多晶硅生产中硅芯氧化问题探究

论文摘要

改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。

论文目录

• 1 原因分析
• 2 问题措施
•   2.1 优化置换方式
•   2.2 控制体系温度
•   2.3 基盘及炉筒重点清理并干燥处理
•   2.4 缩短备炉时间, 减少硅芯安装过程中带入大量水分
•   2.5 硅芯、石墨等备件要干燥处理
• 3 措施验证
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 宋张佐,刘阳赞,蔡永明,周万礼

关键词: 多晶硅,硅芯,氧化,措施

来源: 云南化工 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 云南能投化工有限责任公司

分类号: TQ127.2

页码: 4-6

总页数: 3

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