熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究

论文摘要

熔融石英玻璃衬底的研磨加工是其超光滑抛光加工的基础工序。采用游离磨料对熔融石英玻璃进行单面粗研和精研加工,研究磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量和研磨时间对石英玻璃表面质量和材料去除率的影响。结果表明:粗研过程中,随着磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量的增大,工件材料去除率先增大后减小;随着加工时间的延长,表面粗糙度Ra逐渐达到稳定水平。在磨料质量分数4%、研磨液流量20 mL/min、研磨盘转速60 r/min、加工30 min时,熔融石英玻璃衬底的表面粗糙度Ra达0.11μm。在熔融石英玻璃衬底的精研过程中,选用平均粒径3μm的CeO2加工50 min后的表面粗糙度Ra最低,为4.11 nm。

论文目录

• 1 实验条件与方法
•   1.1 实验设备与原理
•   1.2 实验方案
• 2 粗研实验结果及讨论
•   2.1 磨料质量分数对粗研加工效果的影响
•   2.2 研磨盘转速对粗研加工效果的影响
•   2.3 研磨液流量对粗研加工效果的影响
•   2.4 研磨加工时间对粗研加工效果的影响
• 3 精研实验结果及讨论
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 阎秋生,李基松,潘继生

关键词: 熔融石英玻璃,游离磨料,研磨,材料去除率,表面粗糙度

来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 广东工业大学机电工程学院

基金: NSFC–广东联合基金(No.U1801259),广东省研究生教育创新计划项目(No.2018JGXM35,No.2018SFKC15)

分类号: TQ171.684

DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011

页码: 60-65

总页数: 6

文件大小: 2378K

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