C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究

论文摘要

针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题,研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法。采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni-Cr-ZrO2复合过渡层,采用磁控溅射法在Ni-Cr-ZrO2复合过渡层上依次制备了SiO2绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶和SiO2保护膜。对不同厚度SiO2绝缘膜的绝缘性能进行研究,结果表明3μm厚的SiO2薄膜绝缘电阻值可达1.64×109Ω。对传感器静态性能的实验研究结果表明,在50～600℃,塞贝克系数为42.1μV/℃,非线性误差1.52%。用理论计算与实验结合的方式对传感器的动态性能进行了研究,结果表明,传感器的动态响应时间在微秒级,可实现瞬态温度测试。对传感器进行测温实验,结果表明传感器能满足室温～600℃范围内瞬态温度检测的需求。

论文目录

• 0 引 言
• 1 C/SiC复合材料表面处理工艺
•   1.1 C/SiC复合材料表面复合过渡层制备
•   1.2 C/SiC复合材料表面过渡层性能表征
• 2 高温瞬态温度传感器薄膜制备
•   2.1 SiO2绝缘薄膜的制备及不同厚度的绝缘薄膜的绝缘性能表征
•   2.2 NiCr/NiSi功能薄膜的制备
•   2.3 SiO2保护薄膜的制备
• 3 高温瞬态温度传感器的静、动态性能研究
•   3.1 高温瞬态温度传感器的静态标定
•   3.2 高温瞬态温度传感器的动态性能研究
•   3.3 高温瞬态温度传感器测温实验
• 4 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 崔云先,杨琮,薛生俊,殷俊伟,杜鹏

关键词: 瞬态温度,金属过渡层,薄膜热电偶,动态性能

来源: 仪器仪表学报 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,航空航天科学与工程

单位: 大连交通大学机械工程学院

基金: 国家自然科学基金(51575074)项目资助

分类号: TB33;V25

DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J1804587

页码: 163-171

总页数: 9

文件大小: 570K

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