非晶硒合金膜论文_孔玮曼,张斌,温婷婷

导读:本文包含了非晶硒合金膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:射线,合金,平板,时间,次级,光子,灵敏度。

非晶硒合金膜论文文献综述

孔玮曼,张斌,温婷婷[1](2006)在《非晶硒合金膜的制备方法研究》一文中研究指出基于传统工艺,新研制开发了一套非晶硒合金膜制备的设备和工艺流程。实验采用高真空电阻加热蒸镀方法,已制备出面积为180mm×180mm的非晶硒合金膜并进行了基本特性检测。测试结果表明:所制备的膜非晶化程度高,厚度最大为90μm,厚度分布比较均匀,相对误差在10%以内。所制备的膜满足光电转换膜的基本特性要求。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2006年07期)

徐向晏,牛憨笨,阔晓梅,王云程,郭振琪[2](2001)在《用于X射线成像的非晶硒合金膜的制备和性能测试》一文中研究指出在X射线诊断成像方面 ,非晶硒 (a Se)是最有前途的探测材料之一。通过实验研究了a Se合金膜的制备方法 ,用飞行时间方法测量了载流子的漂移迁移率和寿命 ,讨论了对a Se合金膜性能有重要影响的因素。通过对40 0 μm厚a Se合金膜X射线光电流的测量 ,确定了a Se合金膜对X射线的光电响应特性。实验表明 ,a Se合金膜具有线性的光电转换特性 ;灵敏度与场强有关。在 10V μm场强下 ,对于医疗诊断常用的轫致辐射X射线谱 ,用X射线在a Se合金膜中产生一电子 -空穴对约需 45eV的能量。(本文来源于《光学学报》期刊2001年12期)

徐向晏[3](2001)在《X射线敏感的非晶硒合金材料与器件的理论及实验研究》一文中研究指出随着信息数字化的迅速发展,数字成像技术成为X射线透视诊断成像发展的潮流,非晶硒+薄膜晶体管(TFT)直接数字平板实时成像系统性能优越,分辨率高,全面满足成像器件固体化、数字化、平板化的发展潮流。本论文即以研制非晶硒+TFT平板数字成像系统为最终目的展开实验和理论研究工作。 论文首先从非晶硒合金膜的制备工艺和性能测试展开研究。选砷作为抑制非晶硒晶化的合金元素,采用先制备硒砷合金材料,再以该合金材料为蒸镀源材料的制膜方法,成功制备了稳定的非晶硒合金膜,其载流子迁移长度可达1300μm以上(10V/μm场强),达到厚膜应用要求。 在常用X光子能量范围内,分析了X光子与非晶硒发生各种作用的概率,给出了初级X光子作用中的能量吸收,重点讨论了次级X光子重吸收过程。 以X射线与非晶硒相互作用的物理过程为依据,通过建立模型,以光学传递函数为分析手段,采用理论分析和数值计算方法详细考查了探测X射线成像的非晶硒器件(不包含读出系统)的空间分辨率,给出了单色X射线入射时非晶硒器件空间分辨率表达式。在以能量吸收和X射线谱分布为权重求和的基础上,详细考查了入射X射线具有谱分布时非晶硒器件的空间分辨率。合理设计非晶硒厚度,尤其注意减小入射角有助于提高空间分辨率。 在分析电荷收集效率和能量吸收基础上,引入一灵敏度概念,全面分析了非晶硒对X射线的灵敏度与载流子迁移特性、光子能量、非晶硒厚度和场强的关系。非晶硒载流子迁移长度至少应为非晶硒厚度的2倍,提高场强是增加灵敏度的有效方法。论文根据成像过程详细分析了非晶硒对X射线的量子探测效率DQE,增加非晶硒厚度和减小入射角可以有效提高DQE。成像系统的设计应权衡分辨率、灵敏度和量子探测效率,使综合性能最佳。 在薄膜的基础上,经过多次实验,摸索出了制备非晶硒合金厚膜的成熟工艺。通过实验研究了非晶硒合金厚膜对X射线的光电响应特性。测量表明,光电流密度与照射率成线性关系,光电流密度强烈依赖于场强,在10V/μm场强下,激发一电子空穴对所需的X射线能量W_(±)约为45eV。 分析了重要转换屏CsI:Na(CsI:TI)的荧光逸出效率、能量吸收以及对X射线的荧光转换因子,建立了较为完整的荧光转换因子模型。计算表明,荧光光子等效自由程至少应在转换屏厚度的10倍以上。 在考查非晶硒+薄膜晶体管(TFT)直接数字X射线成像器件的基础上,针对非晶硒原子序数偏低,对高能X光了吸收小的缺点,论文提出了一种将非晶硒和高原子序数转换屏结合起来的联合靶平板数字固体成像器件方案。联合靶转换屏首选Q:Na,分析了X光子人射联合靶时的作用概率、能量吸收和灵敏度。aSe(sl们a联合靶有效提高了对高能X光子的响应,可望在不增加非晶硒厚度、无额外复杂工艺条件下拓宽其能量应用范围。(本文来源于《中国科学院西安光学精密机械研究所》期刊2001-05-01)

徐向晏,牛憨笨,王云程[4](1999)在《非晶硒合金膜载流子特性研究》一文中研究指出在X射线医学成象和无损检测方面,非晶硒现在被认为是最有前途的探测材料之一,其我流子特性对应用至关重要.本文描述了非晶硒(掺砷)合金材料的制备和合金膜的真空蒸镀制备方法,并用滚越时间方法测量了载流于的漂移迁移率和寿命.讨论了一些对非晶硒合金膜性能有重要影响的因素.实验表明,制备方法对非晶硒合金膜的性能有显着影响.可以看到,在低电场下被陷讲捕获的我流子形成的空间电荷对测量我流永寿命和对光的敏感度有很大影响·实验得到了良好的结果,在10Wpm场强下,空穴迁移长度约150o尸m,电子迁移长度约1200μm.该结果表明,可以用几百微米厚的非晶硒合金膜作为X射线探测或成象的光电导接受器.(本文来源于《光子学报》期刊1999年10期)

非晶硒合金膜论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

在X射线诊断成像方面 ,非晶硒 (a Se)是最有前途的探测材料之一。通过实验研究了a Se合金膜的制备方法 ,用飞行时间方法测量了载流子的漂移迁移率和寿命 ,讨论了对a Se合金膜性能有重要影响的因素。通过对40 0 μm厚a Se合金膜X射线光电流的测量 ,确定了a Se合金膜对X射线的光电响应特性。实验表明 ,a Se合金膜具有线性的光电转换特性 ;灵敏度与场强有关。在 10V μm场强下 ,对于医疗诊断常用的轫致辐射X射线谱 ,用X射线在a Se合金膜中产生一电子 -空穴对约需 45eV的能量。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

非晶硒合金膜论文参考文献

[1].孔玮曼,张斌,温婷婷.非晶硒合金膜的制备方法研究[J].电子元件与材料.2006

[2].徐向晏,牛憨笨,阔晓梅,王云程,郭振琪.用于X射线成像的非晶硒合金膜的制备和性能测试[J].光学学报.2001

[3].徐向晏.X射线敏感的非晶硒合金材料与器件的理论及实验研究[D].中国科学院西安光学精密机械研究所.2001

[4].徐向晏,牛憨笨,王云程.非晶硒合金膜载流子特性研究[J].光子学报.1999

论文知识图

。图中射线光电流中已扣除了5 As-Se 合金膜的 XRD 谱

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非晶硒合金膜论文_孔玮曼,张斌,温婷婷
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