论文摘要
与微米机械振子相比,纳米机械振子使用纳米级材料制备,尺寸更小,质量更轻,它作为探测器,在探测力、质量等物理量时拥有更高的灵敏度.石墨烯有高强度、低密度等优良的机械特性,被认为是制备纳米机械振子的理想材料.基于其制备的石墨烯纳米机械振子有着高谐振频率、高品质因子和谐振频率可调性高等优势,对于纳米力学的基础研究和应用都具有重要的意义.本文利用微纳加工工艺(包括电子束曝光、电子束蒸发镀膜、反应离子刻蚀和微米级定点干法转移技术)制备了串联石墨烯纳米机械振子样品,并在极低温下(10mK)测量了石墨烯机械振子的机械性质,实现两个串联石墨烯纳米机械振子的强耦合,耦合强度为1.34MHz,协同系数C=399.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 汪开龙
关键词: 石墨烯纳米机械振子,微纳加工工艺,耦合强度,协同系数,强耦合
来源: 低温物理学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,材料科学
单位: 中国科学技术大学,中国科学院量子信息重点实验室
分类号: TQ127.11;TB383.1
DOI: 10.13380/j.ltpl.2019.02.003
页码: 97-102
总页数: 6
文件大小: 2574K
下载量: 42
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标签：石墨烯纳米机械振子论文; 微纳加工工艺论文; 耦合强度论文; 协同系数论文; 强耦合论文;