导读:本文包含了载能沉积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:薄膜,动力学,粒子,生长,分子,质子,形貌。
载能沉积论文文献综述
王正海[1]（2016）在《载能氢、氘离子在钨中的沉积行为及其辐照损伤研究》一文中研究指出核能的开发是人类永久解决能源问题的必然选择。随着国际热核实验堆(ITER)的设计和研发,聚变材料日益引起人们的重视。钨基材料是聚变堆偏滤器的主要候选材料,因此,研究钨基材料因氢离子辐照引起的微观结构和性能变化显得至关重要。本工作主要研究了氢在钨材料中的沉积及对钨材料的辐照损伤效应。其一,将能量为20 ke V/D,注量率为3.0×1014 D/(cm2s)的离子注入到钨中,注入过程中,通过记录出射质子产额,研究钨中氘浓度随注量的关系;并在某些注量点用能量为75 ke V/D,流强为0.6μA的束流监测。在停束后,进行两轮不同注量和不同能量的氘离子注入,探究氘浓度随辐照损伤的变化。在样品放置一年后和两年后,分别利用弹性反冲核分析和二次离子质谱分析方法研究静态氘浓度变化情况。其二,将能量为10 ke V,不同流强的质子注入到钨中,注量范围为1015-1018 H/cm2。通过原子力显微镜(AFM)、电子扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察辐照前后样品的表面形貌,分析辐照损伤引起的气泡成形、生长到破裂的演变过程随注量和注量率的变化关系。结合两方面的研究,讨论了气泡形成对氘浓度的影响。根据以上的研究,得到结论如下:(1)20 ke V/D的氘离子注入时,沉积在钨中的饱和氘浓度为nD/n W=44.0±2.7(at.%),达到饱和时的临界注量为1.54×1018 D/cm2。(2)低能量(5-13 ke V)氘离子的注入,对样品的损伤程度比较大,辐照损伤改变了氘离子在损伤区域的扩散系数。(3)样品搁置一年后,随深度不同所沉积的氘浓度在2-4 at.%之间波动,在110 nm附近出现峰值。(4)10 ke V的质子注入钨中,表面气泡尺寸随注量的增大而增大。注量为5×1017 cm-2时,SEM所观察到的气泡尺寸大小约为3μm。(5)注量率是影响气泡大小的一个重要因素,气泡大小随注量率的增大而增大。(本文来源于《兰州大学》期刊2016-05-01）
于翔,刘宝林,王成彪[2]（2009）在《载能粒子沉积用于钻探机具的硬质润滑薄膜》一文中研究指出提高钻探机具耐磨、耐蚀性能及其在苛刻工况条件下的使用寿命是地质工程领域中急待解决的一个关键技术问题。在评述钻探机具表面强化研究概状和热点问题的基础上,围绕载能粒子对气相沉积硬质摩擦学薄膜结构和综合摩擦学性能的影响这一中心,从提高钻探机具零件耐磨减摩性能出发,以多种载能粒子沉积技术为制备手段,以复合化、纳米化和多层梯度化的研究思路合成出多种硬质润滑薄膜,进行了钻探机具零件摩擦学薄膜制备、结构、性能和应用的基础研究。试图为硬质润滑薄膜在易损件耐磨减摩应用中拟定有效的表面强化实用技术,同时为研制新型钻探机具、提高钻探效率和改善星际钻探等机具适用性提供新的技术。(本文来源于《探矿工程(岩土钻掘工程)》期刊2009年S1期）
张超[3]（2006）在《载能沉积过程与异质外延生长行为的分子动力学模拟研究》一文中研究指出低温等离子体辅助薄膜生长是改善薄膜质量的重要手段，已经广泛应用于各种薄膜材料的制备之中。从原子尺度上研究薄膜生长过程和微观机制，对于揭示薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量以及发展新型薄膜材料都具有重要意义。从原子水平上看，薄膜生长是一个非平衡表面动力学过程，其中包括原子的沉积、扩散、成核、表面岛的生长、相互竞争、合并等一系列表面原子过程，深入研究这些表面原子过程对于揭示薄膜生长的微观物理机制具有重要意义。本文重点关注了薄膜生长过程中的载能粒子沉积、表面扩散、成核以及外延岛的生长演化这几方面问题，采用分子动力学方法分别研究了低能原子沉积过程、表面原子扩散以及异质外延生长中表面岛的生长演化行为，探讨了这些表面过程对薄膜生长行为和微观机制的影响规律。 在低能原子沉积对薄膜生长影响的研究方面，我们系统研究了低能Pt原子与Pt(111)表面的相互作用所导致的表面吸附原子、溅射原子、表面空位的产生及分布规律，给出了Pt(111)表面的溅射能量阈值大约在30～40eV之间，并指出适当地提高沉积原子的能量，能够增加表面吸附原子的产额并扩大其分布区域，从而提高形核密度，降低晶核尺寸，增加表面平整度。表面替位杂质的存在，改变了基体表面稳定性，不仅影响着入射能量较低时的表面吸附原子的产额与空间分布，而且对入射能量较高时的低能表面溅射过程和基体表面空位的形成产生重要影响。在研究Pt(111)表面低能溅射时，我们发现了轻原子入射所产生的溅射产额要大于重原子入射的溅射产额这一与基于二体碰撞近似的线性级联溅射理论相反的现象，并由此提出了入射原子反冲的低能溅射机制。 在研究表面原子扩散过程时，从Cu吸附原子导致的基体晶格畸变的角度，探讨了吸附原子与基体表面晶格之间、以及吸附原子之间的相互作用及其对原子表面扩散行为的影响。研究发现：表面吸附原子导致的Cu基体晶格畸变的范围可多达10个原子层，同时引起了基体表面应变状态与局域应力的非均匀分布。在表面原子扩散的过程中，由吸附原子与基体原子间相互作用引起的基体晶格畸变对表面原子的扩散运动将产生重要影响。表面吸附原子将通过原子之间的直接相互作用和其所产生的基体晶格畸变应力场之间的间接相互作用，对一定距离之内的另一个吸附原子扩散行为产生影响。 在异质外延生长研究方面，针对传统的晶格失配理论不能完全解释现有实验结果的这一问题，我们认为，决定异质外延行为的根本因素是原子间的成键属性，键属性包括了键长、键角、键能这叁个基本要素。传统的晶格失配理论是描述了外延层原子与基体原子间的晶格常数差异的影响因素，从本质上讲，应归属于键长对异质外延生长行为影响的范畴，而并没有考虑键角与键能差异的影响。在此分析基础上，我们分别讨论了成(本文来源于《大连理工大学》期刊2006-05-01）
喻莉[4]（2006）在《载能粒子沉积薄膜的Kinetic Monte Carlo模拟》一文中研究指出薄膜材料不仅包含丰富的物理信息和物理理论基础,还在材料科学、电子技术、信息技术、生物技术等众多领域有着广泛的应用,是近年来迅速发展的研究方向之一。随着计算机技术的进步和对物质不同层次的结构及动态过程的理解的深入,利用计算机对原子尺度的薄膜生长过程进行模拟,是进行薄膜材料研究的有效方法。因为一方面计算机模拟可以得到实验中无法观察到的某些过程,另一方面,计算机模拟可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参数如沉积温度、沉积速率、沉积粒子的入射角、沉积粒子的入射能量等,计算机还可用于研究实验上难以实现的高沉积速率、高沉积温度等极端生长条件下薄膜的生长情况。在本文中,我们用一个叁维的动力学蒙特卡罗模型模拟了载能原子沉积薄膜的过程。在普通气相沉积薄膜的模型的基础上,我们还考虑了沉积原子流的入射能量和入射角度对薄膜形貌的影响。其中,由原子的入射能量引起的原子的反射,偏扩散以及局部瞬时热扩散过程,在我们的模型中都进行了考虑。我们模拟了在不同入射能量与入射角度的情况下,外延沉积Cu到Cu(001)基片上时,薄膜的形貌和表面粗糙度的情况。模拟结果表明,能量原子能促使薄膜的表面更加光滑。而且能量的影响在较低的基片温度或是较高的沉积速率时更加显着。而对于某一固定的入射能量,存在一个转变角,在转变角的情况下,沉积的薄膜的表面粗糙度最小。此外,我们还模拟了溅射沉积时的薄膜形貌图,其中粒子的入射能量分布采用实验的近似结果,角度分布采用余弦分布。模拟的结果与实验结果基本吻合。(本文来源于《华中科技大学》期刊2006-04-01）
张庆瑜,马腾才,潘正瑛,汤家镛[5]（2000）在《载能原子沉积Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟》一文中研究指出在分子动力学研究的基础上建立了载能原子的沉积动力学物理模型 ,并根据在局域环境下的表面原子扩散模型 ,通过运动学MonteCarlo方法研究了载能粒子沉积Au/Au(10 0 )薄膜的初期生长过程 ,探讨了载能粒子沉积对薄膜生长的影响及其随基体温度的变化 .通过计算机模拟发现 :载能粒子沉积的Au/Au(10 0 )薄膜生长仍然呈现层状生长 叁维岛状生长 准二维层状 .在薄膜生长初期 ,载能粒子的作用是促进表面原子的成核 ,增加基体表面的缺陷 ;在薄膜的生长阶段 ,载能粒子通过抑制叁维岛的生长速率起着平滑薄膜表面形貌的作用 .载能粒子是通过改变薄膜局域表面形貌而影响着薄膜的生长行为 ,而表面原子扩散能力则是决定薄膜生长模式的关键因素(本文来源于《物理学报》期刊2000年06期）
张庆瑜[6]（1999）在《载能粒子沉积薄膜生长的微观机制研究》一文中研究指出采用嵌入原子间相互作用势， 利用分子动力学方法模拟了载能原子沉积Ａｕ／Ａｕ（１００）薄膜的生长过程． 通过对薄膜生长的表面覆盖度曲线和Ｂｒａｇｇ 衍射强度等随沉积原子能量变化的研究， 发现随着沉积原子能量的增加， 薄膜的生长模式从Ｓｔｒａｎｓｋｉ－Ｋｒａｓｔａｎｏｖ 生长（Ｓ－Ｋ 生长）转变为Ｆｒａｎｋ－ｖａｎ ｄｅｒ Ｍｅｒｗ ｅ 生长（Ｆ－Ｍ 生长）． 同时， 通过对沉积原子能量、基体温度随时间的演化分析， 探讨了载能原子在薄膜生长中的作用(本文来源于《大连理工大学学报》期刊1999年06期）
载能沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
提高钻探机具耐磨、耐蚀性能及其在苛刻工况条件下的使用寿命是地质工程领域中急待解决的一个关键技术问题。在评述钻探机具表面强化研究概状和热点问题的基础上,围绕载能粒子对气相沉积硬质摩擦学薄膜结构和综合摩擦学性能的影响这一中心,从提高钻探机具零件耐磨减摩性能出发,以多种载能粒子沉积技术为制备手段,以复合化、纳米化和多层梯度化的研究思路合成出多种硬质润滑薄膜,进行了钻探机具零件摩擦学薄膜制备、结构、性能和应用的基础研究。试图为硬质润滑薄膜在易损件耐磨减摩应用中拟定有效的表面强化实用技术,同时为研制新型钻探机具、提高钻探效率和改善星际钻探等机具适用性提供新的技术。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
载能沉积论文参考文献
[1].王正海.载能氢、氘离子在钨中的沉积行为及其辐照损伤研究[D].兰州大学.2016
[2].于翔,刘宝林,王成彪.载能粒子沉积用于钻探机具的硬质润滑薄膜[J].探矿工程(岩土钻掘工程).2009
[3].张超.载能沉积过程与异质外延生长行为的分子动力学模拟研究[D].大连理工大学.2006
[4].喻莉.载能粒子沉积薄膜的KineticMonteCarlo模拟[D].华中科技大学.2006
[5].张庆瑜,马腾才,潘正瑛,汤家镛.载能原子沉积Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟[J].物理学报.2000
[6].张庆瑜.载能粒子沉积薄膜生长的微观机制研究[J].大连理工大学学报.1999
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