电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究

论文摘要

采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100 nm～-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因。本文尝试提出液态金属表面热发射电子引起液面上杂质颗粒"尖端放电"的理论来解释这一现象。这类电晕放电造成颗粒附近温度极高,瞬间将颗粒蒸发沉积在衬底。通过改变蒸镀功率,或保持功率不变,改变电子束斑点形状、落点位置等一系列实验,验证了理论的合理性。

论文目录

• 1 电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理推测
• 2 理论的实验验证
•   2.1 改变电子束斑形状和落点位置
•   2.2 不同蒸镀功率对比试验
• 3 结果与分析
•   3.1 改变电子束斑形状和落点位置实验结果分析
•   3.2 不同蒸镀功率对比试验结果分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 付学成,王英,权雪玲,瞿敏妮,王凤丹

关键词: 电子束蒸发,金膜,黑色颗粒,热发射电子,尖端放电

来源: 真空科学与技术学报 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 上海交通大学先进电子材料与器件校级平台

基金: 2018年度上海交通大学决策咨询立项课题(编号JCZXSJB2018-028)

分类号: TG661;TG146.31

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.07

页码: 396-400

总页数: 5

文件大小: 984K

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