Ni/Pd/Au镀层的键合可靠性

Ni/Pd/Au镀层的键合可靠性

论文摘要

研究了陶瓷外壳不同厚度Ni/Pd/Au镀层的键合可靠性,并分析了金丝球焊、硅铝丝楔焊和粗铝丝楔焊经300℃不同时间贮存后键合强度变化及键合失效模式变化,并与Ni/Au镀层键合进行了对比。研究结果表明,随着Au层厚度的增加,相同键合参数、相同镀层的金丝球焊的键合强度一致性有明显提升,随高温贮存时间增加,Ni/Pd/Au镀层的金丝键合强度一致性变差;相同实验条件下、不同镀层外壳的硅铝丝键合强度基本一致,300℃、1 h贮存后硅铝丝键合强度降低,随着高温贮存时间的增加,硅铝丝键合强度变化不大;随Au层厚度的增加,粗铝丝楔焊键合强度一致性变差,且失效模式主要为键合点脱落。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验设计
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 金丝键合结果
  •   2.2 硅铝丝键合结果
  •   2.3 粗铝丝键合结果
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈波,杨熠豪

    关键词: 可靠性,陶瓷外壳,引线键合,高温贮存,失效模式

    来源: 微纳电子技术 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 中国电子科技集团公司第五十八研究所,无锡中微高科电子有限公司

    基金: 技术基础预研支撑资助项目(1807 WP0014)

    分类号: TQ174.1

    DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.05.011

    页码: 402-408

    总页数: 7

    文件大小: 1915K

    下载量: 158

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