压阻式压力传感器论文开题报告文献综述

压阻式压力传感器论文开题报告文献综述

导读:本文包含了压阻式压力传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献,主要关键词:压力传感器,浆料,灵敏度,温度,基材,压敏电阻,绝缘体。

压阻式压力传感器论文文献综述写法

文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋[1](2019)在《基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究》一文中研究指出针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%,平均相对误差由14.06%下降至1.20%;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿。(本文来源于《传感技术学报》期刊2019年10期)

[2](2019)在《MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器》一文中研究指出MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器耐高温可达150℃,适用于蒸汽灭菌,齐平膜结构设计,符合FDA卫生标准。采用硅基敏感元件,过载可达6倍量程,全316L不锈钢外壳封装,无腔平面结构,具有易拆卸、易清洗的特点。产品特性:工作温度:-40℃~150℃;存储温度:-40℃~150℃;震动:20Hz~2000Hz@10g;(本文来源于《传感器世界》期刊2019年09期)

于江涛,孙雷,肖瑶,蒋书文,张万里[3](2019)在《压阻式柔性压力传感器的研究进展》一文中研究指出随着智能化技术及物联网的不断发展,柔性压力传感器作为可穿戴电子设备和电子皮肤的核心器件,拥有了越来越广阔的市场。经过了十余年的发展,压阻式柔性压力传感器的相关研究已经从探究具有压敏效应的导电高分子复合材料发展到了对高性能传感器的制备研究。为了获得高性能的柔性压力传感器,研究者们在传感器的材料、结构及器件设计等方面进行一系列的创新型研究工作。目前已经研制出了一些基于新型材料与结构的高性能、低成本的柔性压力传感器,并且在可穿戴传感器、电子皮肤等应用领域已经获得了一定程度的发展。本文综述了近年来压阻式柔性压力传感器在材料、结构及应用方向的创新及发展,并对该类传感器的发展进行了展望。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2019年06期)

杨娇燕,梁庭,李鑫,林立娜,李奇思[4](2019)在《压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法》一文中研究指出为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不同的模型四边固支的方形膜模型和底面固支的C型模型,进行仿真分析并将仿真结果和实际值对比。实验结果表明底面固支的C型模型比四面固支的方形模型更接近实际情况。传感器样品的实际灵敏度为0.102 5 mV/kPa,与底面固支的C型模型仿真结果相对误差小于2%。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2019年02期)

张倩,左锋,卢文科[5](2018)在《基于DE优化BP的压阻式压力传感器的温度补偿研究》一文中研究指出压阻式压力传感器存在温度漂移的问题,因此需要对该传感器进行温度补偿。为此,首先从标定实验中获取被测压力值、压阻式压力传感器的输出电压值以及环境温度值、温度传感器的输出电压值,然后用差分进化算法(DE)优化的BP神经网络算法从该标定数据中得到补偿后的数据。实验结果表明,所提出的温度补偿方法对压阻式压力传感器进行温度补偿后,其灵敏度温度系数提高了一个数量级,相对误差也得到很大的改善,因而其具有显着的理论意义和应用价值。(本文来源于《测控技术》期刊2018年12期)

李冀,胡国清,周永宏,邹崇,吴翩卉[6](2018)在《一种压阻式压力传感器的温度补偿方法》一文中研究指出针对压阻式压力传感器的温度补偿问题,提出一种将样条插值与最小二乘拟合相结合的补偿算法,并结合传感器标定实验数据进行仿真试验。结果表明该方法相比曲面拟合方法、BP神经网络和RBF神经网络,补偿最大相对误差和平均补偿时间分别为0.103%和0.135 4 s,不仅能够满足高精度测试要求,而且可减少标定工作量达到提升生产效率的目的。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2018年06期)

聂绍忠[7](2018)在《硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现》一文中研究指出硅压阻式压力传感器广泛应用于汽车、医疗、航空航天、环保等领域。随着科学技术的发展,各领域对压力测量精度的要求越来越高。但由于半导体材料的固有特性,硅压阻式压力传感器普遍存在零点随温度漂移、灵敏度随温度变化和非线性等问题。为了提高硅压阻式压力传感器测量精度、降低输出误差,对该传感器的几种常用补偿算法进行了对比分析和研究,提出了一种基于最小二乘法的曲面拟合高精度补偿算法。该补偿算法能有效消除硅压阻式压力传感器零点漂移、灵敏度漂移和非线性误差,提高该传感器的输出精度。试验结果表明,在-40~+80℃温度范围内,硅压阻式压力传感器经该补偿算法计算后,测量精度得以大幅度提高,输出误差小于0.01%F·S。(本文来源于《自动化仪表》期刊2018年06期)

王风雷[8](2018)在《陶瓷压阻式压力传感器设计与实现》一文中研究指出压力传感器在自动控制和检测中扮演着重要角色,是压力信号检测的基础,目前,压力传感器是需求量最大的传感器,已经广泛地应用在各个行业各个领域。在国内,用于厚膜压力传感器的电阻浆料其应变系数落后于国外同类型的浆料,使得国内厚膜压力传感器的满量程输出低、应变灵敏性低,与国外产品有一定差距。基于此,本论文研究了改性剂的掺杂比例对厚膜电阻浆料应变系数的影响,结合实际条件,调整高温烧结工艺曲线,印烧了厚膜电阻应变计并进行性能测试;从传感器的工作原理、工艺流程、力学特性进行研究,利用改性后的电阻浆料制作了陶瓷压力传感器。本论文主要工作如下:(1)研究了厚膜压力传感器的工作原理和工艺流程,结合薄板小挠度理论,研究分析了陶瓷弹性膜片的应力应变分布,确定了最佳电阻印烧位置。通过COMSOL有限元仿真计算,设计了一体化的传感器基座结构。(2)研究了厚膜电阻浆料的导电机理和压阻效应,以此为基础对厚膜电阻浆料进行改性实验,掺杂2.5μm的玻璃粉,主要研究不同掺量对电阻浆料应变系数的影响,采用厚膜技术印烧制备了厚膜电阻应变计,经测试,得到了应变系数为13.82,温度系数106ppm/℃的厚膜电阻浆料。(3)制作陶瓷压力传感器并测试其静态特性,其中,经矫正后传感器样品的灵敏度达到3.2~3.4m V/V,基本达到设计要求。对于零点温漂问题,采用分段线性插值法进行了软件温度补偿。(本文来源于《杭州电子科技大学》期刊2018-06-01)

胡跃华[9](2018)在《力热电相互作用下压阻式MEMS压力传感器的有限元模拟》一文中研究指出随着物联网、人工智能、智能手机、集成电路等技术的高速发展,基于微机电系统技术的压阻式MEMS压力传感器的使用越来越广泛,而如何设计高性能高可靠性的压力传感器越来越受到人们的重视。因此研究影响压阻式MEMS压力传感器性能的因素具有重要的意义。本文使用有限元分析软件Free Fem++建立了压阻式MEMS压力传感器的叁维有限元模型,推导了压力传感器在多物理场作用时的有限元方程,研究了压力传感器在多物理场作用时的输出规律,为设计高性能的压阻式MEMS压力传感器提供了理论依据,得到了以下结论:(1)综合考虑弹性场、温度场、电场作用时,压阻式MEMS压力传感器的输出电压会随着压力传感器弹性膜片厚度的增加而减小,随着压力传感器掺杂电阻宽度的增加而减小,同时将压力传感器掺杂电阻布置在弹性膜片的边缘位置时,压力传感器能获得更大的输出电压。(2)压阻式MEMS压力传感器随着输入的激励电压的增大,对测量压力的变化越来越不敏感,这就会使得在大的输入激励电压下,压力传感器在测量压力时的准确性将会降低。(3)电场对压阻式MEMS压力传感器的温度场影响很大,压力传感器中的最高温度随着输入电压的增大而迅速升高;另外,测量同一个压力时,压力传感器的输出电压也会随着输入电压的增大迅速增大。(4)在设计压阻式MEMS压力传感器时,应该尽可能减小压力传感器弹性膜片的厚度,减小掺杂电阻的宽度,尽量将四个掺杂电阻布置在弹性膜片边缘,这样在测量相同的压力时可以获得更大的输出电压,提高压力传感器的精确度。同时,为了使压力传感器对测量压力的变化更加敏感,应该选择适当的输入电压,而不是为了更大的输出电压盲目选择过大的输入电压。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2018-06-01)

李鑫,梁庭,赵丹,雷程,杨娇燕[10](2018)在《SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备》一文中研究指出设计并制备了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料、量程为5 Pa~1.8 MPa的压阻式压力传感器。在设计方面,通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能,得到敏感膜片的尺寸和表面电势的分布;在工艺方面,设计了基于标准微电子机械系统(MEMS)工艺的制作流程;在芯片的封装方面,为保证敏感芯片与外界的电气互连,采用了引线键合工艺,同时装配温度补偿电路和信号调理电路降低了传感器的温漂,保证传感器的输出。制备后的压力传感器在温度压力复合平台进行标定和温度测试,结果显示传感器在设计量程范围内具有较好的精度并且可在-50~205℃内稳定工作。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2018年06期)

压阻式压力传感器论文开题报告范文

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器耐高温可达150℃,适用于蒸汽灭菌,齐平膜结构设计,符合FDA卫生标准。采用硅基敏感元件,过载可达6倍量程,全316L不锈钢外壳封装,无腔平面结构,具有易拆卸、易清洗的特点。产品特性:工作温度:-40℃~150℃;存储温度:-40℃~150℃;震动:20Hz~2000Hz@10g;

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

压阻式压力传感器论文参考文献

[1].文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋.基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究[J].传感技术学报.2019

[2]..MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器[J].传感器世界.2019

[3].于江涛,孙雷,肖瑶,蒋书文,张万里.压阻式柔性压力传感器的研究进展[J].电子元件与材料.2019

[4].杨娇燕,梁庭,李鑫,林立娜,李奇思.压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法[J].仪表技术与传感器.2019

[5].张倩,左锋,卢文科.基于DE优化BP的压阻式压力传感器的温度补偿研究[J].测控技术.2018

[6].李冀,胡国清,周永宏,邹崇,吴翩卉.一种压阻式压力传感器的温度补偿方法[J].仪表技术与传感器.2018

[7].聂绍忠.硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现[J].自动化仪表.2018

[8].王风雷.陶瓷压阻式压力传感器设计与实现[D].杭州电子科技大学.2018

[9].胡跃华.力热电相互作用下压阻式MEMS压力传感器的有限元模拟[D].哈尔滨工业大学.2018

[10].李鑫,梁庭,赵丹,雷程,杨娇燕.SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备[J].微纳电子技术.2018

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