导读:本文包含了光探针形貌测量论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光探针形貌测量,聚焦执行机构,微位移工作台,柔性铰链
光探针形貌测量论文文献综述
张作鹏[1]（2007）在《光探针形貌测量系统中微位移工作台的研究》一文中研究指出随着微细机械加工技术的不断进步,微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微结构不断出现,对表面质量的研究已经渗透到各个领域,表面形貌对各类零件乃至整机性能的重要影响已受到广泛的重视。因此急需研制一种非接触测量的光探针形貌测量系统,它不仅可以解决高精度、含有丰富信息和软质材料制品的形貌测量问题而且也适用于常规机械制品的表面形貌的测量。本文首先从光探针形貌测量的总体方案入手,分析了各个组成部分的功能及特点,确定了物镜轴向扫描系统的驱动元件和聚集执行机构,设计了以柔性铰链为导轨,压电陶瓷驱动的微位移工作台,并把它应用于物镜轴向扫描系统。对微位移工作台的运动副―柔性铰链进行详细地分析,得出了柔性铰链的转动刚度。然后用解析法对工作台进行设计,得出了工作台的简化物理模型和数学模型,并对工作台进行动态分析。介绍了有限元法和有限元软件,用ANSYS9.0对工作台进行静态分析和模态分析,验证了理论分析的正确性。压电陶瓷具有体积小、重量轻、分辨力高、响应速度快等优点,以它为驱动元件的微位移系统是此领域重要的研究内容。本文分析分析了压电陶瓷的驱动机理、极化机制和迟滞机理,并对压电陶瓷特性进行研究。最后建立了微位移系统的控制模型,然后介绍了微位移系统的控制方法,并对微位移系统进行开环、PID反馈控制仿真和实验研究。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2007-07-06）
张蕴冬,浦军[2]（2005）在《光探针式表面形貌测量技术的研究》一文中研究指出本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号。研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%。(本文来源于《计量与测试技术》期刊2005年07期）
浦昭邦,杨春兰,赵辉[3]（2001）在《几何光探针法在表面形貌测量中的应用》一文中研究指出本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较(本文来源于《计量技术》期刊2001年01期）
杨春兰,浦昭邦,赵辉[4]（2000）在《几何光探针在表面形貌测量中的应用》一文中研究指出本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。(本文来源于《激光杂志》期刊2000年06期）
梁嵘,李达成,曹芒,赵洋[5]（1999）在《表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响》一文中研究指出以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。(本文来源于《光电工程》期刊1999年02期）
光探针形貌测量论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号。研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光探针形貌测量论文参考文献
[1].张作鹏.光探针形貌测量系统中微位移工作台的研究[D].哈尔滨工业大学.2007
[2].张蕴冬,浦军.光探针式表面形貌测量技术的研究[J].计量与测试技术.2005
[3].浦昭邦,杨春兰,赵辉.几何光探针法在表面形貌测量中的应用[J].计量技术.2001
[4].杨春兰,浦昭邦,赵辉.几何光探针在表面形貌测量中的应用[J].激光杂志.2000
[5].梁嵘,李达成,曹芒,赵洋.表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响[J].光电工程.1999