光刻机视像自动对准系统的开发

论文摘要

设计视像自动对准系统采用工业相机从MICRALIGN M系列投影式光刻机的双目显微镜提取含有掩模对准标记和晶圆对准标记图像,经过图像处理后获取对准标记的位置坐标以及掩模标记与晶圆标记间坐标差,控制晶圆或者掩模调整平台位置,实现光刻机的视像自动对准功能。经过现场批量生产验证,视像自动对准系统的对准精度优于1μm。标记识别率与掩模和晶圆的图像有关,对于某类产品标记识别率达到99%以上,一般类别产品标记识别率可以达到97%以上,可以满足现场自动化生产要求。

论文目录

• 1 视像自动对准技术
•   1.1 晶圆和掩模对准标记的搜索
•   1.2 晶圆和掩模对准控制
• 2 系统实现及数据分析
•   2.1 系统组成
•   2.2 数据分析
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王勇,封国齐,陈旭东,曹永辉

关键词: 光刻机,视像,自动对准,机器视觉

来源: 电子工业专用设备 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技

专业: 无线电电子学,计算机软件及计算机应用

单位: 杭州电子科技大学数字媒体技术系,杭州士兰集成电路有限公司

分类号: TN305.7;TP391.41

页码: 45-49

总页数: 5

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