全文摘要
本实用新型涉及一种风刀式刻蚀下料机，包括载具、框架、模组组件、气缸、风刀以及导向件；所述载具通过模组组件与框架活动连接，所述载具上设置有放置槽，所述放置槽位于气缸的两侧，所述框架上设置有上侧板和下侧板，所述风刀通过上侧板与框架连接，所述气缸通过下侧板与框架连接，所述风刀和气缸分别位于载具的两侧，所述气缸的活塞杆上设置有推料件，所述风刀上设置有进气口和出气口，所述出气口与放置槽位置相对应。本实用新型提供一种风刀式刻蚀下料机，降低了装置成本，提高了工作效率，在清洁过程中不会损坏硅片，提高了产品品质，节约了生产成本。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201921072548.1
申请日:2019-07-10
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209880567U
授权时间:20191231
主分类号:H01L21/677
专利分类号:H01L21/677;H01L21/67
范畴分类:38F;
申请人:苏州璞智自动化科技有限公司
第一申请人:苏州璞智自动化科技有限公司
申请人地址:215000 江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组
发明人:向永富
第一发明人:向永富
当前权利人:苏州璞智自动化科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：框架论文;