一种用于金属表面材料合成的真空反应室论文和设计

全文摘要

本实用新型公开了一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体、放置槽和进气管，箱体的上表面两侧对称安装有轨道，放置槽开设在箱体的内部上方一侧，侧边板通过内部转轴与挡板相互连接，底部滑槽通过底部滑块与连接块相互连接，进气管与箱体的左侧内部贯穿连接，箱体的内部两侧下方对称固定有加热块，箱体的前表面通过侧边转轴与前置板相互连接，冷却水管的一端通过进水管与水泵相互连接，连接杆的侧面通过弹簧与夹板相互连接，水泵和水箱之间通过曲形管相互连接。该用于金属表面材料合成的真空反应室，可以将金属材料在箱体内部转动，使得金属表面材料分布较为均匀，并且加工结束后，可以将金属材料推动至箱体上方进行快速冷却。

主设计要求

1.一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体(1)、放置槽(5)和进气管(16)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面两侧对称安装有轨道(2)，且轨道(2)通过滑轨(3)与顶板(4)相互连接，并且滑轨(3)对称固定在顶板(4)的下表面两侧，所述放置槽(5)开设在箱体(1)的内部上方一侧，且放置槽(5)的内部安装有冷却水管(6)，并且箱体(1)的两侧中间位置对称焊接有侧边板(7)，所述侧边板(7)通过内部转轴(8)与挡板(9)相互连接，且挡板(9)的下表面预留有底部滑槽(10)，所述底部滑槽(10)通过底部滑块(11)与连接块(12)相互连接，且底部滑块(11)固定在连接块(12)的上端，所述连接块(12)的下端通过上部转轴(13)与连接杆(14)相互连接，且连接杆(14)的下方设置有副齿轮(15)，所述进气管(16)与箱体(1)的左侧内部贯穿连接，且箱体(1)的右侧内部贯穿连接有排气管(17)，并且排气管(17)的底部安装有抽气泵(18)，所述箱体(1)的内部两侧下方对称固定有加热块(19)，且箱体(1)的底面左侧安装有电机(20)，并且电机(20)的上端转动连接有底部转轴(21)，同时底部转轴(21)的上端固定有主齿轮(22)，所述箱体(1)的前表面通过侧边转轴(23)与前置板(24)相互连接，且箱体(1)的底面中间位置转动连接有固定杆(25)，并且固定杆(25)的内部设置有定位杆(26)，所述冷却水管(6)的一端通过进水管(27)与水泵(28)相互连接，且水泵(28)的侧面连接有水箱(29)，并且水箱(29)通过出水管(30)与冷却水管(6)的另一端相互连接，所述副齿轮(15)的内部侧面通过弹簧(31)与夹板(32)相互连接，且夹板(32)的下表面安装有上部滑块(33)，并且上部滑块(33)通过上部滑槽(34)与副齿轮(15)相互连接，同时上部滑槽(34)对称预留在副齿轮(15)的上表面两侧，所述定位杆(26)的外部两侧对称开设有侧边滑槽(35)，且侧边滑槽(35)通过侧边滑块(36)与固定杆(25)相互连接，并且侧边滑块(36)对称固定在固定杆(25)的内部两侧，所述水泵(28)和水箱(29)之间通过曲形管(37)相互连接。

设计方案

2.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述顶板(4)通过轨道(2)和滑轨(3)与箱体(1)组成抽拉结构，且顶板(4)的下表面面积等于箱体(1)的上表面面积，并且箱体(1)的前侧通过侧边转轴(23)与前置板(24)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述挡板(9)通过内部转轴(8)与侧边板(7)组成转动结构，且该转动结构的转动角度范围为0-90°，并且2个挡板(9)的上表面面积与2个侧边板(7)的上表面面积之和等于箱体(1)内部横截面面积。

4.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述连接杆(14)的上端通过上部转轴(13)与连接块(12)组成转动结构，且该转动结构关于副齿轮(15)中心对称设置有两组，并且连接块(12)的上表面通过底部滑块(11)和底部滑槽(10)与挡板(9)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述副齿轮(15)与主齿轮(22)啮合连接，且副齿轮(15)的外部直径小于两个侧边板(7)之间的水平距离，并且副齿轮(15)的上表面位置低于连接杆(14)的下表面位置。

6.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述定位杆(26)通过侧边滑槽(35)和侧边滑块(36)与固定杆(25)组成滑动结构，且侧边滑槽(35)的长度等于底部滑槽(10)的长度，并且定位杆(26)的正面视图呈倒“T”形状。

7.根据权利要求1所述的一种用于金属表面材料合成的真空反应室，其特征在于：所述夹板(32)通过弹簧(31)与连接杆(14)组成弹性结构，且该弹性结构关于副齿轮(15)中心对称设置有两组，并且夹板(32)的下表面通过上部滑块(33)和上部滑槽(34)与副齿轮(15)滑动连接。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及金属表面材料合成技术领域，具体为一种用于金属表面材料合成的真空反应室。

背景技术

金属表面材料合成是利用气相沉积技术完成的，气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层，具有淀积温度低、薄膜成份易控、膜厚与淀积时间成正比、均匀性、重复性好、台阶覆盖性优良等特点，该技术需要在真空反应室内部完成，操作快速，并且加工成果较好，但是现在大多数的金属表面材料合成的真空反应室是直接将金属材料放置在真空反应室内部进行加工，合成金属表面材料的气体随机分布在真空反应室的内部，合成时可能会产生金属材料外部部分位置加工不均匀，并且大多数的真空反应室加工结束后没有设置冷却的结构，使得金属材料不能立刻与其表面的合成材料紧密贴合，并且不利于操作员将其取出。针对上述问题，在原有金属表面材料合成的真空反应室的基础上进行创新设计。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于金属表面材料合成的真空反应室，解决了现在大多数的金属表面材料合成的真空反应室是直接将金属材料放置在真空反应室内部进行加工，合成金属表面材料的气体随机分布在真空反应室的内部，合成时可能会产生金属材料外部部分位置加工不均匀，并且大多数的真空反应室加工结束后没有设置冷却的结构，使得金属材料不能立刻与其表面的合成材料紧密贴合，并且不利于操作员将其取出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体、放置槽和进气管，所述箱体的上表面两侧对称安装有轨道，且轨道通过滑轨与顶板相互连接，并且滑轨对称固定在顶板的下表面两侧，所述放置槽开设在箱体的内部上方一侧，且放置槽的内部安装有冷却水管，并且箱体的两侧中间位置对称焊接有侧边板，所述侧边板通过内部转轴与挡板相互连接，且挡板的下表面预留有底部滑槽，所述底部滑槽通过底部滑块与连接块相互连接，且底部滑块固定在连接块的上端，所述连接块的下端通过上部转轴与连接杆相互连接，且连接杆的下方设置有副齿轮，所述进气管与箱体的左侧内部贯穿连接，且箱体的右侧内部贯穿连接有排气管，并且排气管的底部安装有抽气泵，所述箱体的内部两侧下方对称固定有加热块，且箱体的底面左侧安装有电机，并且电机的上端转动连接有底部转轴，同时底部转轴的上端固定有主齿轮，所述箱体的前表面通过侧边转轴与前置板相互连接，且箱体的底面中间位置转动连接有固定杆，并且固定杆的内部设置有定位杆，所述冷却水管的一端通过进水管与水泵相互连接，且水泵的侧面连接有水箱，并且水箱通过出水管与冷却水管的另一端相互连接，所述副齿轮的内部侧面通过弹簧与夹板相互连接，且夹板的下表面安装有上部滑块，并且上部滑块通过上部滑槽与副齿轮相互连接，同时上部滑槽对称预留在副齿轮的上表面两侧，所述定位杆的外部两侧对称开设有侧边滑槽，且侧边滑槽通过侧边滑块与固定杆相互连接，并且侧边滑块对称固定在固定杆的内部两侧，所述水泵和水箱之间通过曲形管相互连接。

优选的，所述顶板通过轨道和滑轨与箱体组成抽拉结构，且顶板的下表面面积等于箱体的上表面面积，并且箱体的前侧通过侧边转轴与前置板转动连接。

优选的，所述挡板通过内部转轴与侧边板组成转动结构，且该转动结构的转动角度范围为0-90°，并且2个挡板的上表面面积与2个侧边板的上表面面积之和等于箱体内部横截面面积。

优选的，所述连接杆的上端通过上部转轴与连接块组成转动结构，且该转动结构关于副齿轮中心对称设置有两组，并且连接块的上表面通过底部滑块和底部滑槽与挡板滑动连接。

优选的，所述副齿轮与主齿轮啮合连接，且副齿轮的外部直径小于两个侧边板之间的水平距离，并且副齿轮的上表面位置低于连接杆的下表面位置。

优选的，所述定位杆通过侧边滑槽和侧边滑块与固定杆组成滑动结构，且侧边滑槽的长度等于底部滑槽的长度，并且定位杆的正面视图呈倒“T”形状。

优选的，所述夹板通过弹簧与连接杆组成弹性结构，且该弹性结构关于副齿轮中心对称设置有两组，并且夹板的下表面通过上部滑块和上部滑槽与副齿轮滑动连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种用于金属表面材料合成的真空反应室。具备以下有益效果：

(1)、该用于金属表面材料合成的真空反应室，通过啮合连接设置的主齿轮和副齿轮，在金属材料表面合成加工时，副齿轮带动固定在其上端的金属材料在箱体内部转动，转动时能够加速合成的气体在箱体内部流动，从而使其在金属材料外部分布较为均匀，增加了该装置的实用性。

(2)、该用于金属表面材料合成的真空反应室，通过转动连接设置的挡板，在金属表面材料合成加工完成以后，通过侧边滑块向上移动定位杆的位置，连接杆推动挡板向上转动，使得金属材料进入箱体上方的位置，使用冷却水管的水冷循环系统对金属进行快速冷却，使得金属与其表面合成材料快速贴合，并且冷却后便于操作员将其从箱体内部取出，增加了该装置的使用性能。

附图说明

图1为本实用新型正面剖视结构示意图；

图2为本实用新型正面结构示意图；

图3为本实用新型箱体俯视剖视结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型副齿轮俯视结构示意图；

图6为本实用新型图1中B处放大结构示意图。

图中：1、箱体；2、轨道；3、滑轨；4、顶板；5、放置槽；6、冷却水管；7、侧边板；8、内部转轴；9、挡板；10、底部滑槽；11、底部滑块；12、连接块；13、上部转轴；14、连接杆；15、副齿轮；16、进气管；17、排气管；18、抽气泵；19、加热块；20、电机；21、底部转轴；22、主齿轮；23、侧边转轴；24、前置板；25、固定杆；26、定位杆；27、进水管；28、水泵；29、水箱；30、出水管；31、弹簧；32、夹板；33、上部滑块；34、上部滑槽；35、侧边滑槽；36、侧边滑块；37、曲形管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-6所示，本实用新型提供一种技术方案：一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体1、轨道2、滑轨3、顶板4、放置槽5、冷却水管6、侧边板7、内部转轴8、挡板9、底部滑槽10、底部滑块11、连接块12、上部转轴13、连接杆14、副齿轮15、进气管16、排气管17、抽气泵18、加热块19、电机20、底部转轴21、主齿轮22、侧边转轴23、前置板24、固定杆25、定位杆26、进水管27、水泵28、水箱29、出水管30、弹簧31、夹板32、上部滑块33、上部滑槽34、侧边滑槽35、侧边滑块36和曲形管37，箱体1的上表面两侧对称安装有轨道2，且轨道2通过滑轨3与顶板4相互连接，并且滑轨3对称固定在顶板4的下表面两侧，放置槽5开设在箱体1的内部上方一侧，且放置槽5的内部安装有冷却水管6，并且箱体1的两侧中间位置对称焊接有侧边板7，侧边板7通过内部转轴8与挡板9相互连接，且挡板9的下表面预留有底部滑槽10，底部滑槽10通过底部滑块11与连接块12相互连接，且底部滑块11固定在连接块12的上端，连接块12的下端通过上部转轴13与连接杆14相互连接，且连接杆14的下方设置有副齿轮15，进气管16与箱体1的左侧内部贯穿连接，且箱体1的右侧内部贯穿连接有排气管17，并且排气管17的底部安装有抽气泵18，箱体1的内部两侧下方对称固定有加热块19，且箱体1的底面左侧安装有电机20，并且电机20的上端转动连接有底部转轴21，同时底部转轴21的上端固定有主齿轮22，箱体1的前表面通过侧边转轴23与前置板24相互连接，且箱体1的底面中间位置转动连接有固定杆25，并且固定杆25的内部设置有定位杆26，冷却水管6的一端通过进水管27与水泵28相互连接，且水泵28的侧面连接有水箱29，并且水箱29通过出水管30与冷却水管6的另一端相互连接，副齿轮15的内部侧面通过弹簧31与夹板32相互连接，且夹板32的下表面安装有上部滑块33，并且上部滑块33通过上部滑槽34与副齿轮15相互连接，同时上部滑槽34对称预留在副齿轮15的上表面两侧，定位杆26的外部两侧对称开设有侧边滑槽35，且侧边滑槽35通过侧边滑块36与固定杆25相互连接，并且侧边滑块36对称固定在固定杆25的内部两侧，水泵28和水箱29之间通过曲形管37相互连接；

顶板4通过轨道2和滑轨3与箱体1组成抽拉结构，且顶板4的下表面面积等于箱体1的上表面面积，并且箱体1的前侧通过侧边转轴23与前置板24转动连接，前置板24的转动连接便于将金属材料放置在箱体1内部，顶板4抽拉结构的设置便于将加工后的金属材料从箱体1的内部取出；

挡板9通过内部转轴8与侧边板7组成转动结构，且该转动结构的转动角度范围为0-90°，并且2个挡板9的上表面面积与2个侧边板7的上表面面积之和等于箱体1内部横截面面积，金属表面材料加工结束后，挡板9通过内部转轴8转动，便于将金属材料移动至箱体1上方进行冷却；

连接杆14的上端通过上部转轴13与连接块12组成转动结构，且该转动结构关于副齿轮15中心对称设置有两组，并且连接块12的上表面通过底部滑块11和底部滑槽10与挡板9滑动连接，连接杆14可以向上推动挡板9的位置；

副齿轮15与主齿轮22啮合连接，且副齿轮15的外部直径小于两个侧边板7之间的水平距离，并且副齿轮15的上表面位置低于连接杆14的下表面位置，啮合连接设置的副齿轮15，在加工时副齿轮15带动金属材料在箱体1内部转动，使得金属表面材料在其外部合成较为均匀；

定位杆26通过侧边滑槽35和侧边滑块36与固定杆25组成滑动结构，且侧边滑槽35的长度等于底部滑槽10的长度，并且定位杆26的正面视图呈倒“T”形状，通过侧边滑槽35和侧边滑块36移动定位杆26的位置，从而便于在箱体1外部移动副齿轮15的位置；

夹板32通过弹簧31与连接杆14组成弹性结构，且该弹性结构关于副齿轮15中心对称设置有两组，并且夹板32的下表面通过上部滑块33和上部滑槽34与副齿轮15滑动连接，夹板32可以将金属材料固定在副齿轮15的上方，防止金属材料转动时位置移动。

使用时，松动侧边转轴23外部的锁紧螺母，通过侧边转轴23将前置板24转动打开，将金属材料放置在副齿轮15的上表面，金属材料通过弹簧31向两侧压缩夹板32的位置，夹板32的下表面通过上部滑块33在上部滑槽34的内部移动，夹板32将金属材料固定在副齿轮15的上方，再通过侧边转轴23将前置板24转动闭合，反向转动侧边转轴23外部的锁紧螺母封闭箱体1，连接抽气泵18的电源，箱体1内部的气体通过排气管17进入抽气泵18内通向外部，将箱体1内部的气体都排出去以后，通过进气管16向箱体1内部加入合成金属表面材料的气体，连接电机20和加热块19的电源，加热块19将箱体1内部的气体急速加热，电机20带动底部转轴21转动，底部转轴21使得其上端固定的主齿轮22随之转动，主齿轮22与副齿轮15啮合连接，副齿轮15带动其上端固定的金属材料在箱体1内部转动，转动的金属材料便于气体在其表面合成镀层，并且金属材料转动时使得气体在箱体1内部流动，避免了金属表面材料合成时其外部分布不均匀，合成加工结束后，断开电机20和加热块19的电源，松动固定杆25外部的栓件，通过侧边滑块36和侧边滑槽35向上推动定位杆26的位置，定位杆26推动副齿轮15向上移动，副齿轮15向上移动时接触到连接杆14的底面，从而将连接杆14向上推动，连接杆14通过上部转轴13与连接块12发生转动，连接块12的侧面通过底部滑块11在底部滑槽10的内部移动，挡板9随之通过内部转轴8向上转动，将金属材料推动至箱体1上方时，转动固定杆25外部的栓件固定其位置，连接水泵28的电源，水泵28将水箱29内部的水抽出，并通过进水管27输送至冷却水管6内部，冷却水管6内部的水再通过出水管30进入水箱29的内部，如此循环，水箱29中的水再通过曲形管37被抽送至进水管27中时，由于曲形管37的造型结构，使得水的流动时间较长，从而被逐渐降温后再进入至冷却水管6中，冷却水管6内部的水经过传动冷却将箱体1内部的气流迅速冷却，使得金属与其表面材料快速贴合，并且将金属快速冷却，冷却好以后，松动顶板4上端的栓件，通过轨道2和滑轨3移动顶板4的位置，将金属材料从副齿轮15的上端取下来，同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

综上可得，该用于金属表面材料合成的真空反应室，通过啮合连接设置的主齿轮22和副齿轮15，在金属材料表面合成加工时，副齿轮15带动固定在其上端的金属材料在箱体1内部转动，转动时能够加速合成的气体在箱体1内部流动，从而使其在金属材料外部分布较为均匀，增加了该装置的实用性，通过转动连接设置的挡板9，在金属表面材料合成加工完成以后，通过侧边滑块36向上移动定位杆26的位置，连接杆14推动挡板9向上转动，使得金属材料进入箱体1上方的位置，使用冷却水管6的水冷循环系统对金属进行快速冷却，使得金属与其表面合成材料快速贴合，并且冷却后便于操作员将其从箱体1内部取出，增加了该装置的使用性能。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

设计图

一种用于金属表面材料合成的真空反应室论文和设计

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