旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响研究

论文摘要

研究了旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响,建立了旋涂转速与聚丙烯酸薄膜厚度及均匀性的关系。当旋涂转速由1 000 r/min逐渐提高到5 000 r/min时,聚丙烯酸薄膜的厚度由0.976μm逐渐减小到了0.394μm,薄膜厚度的标准偏差由0.022μm逐渐减小到了0.008μm。此外,基于光刻工艺在旋涂的聚丙烯酸薄膜表面成功制作了多种金图形,验证了聚丙烯酸薄膜作为水溶性牺牲层与光刻工艺的兼容性。

论文目录

• 0 引言
• 1 实验部分
•   1.1 试剂材料
•   1.2 聚丙烯酸薄膜的制作
• 2 结果与讨论
•   2.1 旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜厚度的影响
•   2.2 旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜均匀性的影响
•   2.3 聚丙烯酸薄膜表面的金属图形化
• 3结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王泽龙,刘哲,赵欣悦,刘军山

关键词: 聚丙烯酸,旋涂转速,厚度,均匀性,牺牲层

来源: 机电工程技术 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

基金: 国家自然科学基金资助项目（编号：51875083,51621064）

分类号: O632.51;TB383.2

页码: 80-82

总页数: 3

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