论文摘要
提出一种集成在微桥结构中的二维亚波长周期钛(Ti)金属圆盘阵列结构,以增强太赫兹微测辐射热计的吸收率.基于严格耦合波分析方法,建立吸收结构模型,研究了不同结构的Ti圆盘阵列及其在微桥阵列结构中的太赫兹波吸收特性.周期Ti圆盘阵列结构降低了金属的表面等离子体频率,在太赫兹波段激发伪表面等离子体激元并实现共振增强吸收.共振吸收频率由周期、直径等Ti圆盘阵列的结构参数决定,圆盘厚度则对太赫兹波吸收率有重要影响,微桥结构中的谐振腔结构可降低共振频率并增强耦合效率.设计的微桥探测结构以较小的Ti圆盘阵列周期(37μm)实现突破衍射极限的太赫兹波约束,在3.5 THz (波长85.7μm)实现接近90%的太赫兹波吸收率,满足太赫兹微测辐射热计小尺寸、高吸收及工艺兼容的要求.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 牛青辰,苟君,王军,蒋亚东
关键词: 太赫兹,微测辐射热计,伪表面等离子体激元,严格耦合波分析
来源: 物理学报 2019年20期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 物理学,仪器仪表工业,无线电电子学
单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
基金: 国家自然科学基金(批准号:61875031),国家自然科学基金创新研究群体科学基金(批准号:61421002)资助的课题~~
分类号: O441.4;TH81
页码: 298-306
总页数: 9
文件大小: 1505K
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标签：太赫兹论文; 微测辐射热计论文; 伪表面等离子体激元论文; 严格耦合波分析论文;