全文摘要
本实用新型公开了10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，包括第一支撑杆、第二支撑杆和若干填充块，第一支撑杆和第二支撑杆水平放置，第一支撑杆和第二支撑杆相向设置的侧壁上均开设有若干定位槽，若干定位槽沿所在第一支撑杆或第二支撑杆的轴向分布；所述填充块的一端嵌入定位槽内、另一端设有挡板，挡板凸出所在第一支撑杆、第二支撑杆的侧壁、用于支撑掩膜版。本实用新型提供的夹具不会影响G10代掩膜版产品正常生产，制程、清洗过程中，该夹具不会对设备和产品造成二次污染，不会对掩膜版造成损伤；制程、清洗过程中，该夹具通过涂覆耐腐蚀涂层能够耐浓硫酸和铬版蚀刻液的侵蚀。
主设计要求
1.10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，包括第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)和若干填充块(3)，第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)水平放置，第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)相向设置的侧壁上均开设有若干定位槽(4)，若干定位槽(4)沿所在第一支撑杆(1)或第二支撑杆(2)的轴向分布；所述填充块(3)的一端嵌入定位槽(4)内、另一端设有挡板(5)，挡板(5)凸出所在第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)的侧壁、用于支撑掩膜版(6)。
设计方案
1.10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，包括第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)和若干填充块(3)，第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)水平放置，第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)相向设置的侧壁上均开设有若干定位槽(4)，若干定位槽(4)沿所在第一支撑杆(1)或第二支撑杆(2)的轴向分布；所述填充块(3)的一端嵌入定位槽(4)内、另一端设有挡板(5)，挡板(5)凸出所在第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)的侧壁、用于支撑掩膜版(6)。
2.根据权利要求1所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)的两端通过连接杆(7)可拆卸连接；第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)和连接杆(7)围绕呈矩形框结构。
3.根据权利要求2所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述连接杆(7)的两端侧壁上设有安装槽(8)，第一支撑杆(1)和第二支撑杆(2)的轴向两端均设有过盈配合嵌入安装槽(8)内的安装杆(9)。
4.根据权利要求2所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述制程机工作台(13)上设有若干支柱(14)，支柱(14)的顶端设有台阶结构(15)，所述第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)和连接杆(7)放置在台阶结构(15)上固定。
5.根据权利要求1所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述定位槽(4)是由所在第一支撑杆(1)或第二支撑杆(2)的上表面向下开槽延伸设置，且定位槽(4)向下延伸深度小于所在位置处的第一支撑杆(1)或第二支撑杆(2)的径向厚度。
6.根据权利要求5所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述填充块(3)的一端与定位槽(4)嵌入适配状态下，在水平方向的截面呈T型结构(10)。
7.根据权利要求1所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述填充块(3)嵌入定位槽(4)的深度小于填充块(3)在水平方向上的长度。
8.根据权利要求1所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述挡板(5)设于填充块(3)上远离定位槽(4)的一端侧壁上、且靠近底面处，在竖直方向上，挡板(5)的厚度小于填充块(3)的厚度，挡板(5)的板面方向与填充块(3)的侧壁垂直；填充块(3)远离定位槽(4)一端侧壁上还设有挡块(11)，挡块(11)用于限制掩膜版(6)沿第一支撑杆(1)或第二支撑杆(2)的轴向移动。
9.根据权利要求8所述的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，其特征在于，所述掩膜版(6)的直角处两直角边分别与填充块(3)远离定位槽(4)一端侧壁、以及挡块(11)的一侧壁接触，挡块(11)的侧壁与填充块(3)的侧壁连接处设有让位孔(12)，所述让位孔(12)对应容纳掩膜版(6)的直角顶点。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及一种10代线掩膜版自动制程机辅助夹具。
背景技术
随着掩膜版行业的发展，行业内制程机制造厂商生产了一种G10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动制程设备，该设备只能够制程、清洗1200*850至1620*1780掩膜版产品。
实际生产过程中，客户会不定期提出小尺寸产品的生产需求，如产品尺寸800*520和920*800的G10代掩膜版自动制程机无法满足生产需求，需要重新购买一台小型的掩膜版自动制程设备才能满足目前的需求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：现有的制程机无法进行小尺寸掩膜版的加工操作，本实用新型提供了解决上述问题的10代线掩膜版自动制程机辅助夹具。
本实用新型通过下述技术方案实现：
10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，包括第一支撑杆、第二支撑杆和若干填充块，第一支撑杆和第二支撑杆水平放置，第一支撑杆和第二支撑杆相向设置的侧壁上均开设有若干定位槽，若干定位槽沿所在第一支撑杆或第二支撑杆的轴向分布；所述填充块的一端嵌入定位槽内、另一端设有挡板，挡板凸出所在第一支撑杆、第二支撑杆的侧壁、用于支撑掩膜版。
本实用新型第一支撑杆和第二支撑杆为夹具的主体骨架结构，可将第一支撑杆和第二支撑杆通过其他连接件钢性连接，或者直接将第一支撑杆和第二支撑杆固定在制程机的工作台上；在第一支撑杆和第二支撑杆上均设置多个沿轴向排布的定位槽，在定位槽内可拆卸镶嵌填充块，通过填充块上的挡板为掩膜版提供支撑点；依据夹持的掩膜版的尺寸大小，选择在合适的定位槽嵌入填充块，一般至少选择四个定位槽位点，第一支撑杆和第二支撑杆上各两个定位槽上嵌入填充块，为掩膜版的四个直角点处或靠近直角点处提供支撑位点，保障掩膜版水平、稳定固定。
进一步地，所述第一支撑杆和第二支撑杆的两端通过连接杆可拆卸连接；第一支撑杆、第二支撑杆和连接杆围绕呈矩形框结构。
将第一支撑杆和第二支撑杆通过连接杆连接呈矩形框结构，利于维持第一支撑杆和第二支撑杆的相对位置及夹持掩膜版的稳定性。
进一步地，所述连接杆的两端侧壁上设有安装槽，第一支撑杆和第二支撑杆的轴向两端均设有过盈配合嵌入安装槽内的安装杆。
通过安装杆与安装槽的过盈配合，实现第一支撑杆和第二支撑杆与连接杆的可拆卸连接，结构简单，制作成本低，操作方便。
进一步地，所述制程机工作台上设有若干支柱，支柱的顶端设有台阶结构，所述第一支撑杆、第二支撑杆和连接杆放置在台阶结构上固定。
可在制程机的转盘上设置多个支柱，为第一支撑杆、第二支撑杆和连接杆围成的矩形框架提供支撑点。
进一步地，所述定位槽是由所在第一支撑杆或第二支撑杆的上表面向下开槽延伸设置，且定位槽向下延伸深度小于所在位置处的第一支撑杆或第二支撑杆的径向厚度。
即定位槽向下延伸但未贯穿所在的第一支撑杆或第二支撑杆，通过定位槽底端面为填充块提供支撑，限制填充块向下移动，以平衡掩膜版的向下重力通过填充块传递至定位槽的向下压力作用。
进一步地，所述填充块的一端与定位槽嵌入适配状态下，在水平方向的截面呈T型结构。
定位块的端部与定位槽适配呈T型结构，用于限制填充块在水平方向的移动、防止填充块从定位槽上滑脱；此外，掩膜版的向下重力传递至挡板，对挡板产生下压作用，相当于对填充块远离定位槽的一端施加下压作用，容易使填充块嵌入定位槽的另一端翘起，通过T型结构限位作用、以及填充块以定位槽内壁的摩擦作用可有效平衡上述下压作用，防止填充块翘起，保障掩膜版稳定固定。
进一步地，所述填充块嵌入定位槽的深度小于填充块在水平方向上的长度。
即将填充块一端嵌入定位槽内、另一端凸出所在第一支撑杆或第二支撑杆的侧壁，凸出部分的距离即为夹持的掩膜版的侧边至第一支撑杆或第二支撑杆的距离，防止掩膜版的侧边与第一支撑杆或第二支撑杆过度挤压接触，损坏掩膜版。
进一步地，所述挡板设于填充块上远离定位槽的一端侧壁上、且靠近底面处，在竖直方向上，挡板的厚度小于填充块的厚度，挡板的板面方向与填充块的侧壁垂直；填充块远离定位槽一端侧壁上还设有挡块，挡块用于限制掩膜版沿第一支撑杆或第二支撑杆的轴向移动。
填充块上的挡板用于支撑掩膜版承载掩膜版的主要重力作用，挡块主要用于限制掩膜版沿第一支撑杆或第二支撑杆的轴向移动，挡块和挡板之间可相互接触或者间隔排布。
进一步地，所述掩膜版的直角处两直角边分别与填充块远离定位槽一端侧壁、以及挡块的一侧壁接触，挡块的侧壁与填充块的侧壁连接处设有让位孔，所述让位孔对应容纳掩膜版的直角顶点。
通过在挡板和填充块连接处设置让位孔，防止安装过程中或夹持过程中，损坏掩膜版的直角顶点处。
本实用新型具有如下的优点和有益效果：
1、本实用新型满足G10代掩膜版正常生产，所述夹具根据产品尺寸需求，设计了镶嵌式的结构，在夹具框架上镶嵌填充块，该填充块可以根据掩膜版尺寸调整位置，满足所有尺寸使用要求；整体结构可拆卸安装，结构简单，制作成本低，操作方便；
2、本实用新型提供的夹具不会影响G10代掩膜版产品正常生产，制程、清洗过程中，该夹具不会对设备和产品造成二次污染，不会对掩膜版造成损伤；制程、清洗过程中，该夹具通过涂覆耐腐蚀涂层能够耐浓硫酸和铬版蚀刻液的侵蚀；
3、本实用新型提供了一种G10代掩膜版自动制程机小版辅助夹具，使用该夹具能使G10代掩膜版自动制程机制程、清洗G6.5-G8.5掩膜版产品。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：
图1为本实用新型的整体框架结构示意图；
图2为本实用新型的第一支撑杆或第二支撑杆与连接杆的连接关系结构示意图；
图3为本实用新型的填充块与定位槽适配结构示意图；
图4为本实用新型的掩膜版在填充块上适配结构示意图；
图5为实施例5中，夹具安装了800*520掩膜版时的结构示意图；
图6为实施例5中，夹具安装了920*800掩膜版时的结构示意图。
附图中标记及对应的零部件名称：1-第一支撑杆，2-第二支撑杆，3-填充块，4-定位槽，5-挡板，6-掩膜版，7-连接杆，8-安装槽，9-安装杆，10-T型结构，11-挡块，12-让位孔，13-制程机工作台，14-支柱，15-台阶结构。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
实施例1
本实施例提供了一种10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，包括第一支撑杆1、第二支撑杆2和多个填充块3，第一支撑杆1和第二支撑杆2采用长方体形状的杆结构；第一支撑杆1和第二支撑杆2水平放置，且第一支撑杆1和第二支撑杆2相互平行设置，第一支撑杆1和第二支撑杆2相向设置的侧壁上均开设有多个定位槽4，多个定位槽4沿所在第一支撑杆1或第二支撑杆2的轴向分布；填充块3的一端嵌入定位槽4内、另一端设有挡板5，挡板5凸出所在第一支撑杆1、第二支撑杆2的侧壁、用于支撑掩膜版6，每个定位槽4内嵌入一个填充块3，用于固定掩膜版6时，至少使用四个填充块3为掩膜版6提供足够的支撑点，分别用于支撑掩膜版6的四个直角处，保障掩膜版6水平摆放。
实施例2
在实施例1的基础上进一步改进，所述第一支撑杆1和第二支撑杆2的两端通过连接杆7可拆卸连接，具体地，连接杆7也采用长方体形状的杆结构，连接杆7的两端侧壁上设有安装槽8，第一支撑杆1和第二支撑杆2的轴向两端均设有过盈配合嵌入安装槽8内的安装杆9，如图1和图2所示，第一支撑杆1、第二支撑杆2和连接杆7围绕呈矩形框架结构，该夹具设计外形尺寸设计为1200*850。制程机工作台13上设有多个支柱14，支柱14的顶端设有台阶结构15，第一支撑杆1、第二支撑杆2和连接杆7放置在台阶结构15上固定，如在制程机转盘上设置四组支柱14，分别设于矩形框架的四个直角处，每组支柱14包括两个支柱14，两个支柱14分别用于支撑矩形框架的直角处的两个直角边。
实施例3
在实施例2的基础上进一步改进，所述定位槽4是由所在第一支撑杆1或第二支撑杆2的上表面向下开槽延伸设置，且定位槽4向下延伸深度小于所在位置处的第一支撑杆1或第二支撑杆2的径向厚度。填充块3的一端与定位槽4嵌入适配状态下，在水平方向的截面呈T型结构10，填充块3嵌入定位槽4的深度小于填充块3在水平方向上的长度。
实施例4
在实施例3的基础上进一步改进，所述挡板5设于填充块3上远离定位槽4的一端侧壁上、且靠近底面处，在竖直方向上，挡板5的厚度小于填充块3的厚度，挡板5的板面方向与填充块3的侧壁垂直；填充块3远离定位槽4一端侧壁上还设有挡块11，挡块11用于限制掩膜版6沿第一支撑杆1或第二支撑杆2的轴向移动。掩膜版6的直角处两直角边分别与填充块3远离定位槽4一端侧壁、以及挡块11的一侧壁接触，挡块11的侧壁与填充块3的侧壁连接处设有让位孔12，让位孔12对应容纳掩膜版6的直角顶点。其中，填充块3、挡板5和挡块11一体化加工成型，如图3和4所示。
实施例5
基于实施例4提供的一种10代线掩膜版自动制程机辅助夹具，第一支撑杆、第二支撑杆和连接杆可采用铝合金材质制成，最后在整个夹具表面涂一层铁氟龙涂层，填充块3采用铁氟龙材质制成，防止浓硫酸和蚀刻液侵蚀夹具；如图5是夹具安装800*520掩膜版时的结构示意图，如图6是夹具安装920*800掩膜版时的结构示意图。
以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920122023.8
申请日:2019-01-24
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:90(成都)
授权编号:CN209533184U
授权时间:20191025
主分类号:B25B 11/00
专利分类号:B25B11/00
范畴分类:26G;
申请人:成都路维光电有限公司
第一申请人:成都路维光电有限公司
申请人地址:610000 四川省成都市高新区(西区)天勤路839号5栋
发明人:林伟;孙多卫
第一发明人:林伟
当前权利人:成都路维光电有限公司
代理人:胡晓丽
代理机构:51220
代理机构编号:成都行之专利代理事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计