论文摘要
现代科学技术对各种场合下局域温度的准确测量提出了新的要求,极大地促进了温度传感器的发展。薄膜热电偶因具有无源、响应时间短、精确度高以及对测试环境几乎无影响等优点,在温度测量领域具有广阔的应用前景。对薄膜热电偶近年来的研究进展与热点进行了综述。首先简单介绍了以不同材料为基底时,薄膜热电偶的结构。然后分别介绍了应用于航空发动机热端部件高温测量的金属合金类、陶瓷类和复合类薄膜热电偶及其常用的电极材料。讨论了薄膜厚度、退火处理、电极薄膜类型、气氛和掺杂等工艺对薄膜热电偶热电势、Seebeck系数、耐高温能力和电极材料微观结构等方面的影响,将近年来的典型研究成果进行了汇总,并阐述了陶瓷类薄膜热电偶应用于航空发动机中温度监测的优势。此外,分析讨论了应用于局域二维温度场测量的阵列型薄膜热电偶的发展、结构优化设计、制备工艺研究与改进以及实际测温场合中的布局。最后,对薄膜热电偶在相关应用领域的研究和发展方向进行了展望。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王伟超,张军战,张颖,杨迪
关键词: 薄膜热电偶,温度测量,热电势,系数
来源: 表面技术 2019年10期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所
分类号: TH811
DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.10.017
页码: 139-147
总页数: 9
文件大小: 2031K
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