低维异质结构与新型Ⅲ-Ⅴ族半导体发光器件的研究

论文摘要

半导体低维异质结构早已成为构筑高性能半导体发光器件的基石,该领域的前沿创新研究经久不衰地持续了几十年,但研究热点已从早期的二维的量子阱、超晶格转变至一维的量子线（或更广义的纳米线）和零维的量子点。特别是,基于自组织量子点的新型半导体发光器件因电注入工作容易、具备某些特有的优异性能譬如高温度稳定性并且具有重要的应用前景而尤为受到关注。然而,目前绝大多数量子点发光器件譬如量子点激光器依赖分子束外延（MBE）生长,金属有机化学气相沉积（MOCVD）生长量子点激光器的进展则大幅滞后且与MBE生长存在显著差距,仅有少数几个国外研究组掌握MOCVD生长量子点激光器的核心技术,鉴于MOCVD所拥有的半导体器件产业化优势,在国内深入系统开展量子点激光器的MOCVD生长研究具有十分重要的意义。除激光器外,基于半导体低维异质结构的发光器件中另外一种重要的类型是超辐射发光二极管（超辐射管）,当前基于半导体低维异质结构的超辐射管作为光纤陀螺等系统的光源对于系统性能的提高起着不可替代的作用,开展超辐射管的研究对光纤陀螺等实际应用具有重要价值。此外,半导体低维异质结构除了前述的几种整数维度外,近年来本实验室提出了能级弥散这一新颖的概念,继而发展出分数维度电子态系理论,即半导体异质结构中不仅仅存在前述的三维、二维、一维、零维等整数维度,还存在着介于这些整数维度之间的分数维度,譬如介于二维与三维之间、介于一维和二维之间等等。分数维度理论的提出者还发现,这一理论有望引入超辐射管中并充分发挥其优势——分数维度半导体异质结构较整数维度异质结构会显著提升超辐射管的性能,并且此发现已经得到初步的实验证实,这样就亟需运用分数维度电子态系理论指导超辐射管的设计与性能优化。基于上述这一科学认知,为验证分数维度电子态系理论在超辐射管中的优越性,进而运用该理论指导超辐射管的设计与优化,我们首先需要进行相应的典型整数维度超辐射管的制备,掌握超辐射管的制备工艺等,从而为进一步研制分数维度超辐射管打下基础。本论文以半导体低维异质结构为出发点,依托科技部国际合作项目以及国家自然科学基金项目,在分数维度电子态系理论方面取得了新的进展,在实验方面重点围绕Ⅲ-Ⅴ族量子阱和量子点展开,进行了二维的量子阱、零维的量子点等整数维度下激光器及超辐射管的研究工作,这既为MOCVD生长量子点器件积累了技术经验,也为后续进行分数维度（譬如从二维到三维、从零维到三维等）超辐射管或其他相关器件的研究奠定了基础。本论文已开展的研究工作以及主要的结果如下:1.研究了在应用不同线型（指数线型和洛伦兹线型）的弥态允率密度函数的情形下电子态密度曲线的变化。针对指数线型和洛伦兹线型两种弥散线型对电子态密度进行了计算分析,对于不同的弥散宽度值绘制了电子态密度曲线,并进一步阐述了实际情况中可能的复合弥散线型,为基于能级弥散的分数维度理论的进一步发展提供了支持。2.制备了基于典型量子阱的激光器与超辐射管,包括1.3μm波段InP基量子阱以及1.1μm波段GaAs基InGaAs量子阱,取得了一些重要的实验结果,为进一步制备性能更加优异的介于二维到三维间的分数维度超辐射管奠定了基础。（1）采用InGaAsP啁啾量子阱作为有源区,进行了激光器和超辐射管的制备。脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为0.8kA/cm2,同样脊宽与长度采用弯曲波导的超辐射管在350mA时功率为5.9mW,光谱半宽为27nm。（2）采用A1GaInAs量子阱作为有源区,进行了激光器和超辐射管的制备。脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为460A/cm2,同样脊宽与长度采用弯曲波导的超辐射管功率达到30mW以上,光谱半宽在10nm左右。（3）利用MOCVD进行了 InGaAs多量子阱器件结构的生长,然后制备了相应的发光器件,发光波长位于1.1μm处。脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为450A/cm2。在超辐射器件制备中,我们比较了不同波导形状（弯曲、倾斜等）对于超辐射的影响,脊宽10μm、长度2mm的采用倾斜基础上弯曲波导的超辐射管功率达到20mW以上,光谱半宽在10nm左右。3.制备了基于典型量子点的激光器与超辐射管,在器件性能优化方面进行了深入的探索并取得了重要的进展,为进一步制备性能更加优异的介于零维到三维间的分数维度超辐射管提供了技术支撑。此外还在硅衬底上生长了高质量的多层量子点,为后续利用MOCVD生长硅衬底上的分数维度器件打下了一定的基础。（1）MOCVD生长并制备了 GaAs基InAs量子点激光器。首先利用MOCVD开展InAs量子点的生长条件优化,比较了单层/多层、InGaAs底层/盖层、Ⅴ/Ⅲ等对于量子点的影响,利用优化后的条件生长出了光致发光波长接近1.3μm的多层量子点,量子点密度达到4X 1010/cm2。之后利用此多层量子点作为有源区进行了激光器结构的生长并制备了量子点激光器,在分别采用无偏角及2°偏角的衬底上均实现了量子点激光器的室温连续激射,激光器的脊宽均为10μm,腔长均为2mm。由于器件工作在激发态,波长明显短于1.3μm。无偏角衬底上的激光器阈值电流密度为700A/cm2,激射波长位于1.19μm处;2°偏角衬底上的阈值电流密度为950A/cm2,激光器波长位于1.16μm。（2）基于MBE工艺,制备了两种不同外延结构的InAs/GaAs量子点激光器和超辐射管,其中基于第一种外延结构制备的激光器激射波长位于1.3μm处,阈值电流密度低至117A/cm2;采用弯曲波导的超辐射管在室温脉冲条件下工作,发光波长位于1.3μm处,光谱宽度在20nm以上,功率达到10mW以上。基于第二种外延结构制备的激光器激射波长位于1.27μm,阈值电流密度低至118A/cm2;采用直波导镀膜的超辐射管在室温连续电流下工作,发光波长位于1.27μm,光谱宽度在10nm左右,功率在3mW以上。（3）生长了 Si衬底上InAs/GaAs多层量子点。利用MOCVD设备在获得高质量Si基GaAs外延层的基础上,对Si上多层量子点的生长进行了优化实验。将GaAs/Si“三步法”异变外延生长技术与GaAs基多层量子点生长技术相结合,生长出了发光波长位于1.3μm波段的Si基InAs/GaAs多层量子点,通过原子力显微镜测试发现生长出的量子点形貌很好,密度较高,可达5 × 1010/cm2,通过光致发光谱测试发现其发光性能较好。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 第一章 绪论
•   1.1 研究背景
•   1.2 研究现状简介
•     1.2.1 能级弥散理论
•     1.2.2 Ⅲ-Ⅴ族量子点激光器
•     1.2.3 Ⅲ-Ⅴ族量子阱及量子点超辐射管
•   1.3 论文的结构安排
•   参考文献
• 第二章 理论基础与实验技术
•   2.1 半导体低维异质结构及器件的理论基础
•     2.1.1 半导体低维结构
•     2.1.2 半导体激光器的基本理论[5]
•     2.1.3 半导体超辐射管的基本理论
•   2.2 半导体Ⅲ-Ⅴ族材料外延技术
•     2.2.1 金属有机化学气相沉积
•     2.2.2 分子束外延
•   2.3 半导体材料表征技术
•     2.3.1 X射线衍射
•     2.3.2 光致发光
•     2.3.3 原子力显微镜
•     2.3.4 其他表征技术
•   2.4 器件制备及测试技术
•     2.4.1 激光器/超辐射管制备工艺
•     2.4.2 激光器/超辐射管测试技术
•   2.5 本章小结
•   参考文献
• 第三章 能级弥散理论中弥散线型的分析研究
•   3.1 能级弥散理论介绍
•   3.2 能级弥散理论中不同弥散线型的计算
•     3.2.1 指数线型时的电子态密度
•     3.2.2 洛伦兹线型时的电子态密度
•     3.2.3 实际情况中可能的复合弥散线型
•   3.3 弥散电子态密度曲线在分数维度电子态系理论中的运用
•   3.4 本章小结
•   参考文献
• 第四章 Ⅲ-Ⅴ族量子阱材料及器件研究
•   4.1 InP基量子阱材料的结构及器件
•     4.1.1 InP基InGaAsP量子阱激光器及超辐射管
•     4.1.2 InP基AlGaInAs量子阱激光器及超辐射管
•   4.2 GaAs基量子阱材料的外延及器件
•     4.2.1 GaAs基InGaAs/GaAs量子阱结构外延
•     4.2.2 GaAs基InGaAs/GaAs量子阱激光器
•     4.2.3 GaAs基InGaAs/GaAs量子阱超辐射管
•   4.3 本章小结
•   参考文献
• 第五章 Ⅲ-Ⅴ族量子点材料及器件研究
•   5.1 GaAs基InAs量子点结构的生长及优化
•     5.1.1 量子点生长的优化方法
•     5.1.2 量子点器件有源区的生长
•     5.1.3 量子点器件AlGaAs上限制层的生长
•   5.2 GaAs基InAs量子点器件
•     5.2.1 MOCVD生长的量子点激光器
•     5.2.2 MBE生长的量子点激光器及超辐射管
•   5.3 硅基InAs量子点材料的生长研究
•     5.3.1 硅基GaAs材料的异变外延
•     5.3.2 硅基InAs量子点的生长
•   5.4 本章小结
•   参考文献
• 第六章 总结与展望
•   6.1 总结
•   6.2 展望
• 附录
• 致谢
• 攻读博士学位期间发表的学术论文及申请的专利

文章来源

类型: 博士论文

作者: 刘昊

导师: 任晓敏

关键词: 能级弥散,分数维度电子态系理论,量子阱,量子点,激光器,超辐射管

来源: 北京邮电大学

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 北京邮电大学

基金: 科技部国际合作项目,国家自然科学基金项目

分类号: TN248.4

总页数: 123

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