改善玻璃衬底上ZnO薄膜特性的方法

论文摘要

利用磁控溅射法在玻璃衬底上淀积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜作为缓冲层,在其上制备了ZnO薄膜。重点研究了AZO薄膜作为缓冲层对玻璃衬底上ZnO薄膜特性的影响。扫描电子显微镜(SEM)图像和X射线衍射(XRD)图谱分析结果表明,玻璃衬底上加入厚度为1μm的AZO缓冲层后,提高了衬底材料和ZnO薄膜之间的晶格匹配程度,有助于增大ZnO薄膜晶粒尺寸,提高其(002)取向择优生长特性、薄膜结晶特性及晶格结构完整性。室温下的透射光谱结果表明玻璃/AZO和玻璃衬底上ZnO薄膜的透光特性没有显著不同。光致发光(PL)谱研究结果表明AZO缓冲层可以有效阻止衬底表面硅原子从ZnO薄膜中"俘获"氧原子,减少ZnO薄膜中的缺陷,改善ZnO薄膜的结晶质量。

论文目录

• 0 引言
• 1 实验
•   1.1 衬底材料的准备
•   1.2 AZO和ZnO薄膜的制备
• 2 结果分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张彩珍,陈永刚,周庆华

关键词: 铝掺杂氧化锌,薄膜,磁控溅射,扫描电子显微镜,射线衍射

来源: 半导体技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 兰州交通大学电子与信息工程学院,兰州交通大学自动化与电气工程学院

基金: 国家自然科学基金西部项目(61405082)

分类号: TB383.2;TQ132.41

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.06.010

页码: 454-458

总页数: 5

文件大小: 1275K

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