四氯化硅的制备工艺综述

论文摘要

对SiCl4的传统工业生产方法（如工业硅氯化法、硅铁氯化法等）和新发展的制备方法（如硅藻土氯化法、工农业副产物制备SiCl4）进行了分析比较研究,展望了SiCl4制备工艺及应用的发展方向,指出利用硅藻土以及多晶硅副产物制备SiCl4的途径前景广阔,而SiCl4分离提纯技术是解决副产SiCl4出路的关键。

论文目录

• 1 四氯化硅的制备工艺
•   1.1 工业硅氯化法
•   1.2 硅铁氯化法
•   1.3 碳化硅氯化法
•   1.4 硅藻土氯化法
•   1.5 工农业副产物制备四氯化硅
•     1.5.1 多晶硅副产四氯化硅
•     1.5.2 稻壳制取四氯化硅
•     1.5.3 冶金工业副产四氯化硅
•     1.5.4 利用废触体生产四氯化硅
• 2 四氯化硅制备工艺讨论
•   2.1 工业生产SiCl4工艺分析比较
•   2.2 工农业副产物制备SiCl4各工艺分析比较
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘邦煜,刘涛泽,叶春

关键词: 高纯,多晶硅,硅藻土

来源: 应用化工 2019年08期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 贵州师范学院地理与资源学院,中国科学院地球化学研究所环境地球化学国家重点实验室

基金: 贵州省科教青年英才培养工程项目(2012-159),贵阳市科技计划项目(2012205)

分类号: TQ127.2

DOI: 10.16581/j.cnki.issn1671-3206.20190514.015

页码: 1959-1961+1965

总页数: 4

文件大小: 1777K

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