导读:本文包含了真空沉积技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:真空,基体,材料,等离子体,玻璃片,反应堆,低压。
真空沉积技术论文文献综述
王茂祥,吴建宁[1]（1999）在《与等离子体相关的真空沉积技术及其应用》一文中研究指出介绍了产生等离子体的几种放电方式（如直流二极放电、射频放电、真空辉光放电、真空弧光放电等）、与等离子体相关的溅射沉积、离子镀沉积等常用的真空沉积技术及其在薄膜制备中的应用。(本文来源于《电子工程师》期刊1999年07期）
孙树华,罗兴华[2]（1979）在《自撑金属钒薄靶的真空沉积技术》一文中研究指出钒是一种光亮的银白色金属。由于它的熔点高达1697℃,蒸发点为1880℃,要制成这种金属的自撑薄靶是有一定困难的。我们采用真空沉积法制成了直径18毫米、厚约25—60微克/厘米~2的自撑靶。(本文来源于《原子能科学技术》期刊1979年01期）
[3]（1977）在《真空沉积碳化钛镀层技术在机械热处理中的应用》一文中研究指出一、前言 为了进一步提高工模具和某些机械零件的使用寿命,目前发展了一种在金属表面上沉积一层碳化钛、氮化钛、氧化铝等镀层的新工艺。这种新工艺具有很多特点。例如Tic有较高的硬度(HV达2400kg/mm2以上),较好的耐磨性,较低的磨擦系数(对钢为0.25(本文来源于《真空技术报导》期刊1977年03期）
真空沉积技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
钒是一种光亮的银白色金属。由于它的熔点高达1697℃,蒸发点为1880℃,要制成这种金属的自撑薄靶是有一定困难的。我们采用真空沉积法制成了直径18毫米、厚约25—60微克/厘米~2的自撑靶。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空沉积技术论文参考文献
[1].王茂祥,吴建宁.与等离子体相关的真空沉积技术及其应用[J].电子工程师.1999
[2].孙树华,罗兴华.自撑金属钒薄靶的真空沉积技术[J].原子能科学技术.1979
[3]..真空沉积碳化钛镀层技术在机械热处理中的应用[J].真空技术报导.1977
论文知识图
