论文摘要
搭建了纳秒激光加热、连续激光探测的光热反射实验系统,通过测量芯片中多层微米厚度薄膜不同位置的反射信号,评估了不同薄膜结构对器件散热的影响.在多层薄膜热传导模型的基础上,结合Laplace逆变换的Stehfest数值解拟合得到了微米级厚度薄膜的热物性参数以及界面传热特性.拟合得到绝缘层热导率为0.75 W/(m·K),与磁控溅射Al薄膜间的界面热阻约为10-8m2K/W.进而建立了电子器件封装镀膜的热分析有限元模型,比较了沉积类金刚石薄膜前后芯片热点温度的变化,结果表明:类金刚石薄膜可以进一步改善芯片的散热性能.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王建立,吴文智,毛成锟,熊大曦,陈云飞
关键词: 类金刚石薄膜,界面热阻,多层薄膜,光热反射法,热物性
来源: 测试技术学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 东南大学机械工程学院,黑龙江大学电子工程学院,中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
基金: 国家自然科学基金资助项目(51476033,51376191),黑龙江省新世纪优秀人才支持计划资助项目(1254-NCET-018),黑龙江省青年学术骨干支持计划资助项目(1252G047)
分类号: TB383.2
页码: 153-159
总页数: 7
文件大小: 1100K
下载量: 144
相关论文文献
- [1].多层薄膜、制造其的方法和包括其的电子产品[J]. 科技创新导报 2016(19)
- [2].PbTiO_3/BiFeO_3多层薄膜的铁电性质[J]. 功能材料与器件学报 2009(02)
- [3].多层薄膜热应力模拟[J]. 应用力学学报 2020(02)
- [4].多层薄膜结构中的热应力分析[J]. 传感技术学报 2016(07)
- [5].低应力多层薄膜加工关键技术研发取得突破[J]. 表面工程资讯 2008(01)
- [6].基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价[J]. 机电工程 2017(08)
- [7].二元系纳米多层薄膜非线性互扩散研究[J]. 材料导报 2009(14)
- [8].新技术可分离多层薄膜[J]. 绿色包装 2020(07)
- [9].多元等离子体浸没离子注入与沉积和磁控溅射技术制备TiAlSiN/WS_2多层薄膜的力学性能和腐蚀行为(英文)[J]. Transactions of Nonferrous Metals Society of China 2011(S2)
- [10].BST/BZT/BST多层薄膜结构与性能研究[J]. 无机材料学报 2010(03)
- [11].MoS_2/Pb-Ti多层薄膜的结构和摩擦学性能[J]. 表面技术 2018(10)
- [12].调制比对ZrN/NbB_2纳米多层薄膜结构和机械性能的影响[J]. 天津师范大学学报(自然科学版) 2017(03)
- [13].退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响[J]. 物理学报 2011(06)
- [14].Sol-gel方法制备BiFeO_3/Bi_4Ti_3O_(12)多层薄膜及其电性能[J]. 功能材料与器件学报 2010(01)
- [15].(Si/Ge)_n多层薄膜的设计制备及光吸收性能[J]. 电子器件 2012(01)
- [16].周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响[J]. 航空材料学报 2010(02)
- [17].VO_x/TiO_x/Ti多层薄膜的制备工艺与内耗研究[J]. 真空 2009(04)
- [18].TiN/CrN多层薄膜的微观结构与力学性能(英文)[J]. 稀有金属材料与工程 2017(10)
- [19].nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的制备及其摩擦学性能的研究[J]. 摩擦学学报 2015(02)
- [20].多层薄膜光学常数的椭偏法研究[J]. 光电工程 2009(02)
- [21].石墨烯纳米复合多层薄膜的制备及应用[J]. 材料导报 2015(21)
- [22].微纳尺度TiN多层薄膜/涂层力学性能研究进展[J]. 真空科学与技术学报 2016(10)
- [23].调制周期对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和摩擦性能的影响[J]. 热加工工艺 2014(18)
- [24].联盟包装成功推出EVOH共挤多层薄膜[J]. 塑料科技 2017(05)
- [25].LTD次级多层薄膜绝缘的击穿概率分析[J]. 高电压技术 2016(03)
- [26].Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响[J]. 北京师范大学学报(自然科学版) 2011(02)
- [27].我国石墨烯基多层薄膜构筑及摩擦学性能研究获进展[J]. 中国粉体工业 2011(04)
- [28].联盟包装成功推出EVOH共挤多层薄膜[J]. 工程塑料应用 2017(05)
- [29].Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能[J]. 材料保护 2010(11)
- [30].CrAlYN纳米多层薄膜的微观结构和抗高温氧化性能研究[J]. 真空科学与技术学报 2017(11)