超纯石英玻璃用二氧化硅的环保型制备工艺研究

论文摘要

低缺陷的超纯石英玻璃在航空航天、激光武器装备和半导体光电材料领域具有广泛的应用。然而,受到我国合成石英原料的结构缺陷和杂质缺陷制约,我国在超高纯低缺陷的石英玻璃材料制备方面与国外先进水平一直存在差距。本文使用化学气相沉积工艺,以有机硅八甲基环四硅氧烷为原料,经过精馏提纯,在氢氧火焰中水解生成二氧化硅颗粒。本工艺使用环境友好型原料有机硅,生产过程中无有毒尾气产生,且制备的二氧化硅颗粒金属杂质<1 ppm,可应用于高性能石英玻璃材料的熔融制备,满足我国国防军工行业对新型材料的迫切需求。

论文目录

• 1 实验部分
•   1.1 原材料
•   1.2 实验方法与仪器
•     1.2.1 有机硅蒸发器和精密供气供料系统
•     1.2.2 用于SiO2疏松体沉积的石英燃烧器
• 2 结果与讨论
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张国君,张寒,黄若杰,娄陈林,吴学民

关键词: 石英玻璃,化学气相沉积,二氧化硅,环保型工艺

来源: 广东化工 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司,北京理工大学

基金: 国家重点研发计划资助项目(2016YFB0303802)

分类号: TQ171.731

页码: 73-74

总页数: 2

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