各光学元件的折射率，Vd为各光学元件的阿贝常数。
对上述实施例中的光纤耦合镜头进行光学测试，图2为实施例中的双远心投影光刻镜头的MTF图；由图2可知，系统MTF值比较接近衍射极限；
图3为实施例中的双远心投影光刻镜头的点列图，从图3中可见，本实施例中的聚焦光斑的尺寸小，由图3中系统点列图可以看出，系统到达像面的光线几乎都在艾里斑范围内，该远心镜头在0视场、0.707视场及1.0视场下的RMS RADIUS最大值1.159μm，小于衍射极限值3.721μm；
图4为实施例中的双远心投影光刻镜头的畸变图,场曲校正在0.2mm范围内，满足设计要求，畸变虽然不影响成像质量但是畸变的大小影响成像的准确性，通过校正，系统畸变在0.2％以下,能够使本实用新型的光学系统在不同视场下控制像斑半径在5μm以下,并且控制场曲像差在-0.1mm至0.1mm范围内，使光学系统的畸变控制在0.2％范围内。
本实施例的双远心投影光刻镜头由前透镜组和后透镜组组合而成，并且前透镜组的像方焦点与后透镜组的物方焦点完全重合，孔径光阑正好位于两焦点重合位置，形成无焦系统，其结构简单、体积较小，具备良好的加工性能，具备优异的成像性能；远心镜头同时满足物方、像方双远心，且物方远心度和像方远心度均可以满足一般远心镜头的标准并具备极高的远心度水平，远心度0.02度，景深大，在一定物距范围内可使图像的放大倍率保持一致，极小的畸变使得图像失真度大大降低，使其检测精度进一步提升，可充分应用于未来的工业检测领域当中；所用11片透镜的通光口径均比较小，可以减小透镜的加工成本，操作使用便利，测量精度高，具有广阔的应用前景。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201822254649.2
申请日:2018-12-29
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209132501U
授权时间:20190719
主分类号:G02B 13/00
专利分类号:G02B13/00;G02B13/22
范畴分类:30A;
申请人:苏州源卓光电科技有限公司
第一申请人:苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址:215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
发明人:张柯;张雷;李伟成
第一发明人:张柯
当前权利人:苏州源卓光电科技有限公司
代理人:陈松
代理机构:32293
代理机构编号:苏州国诚专利代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计