导读:本文包含了多层膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:多层,隔离器,普鲁士,离子,磁控溅射,各向异性,电子束。
多层膜论文文献综述
郭朝乾,林松盛,石倩,韦春贝,李洪[1]（2019）在《多层膜与单层膜的残余应力关系推导及验证》一文中研究指出本研究由Stoney公式出发,推导了多层膜的残余应力计算公式。多层膜的残余应力等于内部各单层残余应力的权重平均值,并在非晶薄膜体系(梯度类金刚石多层膜)和晶态/非晶态薄膜体系(氮化铬/类金刚石多层膜)中进行了验证。通过电弧离子镀技术制备了多层和单层膜样品,利用表面轮廓仪、薄膜应力仪和扫描电镜分别对薄膜的厚度、残余应力和薄膜截面形貌进行表征。结果表明,推导的多层膜残余应力计算公式是正确的,能够对多层薄膜的设计提供指导。在本实验中利用该公式通过单层膜预测多层膜的残余应力,相对误差在0.2%-10.7%之间,可能与膜基界面错配引起的应力有关。特别地,对于交替多层膜,内部层数为偶数时,多层膜的残余应力为常数;内部层数为奇数时,多层膜的残余应力随层数的增加单调变化,逐渐接近层数为偶数时的常数值。(本文来源于《TFC'19第十五届全国薄膜技术学术研讨会摘要集》期刊2019-11-15）
管翔翔,沈希,张静,姚湲,孙继荣[2]（2019）在《电子束辐照下LaCoO_3/LaMnO_3多层膜的结构演化》一文中研究指出本文利用扫描透射电子显微学方法,表征了在压应力铝酸镧及拉应力钛酸锶衬底生长的LaCoO_3/LaMnO_3多层膜中的应变分布,研究了在电子束辐照作用下LaCoO_3/LaMnO_3多层膜的结构演化。LaMnO_3层中压应变引起的缺陷在电子束辐照下会得到愈合,LaCoO_3层在电子束辐照下会产生更多的暗条纹。电子能量损失谱的结果表明,辐照前后LaCoO_3,LaMnO_3层中辐照区域均会产生更多的氧空位。本文研究的多层膜中的结构演化是应变能、电子束辐照的能量以及氧空位形成能共同作用的结果。本文也为电子束辐照调控LaCoO_3薄膜的磁性提供了可能。(本文来源于《电子显微学报》期刊2019年05期）
周章渝,肖寒,王松,张青竹,王代强[3]（2019）在《MgB_2/Mo多层膜的制备与超导性质》一文中研究指出采用磁控溅射技术(MS)和混合物理化学气相沉积法(HPCVD)在单晶Al_2O_3基底上制备MgB_2/Mo多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法对样品的表面形貌、晶体结构和超导特性进行了测量研究。结果表明,随着后续MgB_2沉积温度的提高,各膜层结晶程度进一步提高,晶粒尺寸不断增大,各自保持着良好的物质稳定性。在730℃下生长的MgB_2薄膜的超导转变温度T_(conset)和零电阻温度T_(c0)分别为39.73和39.53 K,剩余电阻率ρ_(40K)为0.77μΩ·cm,表明样品处于干净极限。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2019年08期）
冯德香,黄迎春,张克,陈结霞,尉艳[4]（2019）在《金纳米粒子点缀普鲁士蓝-石墨烯多层膜传感界面的构建及在免疫传感器中的应用》一文中研究指出利用多次电沉积和自组装技术交替,在玻碳电极上制备有序的多层膜(石墨烯/普鲁士蓝)5(PB/r GO)5),开发了一种灵敏直接型的电化学免疫传感器并应用于癌胚抗原的检测。金纳米粒子被吸附到多层膜的表面固定癌胚抗体,多层膜的结构能有效的防止普鲁士蓝从电极表面上的泄露,也提高了传感器的稳定性。多层膜中的普鲁士蓝同时也是信号分子,从而避免在检测液中添加其它的电活性分子。电化学及扫描显微镜用于表征传感器的制备过程。在最优的实验条件下,该传感器对癌胚抗原的检测范围为0. 2～60. 0 ng/mL,检测限为50 pg/mL(S/N=3)。(本文来源于《分析试验室》期刊2019年07期）
周青春,李可芯,嵇群,王颖[5]（2019）在《Ce:YIG/SiO_2多层膜光隔离器的设计》一文中研究指出应用4×4传输矩阵法计算了由Ce:YIG磁性层、SiO_2电介质层构成的多缺陷多层膜对称磁光子晶体的Faraday旋转和透射响应谱。结果表明,通过光子晶体几何结构的设计和外加静磁场方向的转动,可以实现理想或近理想的磁光隔离器,这样的磁光隔离器长度不超过30μm。本文设计的平顶磁光隔离器工作波长为1 550 nm,无需转动外磁场,其带宽达7.2 nm,透射率超过99.99%,Faraday旋转角为45.09°。(本文来源于《安庆师范大学学报(自然科学版)》期刊2019年02期）
李琪,代明江,韦春贝,刘凤美,熊敏[6]（2019）在《调制比对MoS_2-Ti/Cu-Ni-In多层膜微动磨损性能影响》一文中研究指出为了改善钛合金表面的抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在钛合金(TC4)表面沉积了不同调制比(2∶1、1∶1、1∶2)的MoS_2-Ti/Cu-Ni-In多层固体润滑膜(调制周期均为2μm)。利用扫描电镜、划痕仪、XRD、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机、3D表面轮廓仪对多层膜的形貌、结合力、物相、硬度、抗微动磨损性能、磨痕形貌进行分析测试。结果表明,所制备的MoS_2-Ti/Cu-Ni-In多层膜交替结构清晰,结构致密,在12000个微动循环周期后,测得MoS_2-Ti/Cu-Ni-In多层膜在调制比为工艺2∶1、1∶1时,多层膜的室温平均微动系数分别为0.071、0.065,其最终磨损总量分别为0.087mm~3、0.045mm~3,多层膜具有良好的抗微动磨损效果。(本文来源于《金属功能材料》期刊2019年03期）
李昊,王东伟,张川,刘婵,黄美东[7]（2019）在《电弧离子镀Cr/CrN多层膜的耐腐蚀性研究》一文中研究指出采用电弧离子镀技术制备了Cr/CrN多层膜,通过控制每个Cr层和CrN层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对Cr/CrN多层膜的影响。结果表明,引入Cr层对CrN薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低,结构更加致密。动电位极化曲线和电化学阻抗谱表明,与纯CrN薄膜相比,Cr/CrN多层膜的腐蚀电位增加了约100 mV,腐蚀电流密度降低一个数量级以上,多层膜的耐腐蚀性能得到明显提升。(本文来源于《真空》期刊2019年03期）
黄儒明,代明江,林松盛,刘洪喜[8]（2019）在《调制周期对Cr/CrN多层膜结构及性能的影响》一文中研究指出采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明:调制周期的变化对Cr/CrN多层膜硬度影响较小;随着调制周期的减小,Cr/CrN多层膜致密性逐渐提高;不同调制周期下,Cr/CrN多层膜与基体结合力均在100 N以上,其中调制周期为321 nm的Cr/CrN多层膜的韧性及与基体结合性能最优;调制周期为569 nm的Cr/CrN多层膜的磨损率最低。(本文来源于《热加工工艺》期刊2019年10期）
凌福进[9]（2019）在《Pd/Co多层膜及Heusler合金薄膜制备方法及界面垂直磁特性研究》一文中研究指出随着纳米尺度材料的发展,与尺寸和维度紧密相连的界面垂直磁特性一直是磁学研究的热点。其中,由铁磁与非磁金属或者氧化物界面组成的纳米异质结结构具有高热稳定性、强的垂直磁各向异性以及易于半导体工艺兼容等优点,使得Pd/Co多层结构薄膜具有很大的潜力与CMOS技术集成制备新一代的磁电逻辑器件。但是,具有垂直磁各向异性的Pd/Co多层膜通常磁性层厚度较薄从而有效自旋极化低,影响其在自旋电子学领域的应用,因此设计出具有优异性能的Pd/Co多层膜对其在磁电器件上的应用非常重要。理论上,拥有100%的自旋极化率的Heusler合金是自旋电子学领域备受关注的一类新型磁性材料,其中Co_2FeAl_(0.5)Si_(0.5)(CFAS)薄膜具有大饱和磁化强度、低阻尼因子和高热稳定性的特点,在自旋电子器件中拥有广阔的应用前景,但是相关的系统研究还较少。本论文对Pd/Co多层膜和CFAS两种垂直磁各向异性薄膜的生长制备工艺及磁、光、电特性进行了系统的研究,主要内容如下:首先,采用磁控溅射法制备了具有垂直磁各向异性的Pd/Co结构薄膜,对磁性层厚度对其磁特性的影响进行了研究,研究表明当磁性层厚度低于1 nm时,薄膜才具有垂直磁各向异性。通过插入MgO层并优化了Pd/Co多层膜的结构,350℃退火后,在磁性层厚度为1-5 nm范围内多层膜都能保持垂直磁特性。其次,在研究MgO层厚度对多层膜垂直磁特性的影响中,研究表明即使没有插入MgO层,350℃退火处理后,多层膜在Co层厚度大于1 nm时均可垂直。在研究界面效应对多层膜的垂直磁各向异性的影响中,观察到Pd/Co上下界面对其有不同的作用。在研究退火温度对多层膜的磁特性的影响中,发现了薄膜的矫顽力随着退火温度的增高而增加;当退火温度超过400℃时,薄膜磁滞回线的矩形度变差可能与过高退火温度导致界面原子相互扩散有关。然后,利用磁光克尔效应研究了磁性层、Pd、MgO层的厚度对CFAS合金薄膜垂直磁各向异性的影响,研究发现了只有在磁性层CFAS厚度低于4.5 nm时,多层结构薄膜体系才表现为垂直磁各向异性,归因于系统中界面垂直磁特性和退磁场的竞争。此外,研究发现Pd/CFAS和CFAS/MgO界面对薄膜的垂直磁各向异性均有正贡献。最后,成功制备出了以MgO为隔离层的双CFAS结构的薄膜。观察到不同厚度的CFAS层在不同外场下的连续翻转,并且测试温度越低,薄膜两次翻转之间的磁场间隔越大。(本文来源于《华侨大学》期刊2019-05-21）
齐天煜,阳倦成,倪明玖[10]（2019）在《展向磁场作用下液态金属GaInSn多层膜流实验研究》一文中研究指出研究在展向磁场作用下,液态金属GaInSn膜流在有机玻璃方腔多层通道中的流动特性。实验首次采用3台激光轮廓测量仪同时捕捉3个位置的液膜表面2D轮廓变化,实现液膜厚度测量。研究结果表明:在有机玻璃通道内,液膜表面波动随流动雷诺数的增大而明显增加;引入的展向磁场有效地抑制沿磁场方向的表面波动,而对沿流向的波动影响较小。在液膜平均厚度变化方面,随磁场的增强,液膜厚度在较小雷诺数时减小,在中等雷诺数时先减小后增大,在大雷诺数时单调增大。同时,磁场对流动的阻碍作用在大雷诺数下表现得较为明显。相比单层膜流实验结果,多层膜流装置有效地改善膜流铺展性,更易实现在表面的大面积铺展。(本文来源于《中国科学院大学学报》期刊2019年03期）
多层膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文利用扫描透射电子显微学方法,表征了在压应力铝酸镧及拉应力钛酸锶衬底生长的LaCoO_3/LaMnO_3多层膜中的应变分布,研究了在电子束辐照作用下LaCoO_3/LaMnO_3多层膜的结构演化。LaMnO_3层中压应变引起的缺陷在电子束辐照下会得到愈合,LaCoO_3层在电子束辐照下会产生更多的暗条纹。电子能量损失谱的结果表明,辐照前后LaCoO_3,LaMnO_3层中辐照区域均会产生更多的氧空位。本文研究的多层膜中的结构演化是应变能、电子束辐照的能量以及氧空位形成能共同作用的结果。本文也为电子束辐照调控LaCoO_3薄膜的磁性提供了可能。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
多层膜论文参考文献
[1].郭朝乾,林松盛,石倩,韦春贝,李洪.多层膜与单层膜的残余应力关系推导及验证[C].TFC'19第十五届全国薄膜技术学术研讨会摘要集.2019
[2].管翔翔,沈希,张静,姚湲,孙继荣.电子束辐照下LaCoO_3/LaMnO_3多层膜的结构演化[J].电子显微学报.2019
[3].周章渝,肖寒,王松,张青竹,王代强.MgB_2/Mo多层膜的制备与超导性质[J].稀有金属材料与工程.2019
[4].冯德香,黄迎春,张克,陈结霞,尉艳.金纳米粒子点缀普鲁士蓝-石墨烯多层膜传感界面的构建及在免疫传感器中的应用[J].分析试验室.2019
[5].周青春,李可芯,嵇群,王颖.Ce:YIG/SiO_2多层膜光隔离器的设计[J].安庆师范大学学报(自然科学版).2019
[6].李琪,代明江,韦春贝,刘凤美,熊敏.调制比对MoS_2-Ti/Cu-Ni-In多层膜微动磨损性能影响[J].金属功能材料.2019
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[9].凌福进.Pd/Co多层膜及Heusler合金薄膜制备方法及界面垂直磁特性研究[D].华侨大学.2019
[10].齐天煜,阳倦成,倪明玖.展向磁场作用下液态金属GaInSn多层膜流实验研究[J].中国科学院大学学报.2019
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